在之前的供给工序时残留的高浓度臭氧在接下来的吸附工序时漏出而被废弃。因此，本发明专利技术具备：第一吸附解吸塔(3a)及第二吸附解吸塔(3b)；将从第一吸附解吸塔(3a)排出的气体向装置外排出的排气用气体回路(R0)；使从所述第一吸附解吸塔(3a)排出的气体通过第二吸附解吸塔(3b)之后向装置外部排出的吸附回收用气体回路(R1)；切换排气用气体回路(R0)和吸附回收用气体回路(R1)的流路的回路切换器(5)；以及根据第一吸附解吸塔(3a)的状态和第二吸附解吸塔(3b)的状态控制回路切换器(5)的开闭的控制部(6)。制部(6)。制部(6)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】臭氧供给装置以及臭氧供给方法
[0001]本申请涉及臭氧供给装置以及臭氧供给方法。
技术介绍
[0002]臭氧作为强力的氧化剂，在水环境净化、半导体清洗等多种领域中被利用。产生臭氧的臭氧产生装置的臭氧浓度的上限值为体积百分率20％左右。因此，使用填充有吸附剂的吸附解吸塔，对由臭氧产生装置生成的混合气体(氧和臭氧)进行吸附、浓缩、解吸，从而得到高浓度的臭氧。
[0003]在臭氧供给装置中，希望进行能够变更向臭氧供给对象供给臭氧的量的控制。
[0004]另一方面，在利用臭氧的一侧(需求侧)、例如废水处置中，通常，流入的废水的流入量以及水质时时刻刻发生变化。因此，废水处理所需的臭氧的最佳供给量也时时刻刻发生变化。因此，在供给一定量的臭氧的情况下，可能会产生臭氧供给量相对于废水处理量过剩或过小的状态。如果臭氧的供给量过剩，则不经济，如果臭氧的供给量过小，则处理有可能变得不充分。因此，在臭氧供给装置中，要求成为与臭氧的需求的变动相应的供给量的控制。
[0005]但是，作为供给臭氧的一侧，需要高效地制造以及稳定地供给臭氧。因此，作为现有技术，提出了如下技术(专利文献1)：具备多个吸附解吸塔，并具备使利用吸附解吸塔吸附臭氧后的气体返回到臭氧产生器的循环配管和从吸附解吸塔取出臭氧的臭氧排出构件，通过在吸附储存臭氧时利用其他吸附解吸塔吸附回收从吸附解吸塔漏出的臭氧，从而能够利用在吸附时被废弃的臭氧。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：日本特开平09<br/>‑
235104号公报
技术实现思路
[0009]专利技术要解决的课题
[0010]但是，在现有技术中，由于将供给臭氧后的吸附解吸塔用作下一个循环的吸附回收用，因此，在供给之前的臭氧的工序时残留的高浓度臭氧通过在吸附工序开始时被导入到吸附解吸塔的氧以及低浓度的臭氧被挤出到吸附解吸塔出口，并从吸附解吸塔漏出。因此，高浓度的臭氧被废弃，能够有效利用所制造的臭氧的比例(臭氧利用率)降低，产生装置的运行成本增加的问题。
[0011]本申请公开了用于解决上述那样的课题的技术，其目的在于提供一种实现臭氧利用率的提高的臭氧供给装置以及臭氧供给方法。
[0012]用于解决课题的方案
[0013]本申请所公开的臭氧供给装置利用收容有吸附剂的第一吸附解吸塔以及第二吸附解吸塔浓缩并供给臭氧气体，其中，所述臭氧供给装置具备：排气用气体回路，所述排气
用气体回路将从所述第一吸附解吸塔排出的气体向装置外排出；吸附回收用气体回路，所述吸附回收用气体回路与所述排气用气体回路不同，使从所述第一吸附解吸塔排出的气体通过所述第二吸附解吸塔之后向装置外部排出；回路切换器，所述回路切换器对所述排气用气体回路和所述吸附回收用气体回路的流路进行切换；以及控制部，所述控制部根据所述第一吸附解吸塔的状态和所述第二吸附解吸塔的状态，对所述回路切换器的开闭进行控制。
[0014]专利技术的效果
[0015]本申请根据对第一吸附解吸塔的状态和第二吸附解吸塔的状态进行比较的结果，选择是将第一吸附解吸塔的臭氧气体排出还是通向第二吸附解吸塔并进行控制，因此，能够抑制在第一吸附解吸塔的吸附工序中生成并在供给工序时残留的高浓度的臭氧气体漏出，能够实现臭氧利用率的提高。
附图说明
[0016]图1是表示实施方式1的臭氧供给装置的结构图。
[0017]图2是表示在实施方式1的臭氧供给装置的第一吸附工序中将气体从第一吸附解吸塔向装置外排出的路径的气体回路图。
[0018]图3是表示在实施方式1的臭氧供给装置的第一吸附工序中使从第一吸附解吸塔排出的气体通过第二吸附解吸塔之后向装置外部排出的路径的气体回路图。
[0019]图4是表示在实施方式1的臭氧供给装置的第一供给工序中从第一吸附解吸塔向供给对象供给气体的路径的气体回路图。
[0020]图5是表示在实施方式1的臭氧供给装置的第二吸附工序中将从第一吸附解吸塔排出的气体向装置外排出的路径的气体回路图。
[0021]图6是表示在实施方式1的臭氧供给装置的第二吸附工序中使从第一吸附解吸塔排出的气体通过第二吸附解吸塔之后向装置外部排出的路径的气体回路图。
[0022]图7是表示在实施方式1的臭氧供给装置的第二供给工序中从第一吸附解吸塔向供给对象供给气体的路径的气体回路图。
[0023]图8是将实施方式1的臭氧供给装置的吸附工序中的向外部排出的臭氧化气体的臭氧浓度随着时间的变化与比较例1进行比较而示出的特性图。
[0024]图9是将实施方式1的臭氧供给装置的吸附工序中的向外部排出的臭氧化气体的臭氧浓度随着时间的变化与比较例2进行比较而示出的特性图。
[0025]图10是将实施方式1的臭氧供给装置的改良例的吸附工序中的向外部排出的臭氧化气体的臭氧浓度随着时间的变化与实施方式1的臭氧供给装置进行比较而示出的特性图。
[0026]图11是表示实施方式2的臭氧供给装置的结构图。
[0027]图12是表示实施方式3的臭氧供给装置的结构图。
[0028]图13是表示实施方式4的臭氧供给装置的结构图。
[0029]图14是表示实施方式的控制部的结构的框图。
具体实施方式
[0030]实施方式1.
[0031]图1是表示本申请的实施方式1的臭氧供给装置的结构图。
[0032]该实施方式1的臭氧供给装置100具备原料气体源1、臭氧产生部2、第一吸附解吸塔3a、第二吸附解吸塔3b。在第一吸附解吸塔3a以及第二吸附解吸塔3b的内部填充有吸附剂4a、4b。在臭氧产生部2与第一吸附解吸塔3a之间、臭氧产生部2与第二吸附解吸塔3b之间、第一吸附解吸塔3a与第二吸附解吸塔3b之间，分别设置有使气体流通的气体回路。在各个气体回路中设置有回路切换器5。该回路切换器5由控制部6控制开闭。控制部6基于由第一浓度测量部7a测出的测定值和由第二浓度测量部7b测出的测定值进行控制操作。需要说明的是，在图中，省略了从控制部6向回路切换器5的信号线的显示。
[0033]回路切换器5通过对为了将各结构部件之间连接而设置的气体回路进行开闭，能够分别选择性地形成排气用气体回路R0a、R0b、吸附回收用气体回路R1a、R1b、供给用气体回路R2a、R2b。
[0034]在此，将设置在连接臭氧产生部2和第一吸附解吸塔3a的第一出入口3a1的气体回路的中途的切换器称为第一回路切换器5a1，将设置在连接臭氧产生部2和第二吸附解吸塔3b的第一出入口3b1的气体回路的中途的切换器称为第五回路切换器5b1，将设置在从第一浓度测量部7a向外部开口的气体回路的中途的切换器称为第二回路切换器5a2，将设置在从第二浓度测量部7b向外部开口的气体回路的中途的切换器称为第六回路切换器5b2，将设置在从第一浓度测量部7a与第二吸附解吸塔3b连接的气体回路的中途的切换器称为第三回路切换器5a3，将设置在从第二本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种臭氧供给装置，利用收容有吸附剂的第一吸附解吸塔以及第二吸附解吸塔浓缩并供给臭氧气体，其中，所述臭氧供给装置具备：排气用气体回路，所述排气用气体回路将从所述第一吸附解吸塔排出的气体向装置外排出；吸附回收用气体回路，所述吸附回收用气体回路与所述排气用气体回路不同，使从所述第一吸附解吸塔排出的气体通过所述第二吸附解吸塔之后向装置外部排出；回路切换器，所述回路切换器对所述排气用气体回路和所述吸附回收用气体回路的流路进行切换；以及控制部，所述控制部根据所述第一吸附解吸塔的状态和所述第二吸附解吸塔的状态，对所述回路切换器的开闭进行控制。2.如权利要求1所述的臭氧供给装置，其中，所述臭氧供给装置具备测量所述第一吸附解吸塔内的状态的第一浓度测量部和测量所述第二吸附解吸塔内的状态的第二浓度测量部，根据臭氧浓度或氧浓度来控制所述回路切换器。3.如权利要求1所述的臭氧供给装置，其中，所述臭氧供给装置具备测量所述第一吸附解吸塔内的吸附剂上部的温度的状态的第一温度测量部和测量所述第二吸附解吸塔内的吸附剂上部的温度的状态的第二温度测量部，根据温度状态来控制所述回路切换器。4.如权利要求1或2所述的臭氧供给装置，其中，所述控制部如下进行控制：在从所述第一吸附解吸塔排出的臭氧的臭氧浓度比所述第二吸附解吸塔的臭氧浓度高的情况下，从所述第一吸附解吸塔的所述排气用气体回路向所述吸附回收用气体回路切换流路，在从所述第一吸附解吸塔排出的臭氧的臭氧浓度比所述第二吸附解吸塔的臭氧浓度低的情况下，从所述第一吸附解吸塔的所述吸附回收用气体回路向所述排气用气体回路切换流路。5.如权利要求1或2所述的臭氧供给装置，其中，所述控制部如下进行控制：在从所述第一吸附解吸塔排出的臭氧的氧浓度比所述第二吸附解吸塔的臭氧的氧浓度低的情况下，从所述第一吸附解吸塔的所述排气用气体回路向所述吸附回收用气体回路切换流路，在从所述第一吸附解吸塔排出的臭氧的氧浓度比所述第二吸附解吸塔的臭氧的氧浓度高的情况下，从所述第一吸附解吸塔的所述吸附回收用气体回路向所述排气用气体回路切换流路。6.如权利要求1或2所述的臭氧供给装置，其中，在从所述第一吸附解吸塔漏出的臭氧浓度或氧浓度达到预先设定的规定值、或吸附所涉及的时间经过规定时间之后，开始所述回路切换器的开闭控制。7.如权利要求2所述的臭氧供给装置，其中，所述第一浓度测量部设置在所述吸附回收用气体回路和所述排气用气体回路的分支点与所述第一吸附解吸塔之间，所述第二浓度测量部设置在所述吸附回收用气体回路和所述排气用气体回路的分支点与所述第二吸附解吸塔之间。
8.如权利要求1所述的臭氧供给装置，其中，在臭氧解吸结束时，通过使所吸附的臭氧残留在吸附解吸塔内，能够使供给的臭氧量变动。9.如权利要求3所述的臭氧供给装置，其中，在所述第一吸附解吸塔的状态以及所述第二吸附解吸塔的状态为所述第一吸附...
【专利技术属性】
技术研发人员：松浦洋航，和田升，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：
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