一种柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿方法及系统技术方案

本发明专利技术提供了一种柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿方法及系统，属于喷墨打印柔性电子功能层薄膜技术领域。该方法具体为：对柔性电子功能层进行图案化喷墨打印得到液膜；离散采集液膜表面多个点的厚度；将多个液膜离散点厚度的均值作为液膜特征厚度；依据液膜特征厚度设定漏打印判定厚度阈值，若液膜表面存在某点的厚度低于漏打印判定厚度阈值，则表明该点为漏打印点，则对漏打印点补充打印；对液膜实施固化操作得到固化膜。系统包括喷印模块、液膜检测模块、处理器以及固化模块。本发明专利技术在液膜喷印过程中在线补偿漏打印缺陷，得到均匀一致性良好的膜层，提高制膜效率。提高制膜效率。提高制膜效率。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿方法及系统


[0001]本专利技术属于喷墨打印柔性电子功能层薄膜
，更具体地，涉及一种柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿方法及系统。

技术介绍

[0002]柔性电子技术以其独特的柔性和延展性，同时结合高效、大面积、低成本的制造工艺，几乎在各个领域包括信息、能源、医疗、国防等都具有广阔应用前景，被应用于大面积的压力传感器，射频识别标签RFID，柔性太阳能电池，以及柔性OLED等等。OLED基本结构是由阳极、空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层、电子注入层和阴极组成。有机发光层被电极夹在中间，OLED发光层的多数有机物质对于大气中的污染物、O2以及水汽都十分敏感，薄膜封装可以实现对柔性基板的OLED进行封装，可以实现柔性OLED的可曲折性、可卷绕性，为柔性显示技术带来突破性的进展。应用于薄膜封装工艺的薄膜可以分为无机薄膜，有机薄膜，无机/有机复合薄膜。有机/无机复合薄膜封装因为其优异的性能而被认为是最具前景的封装技术.
[0003]复合薄膜的有机膜层的加工工艺包括蒸镀，真空化学气相沉积，热化学气相沉积聚合成膜(TCVDPF)技术，喷墨打印技术等。蒸镀，真空化学气相沉积都需要真空环境，生产成本较高，而且装备较为复杂，而且很难对有机膜层进行精确的控制，喷墨打印技术相较于其他技术具有成本低，减少材料浪费，加工速度快的特点，环境仅需要氮气环境。对于柔性电子功能层喷印制备，需要多种系统设备之间切换，系统之间的配合严重影响生产过程的效率和柔性电子功能层的质量稳定性。液膜的制备是喷墨打印制备薄膜最重要的一环，制备液膜过程中液滴的漏打印将会导致成膜不均匀，液膜较薄时还会导致图案不完整，对功能层的功能造成影响。现有的薄膜制备系统都是采取离线检测的手段，即在液膜固化完成后对薄膜进行检测，如果发现不合格的产品进行丢弃处理，存在材料浪费、良品率低等问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本专利技术提供了一种柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿方法及系统，在液膜喷印过程中在线补偿漏打印缺陷，得到均匀一致性良好的膜层，提高制膜效率。
[0005]一种柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿方法，包括以下步骤：
[0006](1)对柔性电子功能层进行图案化喷墨打印得到液膜；
[0007](2)离散采集液膜表面多个点的厚度；
[0008](3)将多个液膜离散点厚度的均值作为液膜特征厚度；
[0009](4)依据液膜特征厚度设定漏打印判定厚度阈值，若液膜表面存在某点的厚度低于漏打印判定厚度阈值，则表明该点为漏打印点，则对漏打印点补充打印；
[0010](5)对液膜实施固化操作得到固化膜。
[0011]进一步地，在液膜表面采用逐行逐列间隔取点。
[0012]进一步地，从多个液膜离散点厚度中去除部分高值和部分低值，留取中间值计算均值作为液膜特征厚度。
[0013]进一步地，将液膜特征厚度的一半作为漏打印判定厚度阈值。
[0014]进一步地，还确定膜厚是否在达标判定阈值范围内，若液膜特征厚度在所述膜厚达标判定阈值范围内，则判定液膜厚度达标，否则判定液膜厚度未达标，则对液膜整体补偿打印厚度h
target
为目标膜厚，为液膜特征厚度。
[0015]一种柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿系统，包括：
[0016]喷印模块，用于按照规划的路径对柔性电子功能层进行图案化喷墨打印得到液膜；
[0017]液膜检测模块，用于离散采集液膜表面多个点的厚度；
[0018]处理器，用于将多个液膜离散点厚度的均值作为液膜特征厚度，依据液膜特征厚度设定漏打印判定厚度阈值，若液膜表面存在某点的厚度低于漏打印判定厚度阈值，则表明该点为漏打印点，则将漏打印点位置反馈给喷印模块以对漏打印点补充打印；
[0019]固化模块，用于对液膜实施固化操作得到固化膜。
[0020]进一步地，所述液膜检测模块包括厚度检测单元和检测运动单元；检测运动单元用于逐行逐列运动，将厚度检测单元送至液膜离散点，厚度检测单元用于检测离散点的厚度。
[0021]进一步地，所述处理器还用于确定膜厚达标判定阈值范围，若液膜特征厚度在所述膜厚达标判定阈值范围内，则判定液膜厚度达标，否则判定液膜厚度未达标，则将液膜整体补偿打印厚度体补偿打印厚度反馈给喷印模块，h
target
为目标膜厚，为液膜特征厚度。
[0022]进一步地，所述喷印模块包括喷头单元，喷头单元包含喷头、喷头运动模组、喷头控制模组；喷头控制模组用于控制喷头的喷射和喷头运动模组的运动；喷头运动模组用于进行X、Y、Z三个方向的直线运动，以调整喷头与基板的相对位置；喷头用于对置于基板上的柔性电子功能层进行图案化喷墨打印。
[0023]总体而言，本专利技术的技术方案与现有技术相比主要具备以下的技术优点：
[0024]1、本专利技术提出种柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿方法及系统，在液膜打印过程中检测漏打印缺陷，并在线补打印，实现对漏打印缺陷的在线补偿。
[0025]2、本专利技术还对液膜整体厚度一致性进行闭环控制，可以实现对膜厚的精确控制，有效减少膜层缺陷的产生，有效提高产品的良品率。
[0026]3、本专利技术与现有工艺流程相比可在保证器件质量的同时也减少了不同工艺间切换导致的时间浪费，因而能够显著地提高了制造质量和制造效率。
附图说明
[0027]图1是本专利技术柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿方法流程图；
[0028]图2是本专利技术柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿系统较佳实施例结构示意图；
[0029]图3是按照本专利技术系统较佳实施例所构建的喷印模块的控制原理图；
[0030]图4是膜厚信息二维点阵的示意图；
[0031]图5是按照本专利技术系统较佳实施所构建的一种柔性电子功能层喷印制备的工艺流程图。
[0032]在所有附图中，相同的附图标记用来表示相同的元件或结构，其中：
[0033]100
‑
基板输入模块；
[0034]200
‑
基板转移模块、201
‑
环绕机械手的可放置基板的环形轨道、202
‑
搬运机械手；
[0035]300
‑
喷印模块、301
‑
基板承载台单元、302
‑
上视检测单元、303
‑
喷头单元、304
‑
下视检测单元；
[0036]400
‑
液膜检测模块；
[0037]500
‑
静置模块；
[0038]600
‑
固化模块；
[0039]700
‑
固化膜检测模块、701
‑
固化膜检测单元、702
‑
基板承载平台单元；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)对柔性电子功能层进行图案化喷墨打印得到液膜；(2)离散采集液膜表面多个点的厚度；(3)将多个液膜离散点厚度的均值作为液膜特征厚度；(4)依据液膜特征厚度设定漏打印判定厚度阈值，若液膜表面存在某点的厚度低于漏打印判定厚度阈值，则表明该点为漏打印点，则对漏打印点补充打印；(5)对液膜实施固化操作得到固化膜。2.根据权利要求1所述的柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿方法，其特征在于，在液膜表面采用逐行逐列间隔取点。3.根据权利要求1或2所述的柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿方法，其特征在于，从多个液膜离散点厚度中去除部分高值和部分低值，留取中间值计算均值作为液膜特征厚度。4.根据权利要求1或2所述的柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿方法，其特征在于，将液膜特征厚度的一半作为漏打印判定厚度阈值。5.根据权利要求1或2所述的柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿方法，其特征在于，还确定膜厚达标判定阈值范围，若液膜特征厚度在所述膜厚达标判定阈值范围内，则判定液膜厚度达标，否则判定液膜厚度未达标，则对液膜整体补偿打印厚度h
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为目标膜厚，为液膜特征厚度。6.一种柔性电子喷印制膜漏打印缺陷在线补偿系统，其特征在于，包括：喷印模块，用于按照规划的路径对柔性电子功能层进行图案化喷墨打印得到液膜；液膜检...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建魁，尹周平，李顺博，喻梦雯，易金虎，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：