磁头滑块的制造和固定方法技术

一种制造磁头滑块的方法和棒的固定方法，在晶片上通过薄膜工艺形成许多薄膜磁头器件之后将晶片切割成多个棒，各棒包括两个或多个磁头滑块。用一个载架将多个棒一个接一个地载送并装到一吸盘上。使各待加工棒的一个表面直接接触到吸盘的吸取面，且使各棒在一个平行于吸取面的平面上定位。然后在一支撑基片的表面上施加粘合剂。与保持在吸盘上的多个棒的待加工面相反的表面被压在粘合剂上，使粘合剂凝固。粘合剂的厚度就能随着多个棒的厚度变化而变化。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及到一种制造磁头滑块的方法，滑块上包括一个薄膜磁头器件，用于在／从诸如硬盘等记录媒体上记录或重放信息，并且涉及到用来加工磁头滑块的棒的固定方法。在诸如硬盘驱动器的磁记录装置中，在面对着磁记录媒体的记录面的磁头滑块上装有一个用于记录或重放该信息的薄膜磁头器件。以日本待审专利申请公开号平10-228617所公开的内容为例，磁头滑块是按照以下步骤制造的。首先在例如陶瓷材料制成的基片(晶片)上通过薄膜工艺形成许多薄膜磁头器件。接着用切片锯等等将晶片切割成许多棒，每个棒上包括至少一个磁头滑块。然后对获得的多个棒进行表面抛光，利用光刻工艺等蚀刻技术在每个面上形成具有预定形状的滑块轨道。进而将具有滑块轨道的每个棒切割成单个的磁头滑块。在形成滑块轨道的步骤中，将棒上与待加工面(也就是需要形成滑块轨道的表面)相对的那一面粘住，并且将棒直接固定在陶瓷等等制成的支撑基片上。然而，如上所述的将与待加工面相对的棒表面直接固定在支撑基片上的方法存在以下的缺点。如果对批量加工的多个棒采用这种方法，棒与棒之间在厚度上的差异会造成棒与棒的待加工面之间在高度上(也就是支撑基片的表面到待加工面之间的距离)发生变化。因此，如果采用所谓的全晶片印刷技术在加工中用例如光刻工艺使许多棒同时在光源下曝光，有些棒就会处在曝光焦点上，而其他棒处在曝光焦点之外。由于作为掩模的光致抗蚀剂图形不能获得理想的尺寸和形状，处在焦点之外的棒上的滑决轨道形状会发生变化。因此，这种方法的问题是磁头滑块的特性会受到影响(例如对应着磁头滑块与记录媒体之间的间隔的磁头悬浮量等等)。为了解决上述问题，可以用所谓的逐步曝光技术代替全晶片印刷技术，使棒逐个地对光源曝光。然而，现存的问题是由于步进电机价格昂贵，制造成本增加。另一个问题是制造时间延长，因为棒是逐个对光源曝光的。在日本待审专利申请公开号平8-315341中公开了一种方法，其中的多个棒是按照这种方式固定的，使棒的待加工面沿着一个预定的参考平面排列。具体地说，一次将待加工的多个棒的表面粘在一个共用的玻璃片上，然后在多个棒周围灌注低熔点金属并且等待其凝固。在去掉玻璃片之后，用低熔点金属支撑着棒，使棒的表面曝光。这种方法可以使棒的待加工面具有相同的高度(或水平)。然而，日本待审专利申请公开号平8-315341中所公开的方法难以使棒在一个平行于参考平面(即玻璃片表面)的平面上准确地定位。因此，在全晶片印刷中使用共同的光致抗蚀剂图形将多个棒对光源曝光会造成光致抗蚀剂图形和棒之间的错位。这样就难以制成具有精确形状的滑块轨道。为了将每个棒切割成单独的磁头滑块，围住每个棒的低熔点金属必须和每个棒一起切割。因此，这种方法还存在着切割刀片寿命降低的缺点。日本待审专利申请公开号平6-236508公开了一种方法，把多个棒固定在支撑基片上，使多个棒一个挨一个地排列在与支撑基片的表面平行的一个平面上。具体地说，用一个吸力支架吸起棒的待加工面，将放置在一个XYZ台上的支撑基片相对于棒适当地定位，然后将与棒的待加工面相对的表面固定在支撑基片上。然而，日本待审专利申请公开号平6-236508公开的这种方法和日本待审专利申请公开号平10-228617的方法存在一些相同的问题，因为与待加工面相对的表面是直接固定在支撑基片上的。也就是说，棒的厚度变化会造成待加工面高度的变化。因此，这种方法的问题在于，在采用光刻工艺的加工过程中难以制成具有精确形状的滑块轨道。本专利技术的目的是克服上述问题。本专利技术的目的是提供一种制造磁头滑块的方法和一种棒的固定方法，这种方法可以改善装配精度，并不会增加制造成本。按照本专利技术提供了一种将一个棒固定在一个预定的支撑件上的方法，以便加工包括至少一个磁头滑块的细长棒上的一个预定表面，该方法包括以下步骤沿着一个预定的参考平面布置其多个表面需要加工的棒；并且将多个棒移动并放置到支撑件上，同时保持棒的相对位置，其中的布置步骤包括将多个棒分别定位在一个与参考平面平行的平面上。在按照本专利技术的棒的固定方法中，待加工的多个棒的表面是沿着参考平面定位的。这样，即使是在使用例如光刻技术的工艺中采用全晶片印刷方法，也能够使待加工的多个棒的所有表面都处在曝光焦点上。这样就能精确地形成滑块轨道。另外，在平行于参考平面的平面上将每个棒定位。这样就容易使用于光刻技术的光致抗蚀剂图形和棒对齐。因而就能精确地形成滑块轨道。另外也不需要使棒一个接一个地对光源逐步曝光。这样就能缩短制造时间，并且不需要昂贵的步进电机，因而又能降低制造成本。在载送步骤中最好是利用在与多个棒的待加工面相对的背面和支撑件之间的粘合剂将多个棒固定在支撑件上。这样，粘合剂的厚度可以随着多个棒的厚度变化而变化。因此，在保持多个棒的同时就能使棒的待加工面与参考平面对齐。布置步骤中最好是包括以下步骤用一个用来确定参考平面的参考件使待加工的多个棒的表面直接接触到参考平面；并且用参考件保持住多个棒。这样就能用简单的方法使待加工的多个棒的表面与参考平面对齐。载送步骤中最好是进一步包括以下步骤在支撑件上施加一种粘合剂；使与被参考件保持住的多个棒的待加工面相对的背面接触到粘合剂；并且在粘合剂凝固之后将参考件与多个棒分开。最好是在布置步骤中使多个棒相对于参考平面定位，同时观测设置在每个棒上的预定的标记。这样就便于使每个棒精确地定位。按照本专利技术的棒的固定方法包括，在布置步骤之前在棒上除了待加工面之外的至少一个表面上形成一个保护膜的步骤。这样就能使设在棒上除了待加工面之外的任何一个表面上的薄膜磁头器件防止由于加工(例如光刻法的蚀刻)等而受到损伤。上述多个棒最好是包括具有不同长度的多种类型的棒。这样，在从晶片上切割棒时就不至于浪费这些棒，从而可以节省材料。本专利技术的制造磁头滑块的方法包括以下步骤在预定的底座上形成薄膜磁头器件；将基座切割成多个棒，每个棒包括至少一个磁头滑块，在磁头滑块上形成薄膜磁头器件；沿着一个预定的参考平面布置该多个棒的预定表面；将多个棒移动并放置到一个预定的支撑件上，同时保持棒与棒的相对位置，用支撑件支撑住多个棒；对支撑件支撑着的多个棒执行一种预定的加工；并且通过对棒的切割将这些棒分离成单个的磁头滑块，其中的布置步骤包括在一个平行于参考平面的平面上将该多个棒定位。按照本专利技术的制造磁头滑块的方法，多个棒的预定表面也就是待加工面沿着参考平面定位。这样，即使是在使用光刻技术的工艺中采用全晶片印刷方法，也能使待加工的多个棒的所有表面都处在曝光焦点上。这样就能精确地形成滑块轨道。另外，在平行于参考平面的平面上将每个棒定位。这样就容易使用于例如全晶片印刷的光致抗蚀剂图形和棒对齐。因而就能精确地形成滑块轨道。另外也不需要使棒一个接一个地对光源逐步曝光。这样就能缩短制造时间，并且不需要昂贵的步进电机，因而又能降低制造成本。通过以下的说明可以更加充分地理解本专利技术的其他和进一步的目的、特征和优点。附图说明图1是包括一个磁头滑块的驱动臂的结构透视图，在磁头滑块上采用了按照本专利技术一个实施例的制造磁头滑块的方法和棒的固定方法；图2是图1所示的驱动臂上的磁头滑块的结构透视图；图3是安装在图2所示的磁头滑块上的一个薄膜磁头器件的分解透视图；图4是从图3的箭头IV方向上看到的图3的薄膜磁头器件的结构平面图；图5本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种为了对棒的预定表面进行加工而将各自包括至少一个磁头滑块的细长棒固定在一个预定的支撑件上的方法，包括以下步骤： 沿着一个预定的参考平面布置多个其表面需要加工的棒；并且 将布置步骤中布置的多个棒载送到支撑件上，同时保持棒的相对位置， 其中的布置步骤包括将多个棒中的每个棒定位在一个与参考平面平行的平面上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 1999-10-4 282959/991．一种为了对棒的预定表面进行加工而将各自包括至少一个磁头滑块的细长棒固定在一个预定的支撑件上的方法，包括以下步骤沿着一个预定的参考平面布置多个其表面需要加工的棒；并且将布置步骤中布置的多个棒载送到支撑件上，同时保持棒的相对位置，其中的布置步骤包括将多个棒中的每个棒定位在一个与参考平面平行的平面上。2．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是待加工的棒的表面是对应着一个空气轴承表面的表面，该空气轴承表面是面对着记录媒体的磁头滑块表面。3．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是上述加工包括采用光刻的加工。4．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是，在载送步骤中，利用与多个棒的待加工面相反的表面和支撑件之间的粘合剂将多个棒固定在该支撑件上。5．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是布置步骤中包括以下步骤用一个具有用来确定参考平面的表面的参考件使待加工的多个棒的表面直接接触到参考平面；并且用参考件保持住多个棒。6．按照权利要求5的固定棒的方法，其特征是参考件装备有吸取装置，并且在保持步骤中用吸取装置保持多个棒。7．按照权利要求5的固定棒的方法，其特征是载送步骤中进一步包括以下步骤在支撑件上施加一种粘合剂；使与被参考件保持住的多个棒的待加工面相反的表面接触到粘合剂；并且在粘合剂凝固之后将参考件与多个棒分开。8．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是，在布置步骤中用一个能够在平行于参考平面的平面上相对于参考平面移动的载架一个接一个地载送多个棒。9．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是在布置步骤中使多个棒中的每个棒在平行于参考平面的一个平面上定位，同时观测设在每个棒上的预定的标记。10．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是进一步包括在布置步骤之前在棒上除了待加工面之外的至少一个表面上形成一个保护膜的步骤。11．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是多个棒包括具有不同长度的多种类型的棒。12．一种制造磁头滑块的方法，包括以下步骤在预定的底座上形成薄膜磁头器件；将...

【专利技术属性】
技术研发人员：小山秋典，小林一广，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]