一种真空泵制造技术

本申请提供了一种真空泵，该真空泵包括：电机；电机轴承座，所述电机轴承座用于安装所述电机，所述电机轴承座内设置有第一通道，所述第一通道连接所述真空泵的吹扫气体管路，用以将所述吹扫气体通过所述第一通道引入到所述电机与所述电机轴承座之间的空隙，以对所述电机进行冷却散热。本申请提供的真空泵具有良好的电机散热功能，同时有效控制电机温度低于泵壳温度，提高真空泵电机在不同工况下运行的可靠性，从而满足真空泵循环大负载的工艺需求。求。求。

【技术实现步骤摘要】
一种真空泵


[0001]本申请涉及真空泵
，具体涉及一种真空泵。

技术介绍

[0002]真空泵作为制造业重要的通用设备，其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。目前，随着真空泵在半导体制造业中的广泛应用，由于半导体的制造工艺对真空泵加热温度的要求不断提高，从而引出真空泵各部件的耐温与散热功能的改进。
[0003]真空泵在工作过程中需要设置一定的加热温度，在空载过程中，真空泵的电机温度受到加热温度的影响会升高，随着真空泵气载的增加与温度的累积，电机温度继续升高且容易出现过温报警，从而使得真空泵进入过温保护状态并进行降速，这将影响到制造工艺过程中真空泵的流量抽速，所以要求真空泵电机具有一定的散热功能。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种真空泵，能够提高真空泵电机的散热能力。
[0005]本专利技术提供了一种真空泵，该真空泵包括：电机；电机轴承座，电机轴承座用于安装电机，电机轴承座内设置有第一通道，第一通道连接真空泵的吹扫气体管路，用以将吹扫气体通过第一通道引入到电机与电机轴承座之间的空隙，以对电机进行冷却散热。
[0006]在本专利技术某些实施例中，真空泵还包括底座，底座设置有第二通道，第二通道与第一通道相互连通形成第一流体通道，吹扫气体通过第一流体通道被引入到电机与电机轴承座之间的空隙，以对电机进行冷却散热。
[0007]在本专利技术某些实施例中，真空泵还包括泵壳，吹扫气体管路穿过泵壳并与第一通道相互连通形成第二流体通道，吹扫气体通过第二流体通道被引入到电机与电机轴承座之间的空隙，以对电机进行冷却散热。
[0008]在本专利技术某些实施例中，真空泵还包括控制系统，控制系统检测真空泵的气载状态，通过电磁阀对吹扫气体管路的气体供给进行控制，其中：当检测到真空泵电机电流小于预设阈值，判断真空泵为空载，控制电磁阀打开；当检测到真空泵电机电流大于或等于预设阈值，判断真空泵为非空载，控制电磁阀关闭；其中，电磁阀设置在用于冷却电机的吹扫气体管路入口端和第一通道入口端的中间，并对用于冷却电机的吹扫气体管路的开启/关闭进行控制。
[0009]在本专利技术某些实施例中，第一通道包括沿着圆周方向设置的至少一个环形凹槽，且至少一个环形凹槽位于电机与电机轴承座配合部分，至少一个环形凹槽与第一通道相互连通。
[0010]在本专利技术某些实施例中，至少一个环形凹槽包括多个环形凹槽，其中多个环形凹槽以平行且等间距的方式设置。
[0011]在本专利技术某些实施例中，至少一个环形凹槽为梯形槽。
[0012]在本专利技术某些实施例中，吹扫气体管路用于对所述真空泵的内部进行清洁吹扫。
[0013]在本专利技术某些实施例中，真空泵还包括：XY定子传感器，XY定子轴承，轴承压盖和保护轴承，XY定子传感器、XY定子轴承、轴承压盖及保护轴承分别与电机轴承座之间具有安装间隙，对电机进行冷却的吹扫气体通过安装间隙进入真空泵内部，然后由真空泵排出。
[0014]根据本专利技术实施例提供的真空泵，通过在真空泵的电机轴承座内设置第一通道，合理地将本来用于对真空泵的反应副产物进行吹扫的吹扫气体引入至真空泵电机与电机轴承座之间的空隙，通过吹扫气体与电机之间的对流换热带走电机的部分热量，能够快速降低电机温度，实现对电机的良好散热，使电机温度控制在低于壳体温度的范围内，提高真空泵电机在不同工况下运行的可靠性，从而满足真空泵循环大负载的工艺需求。
附图说明
[0015]图1所示为本申请一实施例提供的真空泵的结构示意图。
[0016]图2所示为本申请一实施例提供的真空泵的结构示意图。
[0017]图3所示为本申请另一实施例提供的吹扫气体管路布置的结构示意图。
[0018]图4所示为本申请另一实施例提供的真空泵的结构示意图。
[0019]图5所示为本申请另一实施例提供的吹扫气体管路控制方法的结构示意图。
[0020]图6所示为本申请另一实施例提供的真空泵的结构示意图。
[0021]附图标记：
[0022]电机11；
[0023]电机轴承座12；
[0024]AB定子轴承13；
[0025]AB定子传感器14；
[0026]XY定子传感器15；
[0027]XY定子轴承16；
[0028]轴承压盖17；
[0029]保护轴承18；
[0030]底座19；
[0031]泵壳20；
[0032]第一通道110；
[0033]第二通道120；
[0034]第一通孔111；
[0035]第二通孔112；
[0036]第三通孔113；
[0037]凹槽114；
[0038]梯形槽115；
[0039]第四通孔121；
[0040]第五通孔122；
[0041]三通接头21；
[0042]电磁阀22；
[0043]吹扫气体管路P0；
[0044]用于冷却电机的吹扫气体管路P1。
具体实施方式
[0045]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0046]真空泵电机散热一般情况下可以通过电机与电机轴承座进行热传导，将温度传给泵壳，而泵壳带有冷却水降温功能，从而将热量带走。但是泵壳本身带有加热功能，而且是在泵壳温度超过加热设定值时，冷却水才进行循环降温，从而影响真空泵电机的降温。因此，针对上述问题，急需提出一种有效的解决方案，以实现真空泵电机的良好散热，使得电机温度控制在低于泵壳的温度，从而保证真空泵电机的常规使用工况。
[0047]在半导体的制造工艺中，多种气体反应会产生一些反应副产物，为了防止真空泵内部零件的腐蚀和副产物沉积，一般采用在真空泵的入气端通以适量的吹扫气体，以平衡负压，降低工艺气体浓度以免腐蚀真空泵叶片。本申请的技术方案有效的采用了真空泵的吹扫气体供给系统，在电机轴承座内设置第一通道，将吹扫气体通过该第一通道引入到电机与电机轴承座之间的空隙，从而起到对电机进行冷却的作用，实现电机的快速散热。
[0048]下面结合图1和图2来描述本专利技术的实施方式。图1所示为本申请一实施例提供的真空泵的结构示意图。图2所示为本申请一实施例提供的真空泵的结构示意图。
[0049]如图1所示，该真空泵包括：电机11；电机轴承座12，电机轴承座12用于安装电机11，电机轴承座12为空腔结构，电机11容纳在空腔中，并且电机11的外壁与电机轴承座12的内壁之间形成有间隙。电机轴承座12内设置有第一通道110，第一通道110连接真空泵的吹扫气体管路P0，用以将吹扫气体通过第一通道110引入到电机11与电机轴承座12之间的空隙，对电机11进行冷却散热以降低电机11的温度。
[0050]在本实施例中，电机11和电机轴承座12安装配合部分存在空隙，为了解决电机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空泵，其特征在于，包括：电机；电机轴承座，所述电机轴承座用于安装所述电机，所述电机轴承座内设置有第一通道，所述第一通道连接所述真空泵的吹扫气体管路，用以将所述吹扫气体通过所述第一通道引入到所述电机与所述电机轴承座之间的空隙，以对所述电机进行冷却散热。2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述真空泵还包括底座，所述底座设置有第二通道，所述第二通道与所述第一通道相互连通形成第一流体通道，所述吹扫气体通过所述第一流体通道被引入到所述电机与所述电机轴承座之间的空隙，以对所述电机进行冷却散热。3.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述真空泵还包括泵壳，所述吹扫气体管路穿过泵壳并与所述第一通道相互连通形成第二流体通道，所述吹扫气体通过所述第二流体通道被引入到所述电机与所述电机轴承座之间的空隙，以对所述电机进行冷却散热。4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述真空泵还包括控制系统，所述控制系统检测所述真空泵的气载状态，通过设置在所述吹扫气体管路与所述第一通道之间的电磁阀对所述吹扫气体管路流向所述第一通道的气体供给进行控制。5.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，当检...

【专利技术属性】
技术研发人员：成航航，顾艳庆，李赏，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：