本发明专利技术提供一种能够在通带的低频侧附近的频带中抑制衰减量的偏差的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。本发明专利技术的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器具备：压电性基板；多个IDT电极，设置在压电性基板上，并沿着弹性波传播方向配置；以及一对反射器，在压电性基板上设置在多个IDT电极的弹性波传播方向两侧。反射器(8B)具有相互对应的第1反射器汇流条(14)、第2反射器汇流条(16)和与第1反射器汇流条(14)以及第2反射器汇流条(16)中的至少一者连接的多个第1反射电极指(13)。反射器(8B)具有多个第1反射电极指(13)的长度在弹性波传播方向上变化的第1部分(9a)。第1部分(9a)。第1部分(9a)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】纵向耦合谐振器型弹性波滤波器以及滤波器装置
[0001]本专利技术涉及纵向耦合谐振器型弹性波滤波器以及滤波器装置。
技术介绍
[0002]以往，纵向耦合谐振器型弹性波滤波器被广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1公开了纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的一个例子。在该纵向耦合谐振器型弹性波滤波器中，依次层叠有高声速构件、低声速膜以及压电膜。在压电膜上设置有多个IDT电极(InterDigital Transducer，叉指换能器)以及反射器。通过设置上述层叠构造，从而提高了Q值。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公开第2015/198904号
技术实现思路
[0006]专利技术要解决的课题
[0007]在进行纵向耦合谐振器型弹性波滤波器中的IDT电极的图案化时，实际上会产生电极指的宽度的偏差。因此，特别是在通带的低频侧附近的频带中，产生衰减量的偏差。起因于此，担心上述频带中的衰减特性劣化。进而，在具有上述层叠构造的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器中，由于压电膜的平坦性等的影响，电极指的宽度的偏差变得特别大。因而，即使能够提高Q值，在通带的低频侧附近的频带中衰减量的偏差也更大，控制变得困难。
[0008]本专利技术的目的在于，提供一种能够在通带的低频侧附近的频带中抑制衰减量的偏差的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器以及滤波器装置。
[0009]用于解决课题的技术方案
[0010]本专利技术涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器具备：压电性基板；多个IDT电极，设置在所述压电性基板上，并沿着弹性波传播方向配置；以及一对反射器，在所述压电性基板上设置在所述多个IDT电极的弹性波传播方向两侧，所述反射器具有：第1反射器汇流条以及第2反射器汇流条，相互对置；以及多个反射电极指，与所述第1反射器汇流条以及所述第2反射器汇流条中的至少一者连接，所述反射器具有所述多个反射电极指的长度在弹性波传播方向上变化的第1部分。
[0011]本专利技术涉及的滤波器装置具备：按照本专利技术构成的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器；以及所述纵向耦合谐振器型弹性波滤波器以外的至少一个以上的谐振器。
[0012]专利技术效果
[0013]根据本专利技术涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器以及滤波器装置，能够提高Q值，且能够在通带的低频侧附近的频带中抑制衰减量的偏差。
附图说明
[0014]图1是本专利技术的第1实施方式涉及的滤波器装置的电路图。
[0015]图2是示出本专利技术的第1实施方式涉及的滤波器装置的第1纵向耦合谐振器型弹性波滤波器附近的简图式俯视图。
[0016]图3是本专利技术的第1实施方式中的第1纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的反射器的俯视图。
[0017]图4是本专利技术的第1实施方式涉及的滤波器装置的第1纵向耦合谐振器型弹性波滤波器附近的简图式主视剖视图。
[0018]图5是本专利技术的第1实施方式涉及的滤波器装置的第1纵向耦合谐振器型弹性波滤波器中的IDT电极附近的俯视图。
[0019]图6是本专利技术的第1实施方式涉及的滤波器装置的第1纵向耦合谐振器型弹性波滤波器中的反射器以及IDT电极附近的俯视图。
[0020]图7是示出比较例的各滤波器装置的衰减量频率特性的图。
[0021]图8是示出具有本专利技术的第1实施方式的结构的各滤波器装置的衰减量频率特性的图。
[0022]图9是本专利技术的第1实施方式的第1变形例中的第1纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的反射器的俯视图。
[0023]图10是本专利技术的第1实施方式的第2变形例中的第1纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的反射器的俯视图。
[0024]图11是本专利技术的第1实施方式的第3变形例涉及的滤波器装置的第1纵向耦合谐振器型弹性波滤波器附近的简图式主视剖视图。
[0025]图12是本专利技术的第1实施方式的第4变形例涉及的滤波器装置的第1纵向耦合谐振器型弹性波滤波器附近的简图式主视剖视图。
[0026]图13是本专利技术的第2实施方式涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器中的反射器附近的俯视图。
[0027]图14是用于说明本专利技术的第2实施方式涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的制造方法的一个例子的、示出相当于反射器的部分附近的俯视图。
[0028]图15是用于说明本专利技术的第2实施方式涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的制造方法的一个例子的、示出相当于反射器的部分附近的俯视图。
[0029]图16是本专利技术的第2实施方式的第1变形例涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器中的反射器附近的俯视图。
[0030]图17是本专利技术的第2实施方式的第2变形例涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器中的反射器附近的俯视图。
[0031]图18是本专利技术的第2实施方式的第3变形例涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器中的反射器附近的俯视图。
[0032]图19是示出本专利技术的第3实施方式涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的反射器以及IDT电极的一部分的俯视图。
[0033]图20是示出本专利技术的第4实施方式涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的反射器以及IDT电极的一部分的俯视图。
[0034]图21是示出本专利技术的第5实施方式涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的反射器以及IDT电极的一部分的俯视图。
[0035]图22是示出比较例的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的反射器以及IDT电极的一部分的俯视图。
[0036]图23是示出本专利技术的第3实施方式涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的回波损耗的图。
[0037]图24是示出本专利技术的第4实施方式涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的回波损耗的图。
[0038]图25是示出本专利技术的第5实施方式涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的回波损耗的图。
[0039]图26是示出比较例的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的回波损耗的图。
具体实施方式
[0040]以下，参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，由此明确本专利技术。
[0041]另外，需要指出，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。
[0042]图1是本专利技术的第1实施方式涉及的滤波器装置的电路图。另外，通过在矩形添加了两条对角线的简图来示出图1中的后述的反射器的部分。
[0043]滤波器装置10具有第1信号端子17A以及第2信号端子17B。滤波器装置10具有在第1信号端子17A以及第2信号端子17B之间相互并联地连接的第1纵向耦合谐振器型弹性波滤波器1A以及第2纵向耦合谐振器型弹性波滤波器1B。第1纵向耦合谐振器型弹性波滤波器1A以及第2纵向耦合谐振器型弹性波滤波器1B这两者均为本实施方式的一个实施方式涉及的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。
[0044]滤波器装置10具有连接在第1纵向耦合谐振器型弹性波滤波器1A以及第2纵向耦合谐振本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，具备：压电性基板；多个IDT电极，设置在所述压电性基板上，并沿着弹性波传播方向配置；以及一对反射器，在所述压电性基板上设置在所述多个IDT电极的弹性波传播方向两侧，所述反射器具有：第1反射器汇流条以及第2反射器汇流条，相互对置；以及多个反射电极指，与所述第1反射器汇流条以及所述第2反射器汇流条中的至少一者连接，所述反射器具有所述多个反射电极指的长度在弹性波传播方向上变化的第1部分。2.根据权利要求1所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，在所述反射器的所述第1部分中，所述多个反射电极指的长度随着从所述IDT电极侧朝向弹性波传播方向外侧而变短。3.根据权利要求1或2所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，将通过对所述多个反射电极指的与所述第1反射器汇流条连接的端部进行连结而形成的假想线设为第1假想线，将通过对所述多个反射电极指的与所述第2反射器汇流条连接的端部进行连结而形成的假想线设为第2假想线，此时，在所述第1部分中，所述第1假想线以及所述第2假想线中的至少一者相对于弹性波传播方向倾斜。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，所述反射器具有所述多个反射电极指的长度在弹性波传播方向上固定的第2部分。5.根据权利要求4所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，在所述反射器中，所述第2部分位于比所述第1部分靠所述多个IDT电极侧。6.根据权利要求1～5中的任一项所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，所述反射器的所述多个反射电极指具有：第1反射电极指，一端与所述第1反射器汇流条连接，另一端与所述第2反射器汇流条连接；以及第2反射电极指，一端与所述第1反射器汇流条连接，另一端与所述第2反射器汇流条隔着缝隙对置。7.根据权利要求6所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，所述反射器的所述多个反射电极指具有：第3反射电极指，一端与所述第2反射器汇流条连接，另一端与所述第1反射器汇流条隔着缝隙对置。8.根据权利要求1～7中的任一项所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，所述多个IDT电极分别具有：第1汇流条以及第2汇流条，相互对置；多个第1电极指，一端与所述第1汇流条连接；以及多个第2电极指，一端与所述第2汇流条连接，且与所述多个第1电极指相互交错对插，所述第1电极指和所述第2电极指在弹性波传播方向上相互重叠的部分为交叉区域，所述交叉区域具有：中央区域，位于与弹性波传播方向正交的方向上的中央侧；
第1边缘区域，配置在所述中央区域的所述第1汇流条侧；以及第2边缘区域，配置在所述中央区域的所述第2汇流条侧，所述多个IDT电极具有：第1缝隙区域，位于所述第1边缘区域与所述第1汇流条之间；以及第2缝隙区域，位于所述第2边缘区域与所述第2汇流条之间，在所述第1边缘区域以及所述第2边缘区域中，分别构成了声速比所述中央区域低的低声速区域。9.根据权利要求8所述的纵向耦...
【专利技术属性】
技术研发人员：小笹茂生，照田千寻，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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