气浮电磁头滑块制造技术

一种气浮电磁头滑块，包括其底表面与旋转磁盘相对的滑块主体，底表面有一个进气端和一个排气端。中央轨道设在进气端处滑块主体的表面上。中央轨道从进气端伸出并终止在至排气端的途径中。两个侧轨道设在排气端的滑块主体表面上，并从排气端伸出并且终止在至进气端的途径中。气流通道包括在中央轨道和两个侧轨道间确定的空气间隙，和位于间隙下游方向底表面上的一个区域，因此由于流过间隙的气流的作用在该下游区域产生一外负压。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电磁头传感器的气浮电磁头滑块，其中在与磁记录介质相对的一个平面上沿磁记录介质旋转动产生的气流方向设置至少两个轨道，用于产生浮动力或所谓“油煎”力。近来，存在在个要求减小电磁盘单元的尺寸。在气浮电磁头滑块的情况下，已经减小了浮动高度，从而可实现高密度记录。当减小电磁头滑块的浮动高度时，就必须稳定这个浮动高度。近来，已经研制并开发了浮动高度不大于0.05μm的电磁头滑块。目前，使用最广泛的电磁头滑块是称之为“虹鳟(Guppy)型”的电磁头滑块，其中提供两个轨道。在这种具有两个轨道的负压型电磁头滑块中，为了改善浮动稳定性，这两个轨道从其进气端向其排气端的宽度要逐渐增加，以便在两个轨道间确定的区域中产生一个负压(参见未经审查的专利出版物(Kokai)NO.2-184082)。另一种处理方法是减小两个轨道在它们进气端处的宽度，以限制滑块浮动力的变化。在这种情况下，由于只改变了轨道宽度从而产生空气吸附力，所以制造这种滑块是很容易的。下面描述有关电磁头滑块的另一种现有技术。未经审查的专利出版物(Kokai)NO.4-17176公开了一种电磁头滑块，它在进气端的中心有一个轨道；并且在排气端有两个轨道。但在此结构中，由于没有产生负压的机构，所以该滑块是一个正压滑块。因而难以限制浮动力。另一方面，减小了轨道面积，但加到电磁介质上的压力却较高。因而，降低了可靠性。未经审查的专利出版物(Kokai)NO.4-298872公开了一种电磁头滑块，它在进气端有两个奔赴轨道，在排气端的中心有一个轨道。但凹槽设在无轨道部分中以确定一个负压产生区，因此产生负压的力太弱，不能充分地限制滑块浮动力。另一方面，由于在排气端只有一个轨道，因此滑块沿电磁介质移动方向的刚性太差，并且沿滚动方向缺乏稳定性。未经审查的专利出版物(Kokai)NO.6-203515公开了一种电磁头滑块，它在进气端也有两个轨道，并且在排气端的中央有一个轨道。在这个现人技术中，存在着和JPP′4-298872相同性质的问题，即滑块沿滚动方向缺乏稳定性。未经审查的专利出版物(Kokai)NO.4-362582公开了一种电磁头滑块，它的结构与上述基本相同，并且涉及相同的问题。在电磁头滑块中，为进一步改善记录密度，需要进一步减小电磁头浮动距离，使其不大于0.03μm，即滑动高度基本上为0。这就是说，在电磁头浮动量的这一范围内，可以认为在记录介质上浮动的电磁块总是要的记录介质上存在的任何可能的凸起物发生接触的(“基本接触的状态”)。因此，要求这样一种电磁头滑块具有在基本接触状态下的必要的耐用性和为了改善稳定性的浮动稳定性或所谓“油煎”稳定性。本专利技术的一个目的是提供一种电磁头滑块，其中可依靠依据记录介质中记录密度的改善要求进一步减小电磁头相对于记录介质的浮动量，并可在进行滑块的浮动或滑动操作时获得稳定性。按本专利技术，提供一种支撑与旋转的记录介质或磁盘相对的电磁传感器的气浮电磁头滑块，该滑块包括一个滑块主体，具有和旋转的磁盘相对的底表面，底表面相对于在滑块主体和旋转的记录介质之间产生的气流有一个前向端或进气端以及一个后向端或排气端；至少一个第一轨道，设在进气端处滑块主体的表面上，第一轨道从进气端伸出并终止在它到排气端的途径中；至少两个第二轨道，设在排气端处滑块主体的表面上，第二轨道从排气端处伸出并终止在它至进气的途径中；以及一个空气通道，从进气端伸至排气端，并包括在第一轨道和第二轨道之间确定的空气间隙，以及一个下游区域，该区域在位于间隙下游方向的底表面上，因而由于流过间隙的气流有作用在该下游区域产生一个负压。在本专利技术的一个实施便中，至少一个第一轨道包括位于靠近进气端的一个中央位置的一个轨道，它沿气流方向相对较短；至少两个第二轨道包括位于第一轨道相应两侧的两个轨道，它们沿气流方向相对较长；并且该在底表面上的下游区域在两个第二轨道之间确定，因此由于通过间隙的气流的作用在下游区域产生一个负压区，该间隙分别是在一个第一轨道和两个第二轨道之间确定的。在下一个实施例中，两个第二轨道大致相互平行，并且每个第二轨道在排气端附近的宽度逐渐加大。在下一个实施例中，第一轨道在靠近进气端处设有一个锥形部分，用于除尘。每个第二轨道在滑块主体的外部边缘都设有一个沿气流方向的倒角部分；每个第二轨道都在它的内部边缘和外部边缘设有沿气流方向的相应倒角部分；在一个实施例中，至少两个第二轨道中的至少一个第二轨道在其排气端设有一个电磁传感器，设有电磁传感器的这个第二轨道的结构应使在其排气端相对于旋转的磁盘的浮动量总是小于另一个第二轨道在具排气端的浮动量。在本专利技术的下一个实施例中，至少两个第二轨道包括位于第一轨道相应两侧的两个轨道，并且沿气流方向相对较长；一个第地轨道的宽度或面积不同于另一个第二轨道的宽度和面积，因此该滑块主体沿电磁传感器的移动方向要经受滚动作用，使一个第二轨道在其排气端相对于旋转磁盘的浮动量总是小于另一个第二轨道在其排气端的浮动量。在本专利技术的下一个实施例中，至少两个第二轨道包括位于第一轨道的相应两侧的两个轨道，并且在气流方向相对较长；一个第二轨道的高度不同于另一个第二轨道的高度，因此一个第二轨道在其排气端相对于旋转的磁盘的浮动量总是小于另一个第二轨道在其排气端的浮动量。附图说明图1(a)和1(b)是从和记录介质相对的一个浮动表面观察的现有技术中公知的电磁头滑块的平面图和透视图；图2是从和记录介质相对的一个浮动表面观察的本专利技术的电磁头滑块的平面图；图3(a)是从和记录介质相对的一个浮动表面观察的本专利技术的电磁头滑块的一个实施例的平面图；并且，图3(b)是沿线A-A取的剖面图；图4(a)是从和记录介质相对的一个浮动表面观察的本专利技术的电磁头滑块的另一个实施例的平面图；并且，图4(b)是沿线B-B取的剖面图；图5(a)和5(b)是沿图3(a)的线A-A取的相应的剖面图，用于说明电磁头滑块的相应实施例；图6是一个电磁盘设备的平面图，其中可以使用本专利技术的电磁头滑块，这是很有益的；以及图7是从图6中的箭头C观察的一个比例放大的侧视图，用于说明电磁头滑块及其在电磁盘设备中的悬浮情况。在描述本专利技术的特殊实施例之前，现在参照图1(a)和1(b)描述一种常规的公知的负压型电磁头滑块。该电磁头滑块包括轨道10、11、12、凹槽13、进气端14、排气端15、电磁传感器元件16、位于进气端的锥形部分17、缝隙(间隙)18。该现有技术的电磁头滑块在进气端14有一个中央轨道10，并在该滑块的对应的两侧设有两个轨道11、12。平加这两个侧轨道11和12在排气端15附近的宽度可限制由于磁轭角度的变化引起的浮动力的变化。图2是从相对于记录介质(在图2中未示出)的浮动表面观察到的本专利技术的电磁头滑块的平面图。该电磁头滑块包括轨道10、11、12、凹槽13、进气端14排气端15、电磁传感器元件16、位于进气端的轨10、11、12的除尘锥形部分17、缝隙(间隙)18。滑块主体的材料是氧化铝-碳化钛(Al2O3-TiC)。可按以下所述来制作这样的滑块主体。首先，将设有多个电磁传感器元件16的薄片(未示出)切割成单个滑块，每个滑块都具有如图2所示的大小。然后，形成包括进气端壁和排气端壁的滑块侧壁，还要在滑块的下表面，即在与电磁记本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气浮动电磁头滑块，用于支撑与旋转的记录介质或磁盘相对的电磁传感器，所说滑块包括：一个滑块主体，具有与所说旋转磁盘相对的底表面，所说底表面相对于所说滑块主体和所说旋转的记录介质之间产生的气泫来说具有一个前向端或进气端和一个后抽端或排气 端；至少一个第一轨道，设在进气端的滑块主体的所说表面上，所说第一轨道从所说进气端伸出并终止在它的至所说排气的途径中；至少两个第二轨道，设在排气端的滑块主体的所说表面上，所说第二轨道从所说排气端伸出并终止在它的至所说进气的途径中； 一个气流通道，从所说进气端延伸到所说排气端，包括：在所说第一轨道和所说第二轨道之间确定的空气间隙和位于所说间隙下游方向的所说底表面上的一个下游区域，因此由流过所说间隙的空气流的作用在所说下游区域产生一个负压。

【技术特征摘要】
JP 1995-4-7 82719/951.一种气浮动电磁头滑块，用于支撑与旋转的记录介质或磁盘相对的电磁传感器，所说滑块包括一个滑块主体，具有与所说旋转磁盘相对的底表面，所说底表面相对于所说滑块主体和所说旋转的记录介质之间产生的气泫来说具有一个前向端或进气端和一个后抽端或排气端；至少一个第一轨道，设在进气端的滑块主体的所说表面上，所说第一轨道从所说进气端伸出并终止在它的至所说排气的途径中；至少两个第二轨道，设在排气端的滑块主体的所说表面上，所说第二轨道从所说排气端伸出并终止在它的至所说进气的途径中；一个气流通道，从所说进气端延伸到所说排气端，包括在所说第一轨道和所说第二轨道之间确定的空气间隙和位于所说间隙下游方向的所说底表面上的一个下游区域，因此由流过所说间隙的空气流的作用在所说下游区域产生一个负压。2.如权利要求1所述的电磁头滑块，其中所说至少第一轨道包括位于中央位置靠近进气端的一个轨道，该第一轨道相对于气流方向相对较短；所说至少两个第二轨道包括位于所说第一轨道的相应两侧的两个轨道，并且沿气流方向相对较长；以及在所说底表面上的所说下游区域在秘说两个第二轨道之间确定，因此在所说下游区域由于流过分别在所说一个第一轨道和所说两个第二轨道之间确定的所说间隙的空气流的作用而产生一个负压。3.如权利要求2所述的电磁头滑块，其中所说两个第二轨道彼此大致平行，...

【专利技术属性】
技术研发人员：古石亮介，米冈诚二，沟下义文，
申请(专利权)人：富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]