一种石英舟置中辅轨机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种石英舟置中辅轨机构，包括陶瓷梳齿机构，陶瓷梳齿机构由气缸驱动，气缸连接在第一支架上，第一支架上还连接有辅轨机构，辅轨机构包括滑轨和滑块，滑块可滑移地连接在滑轨上，滑块和陶瓷梳齿机构相连接。本实用新型专利技术的一种石英舟置中辅轨机构，陶瓷梳齿机构固定在滑块上，这样陶瓷梳齿机构对气缸的活塞杆产生的倾覆力矩会分配在辅轨机构和气缸上，这样便降低了气缸的活塞杆在移动时的倾覆力矩负荷，避免了气缸的活塞杆在运行过程中的抖动现象的发生，或者减小了陶瓷梳齿机构的抖动程度，降低了对硅片的划伤率。降低了对硅片的划伤率。降低了对硅片的划伤率。

【技术实现步骤摘要】
一种石英舟置中辅轨机构


[0001]本技术涉及自动化设备领域，尤其是涉及一种石英舟置中辅轨机构。

技术介绍

[0002]在硅片石英舟的自动化生产线中，为了方便机械手对硅片的精确抓取，需要对硅片进行一个置中预处理排列工序，即让硅片按照某一固定方向整齐排列，方便机械手将硅片准确的抓取并放置在石英舟上。
[0003]根据客户的不同要求，石英舟置中机构的梳齿材质要求不一样，有的是采用PEEK材料(Peek materials,聚醚醚酮)，有的是采用陶瓷材料等。陶瓷材料相对于PEEK材料密度比较大，同样的体积状态下陶瓷材料制作的陶瓷梳齿重量就会比较大。在置中机构的运行中，陶瓷梳齿重量太大会产生一个较大的倾覆力矩，这会使得气缸的活塞杆在运动过程中产生抖动，这便会导致置中机构的稳定性下降，抖动会提高硅片的划伤率，严重则会导致硅片无法使用。

技术实现思路

[0004]为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中陶瓷梳齿在置中运行中产生的抖动对硅片产生划伤的问题，可以避免陶瓷梳齿在置中运行中产生的抖动，降低硅片的划伤率，从而相应提高硅片的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟置中辅轨机构，其特征在于：包括陶瓷梳齿机构(4)，所述陶瓷梳齿机构(4)由气缸(2)驱动，所述气缸(2)连接在第一支架(1)上，所述第一支架(1)上还连接有辅轨机构(3)，所述辅轨机构(3)包括滑轨(31)和滑块(32)，所述滑块(32)可滑移地连接在所述滑轨(31)上，所述滑块(32)和所述陶瓷梳齿机构(4)相连接。2.根据权利要求1所述的石英舟置中辅轨机构，其特征在于：所述第一支架(1)的下部固定有机架(5)，所述第一支架(1)和所述机架(5)呈倾斜设置。3.根据权利要求1所述的石英舟置中辅轨机构，其特征在于：所述气缸(2)的缸体固定在所述第一支架(1)的顶部。4.根据权利要求1所述的石英舟置中辅轨机构，其特征在于：所述滑块(32)沿所述第一支架(1)的滑移方向和所述气缸(2)的活塞杆轴向相平行。5.根据权利要求1所述的石英舟置中辅轨机构，其特征在于：所述陶瓷梳齿机构(4)包括第二支架(41)，所述第二支架(41)上设置有多个减重孔(411)。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，许立春，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：