状态判断装置、状态判断方法和计算机可读取的存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供状态判断装置、状态判断方法和计算机可读取的存储介质，判断构成为能够在基片处理装置中保持基片并且使之动作的驱动机构的状态。该状态判断装置包括：构成为能够获取驱动机构的动作数据的获取部；模型生成部，其构成为能够基于正常动作数据，执行使用自动编码器的机器学习，来生成驱动机构的监视模型，其中，正常动作数据来自于在驱动机构的正常动作时由获取部获取到的动作数据；和第一判断部，其构成为能够基于将评价数据输入监视模型而得到的第一输出数据，判断驱动机构的状态，其中，评价数据来自于在驱动机构的评价时由获取部获取到的动作数据。由获取部获取到的动作数据。由获取部获取到的动作数据。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】状态判断装置、状态判断方法和计算机可读取的存储介质


[0001]本专利技术涉及状态判断装置、状态判断方法和计算机可读取的存储介质。

技术介绍

[0002]专利文献1中公开有一种基片输送机构，其设置于对半导体晶片等基片进行处理的基片处理装置。基片输送机构构成为能够在基片处理装置中的不同模块间移动。输送机构例如在承载器与处理模块之间移动，来从收纳多个基片的承载器取出一个基片，并将该基片输送到处理模块。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2013
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133192号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]本专利技术说明能够简易且高精度地判断基片的驱动机构的状态的状态判断装置、状态判断方法和计算机可读取的存储介质。
[0008]用于解决技术问题的技术方案
[0009]本专利技术的一个观点的状态判断装置，判断构成为能够在基片处理装置中保持基片并且使之动作的驱动机构的状态。该状态判断装置包括：构成为能够本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种状态判断装置，其特征在于：所述状态判断装置判断构成为能够在基片处理装置中保持基片并且使之动作的驱动机构的状态，并包括：构成为能够获取所述驱动机构的动作数据的获取部；模型生成部，其构成为能够基于正常动作数据，执行使用自动编码器的机器学习，来生成所述驱动机构的监视模型，其中，所述正常动作数据来自于在所述驱动机构的正常动作时由所述获取部获取到的所述动作数据；和第一判断部，其构成为能够基于将评价数据输入所述监视模型而得到的第一输出数据，判断所述驱动机构的状态，其中，所述评价数据来自于在所述驱动机构的评价时由所述获取部获取到的所述动作数据。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述第一判断部执行以下处理：基于所述正常动作数据与将所述正常动作数据输入所述监视模型而得到的第二输出数据之间的第一误差，获取容许误差的处理；通过将所述评价数据和所述第一输出数据之间的第二误差与所述容许误差进行比较，获取从所述容许误差的第一偏差率的处理；以及基于所述第一偏差率判断所述驱动机构的状态的处理。3.如权利要求2所述的装置，其特征在于：在将参数μ1、σ1分别设为：μ1：所述第一误差的平均值σ1：所述第一误差的标准偏差时，所述容许误差为μ1±
3σ1的范围。4.如权利要求2或3所述的装置，其特征在于：所述第一偏差率为，基于所述第二误差和所述容许误差计算均方根误差(RMSE)而得到的值。5.如权利要求2～4中任一项所述的装置，其特征在于：基于所述第一偏差率判断所述驱动机构的状态的处理，包括基于所述第一偏差率是否超过了规定的阈值来进行判断的处理。6.如权利要求5所述的装置，其特征在于：在将参数σ2设为σ2：基于所述第一误差与所述容许误差的比较而得到的、与所述容许误差的第二偏差率的标准偏差时，所述阈...

【专利技术属性】
技术研发人员：牧准之辅，丰永真臣，太田敦，冈田基，筒井拓郎，佐野圭，矢野光辉，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：