一种真空泵制造技术

本申请提供了一种真空泵，该真空泵包括：电机；电机轴承座，所述电机轴承座用于安装所述电机，所述电机轴承座内设置有第一通道，所述第一通道连接所述真空泵的吹扫气体管路，用以将所述吹扫气体通过所述第一通道引入到所述电机与所述电机轴承座之间的空隙，以对所述电机进行冷却散热。本申请提供的真空泵具有良好的电机散热功能，同时有效控制电机温度低于泵壳温度，提高真空泵电机在不同工况下运行的可靠性，从而满足真空泵循环大负载的工艺需求。求。求。

【技术实现步骤摘要】
一种真空泵


[0001]本申请涉及真空泵
，具体涉及一种真空泵。

技术介绍

[0002]真空泵作为制造业重要的通用设备，其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。目前，随着真空泵在半导体制造业中的广泛应用，由于半导体的制造工艺对真空泵加热温度的要求不断提高，从而引出真空泵各部件的耐温与散热功能的改进。
[0003]真空泵在工作过程中需要设置一定的加热温度，在空载过程中，真空泵的电机温度受到加热温度的影响会升高，随着真空泵气载的增加与温度的累积，电机温度继续升高且容易出现过温报警，从而使得真空泵进入过温保护状态并进行降速，这将影响到制造工艺过程中真空泵的流量抽速，所以要求真空泵电机具有一定的散热功能。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种真空泵，能够提高真空泵电机的散热能力。
[0005]本专利技术提供了一种真空泵，该真空泵包括：电机；电机轴承座，电机轴承座用于安装电机，电机轴承座内设置有第一通道，第一通道连接真空泵的吹扫气体管路，用以将吹扫气体通过第一通道引入到电机与电机轴承座之本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空泵，其特征在于，包括：电机；电机轴承座，所述电机轴承座用于安装所述电机，所述电机轴承座内设置有第一通道，所述第一通道连接所述真空泵的吹扫气体管路，用以将所述吹扫气体通过所述第一通道引入到所述电机与所述电机轴承座之间的空隙，以对所述电机进行冷却散热。2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述真空泵还包括底座，所述底座设置有第二通道，所述第二通道与所述第一通道相互连通形成第一流体通道，所述吹扫气体通过所述第一流体通道被引入到所述电机与所述电机轴承座之间的空隙，以对所述电机进行冷却散热。3.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述真空泵还包括泵壳，所述吹扫气体管路穿过泵壳并与所述第一通道相互连通形成第二流体通道，所述吹扫气体通过所述第二流体通道被引入到所述电机与所述电机轴承座之间的空隙，以对所述电机进行冷却散热。4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述真空泵还包括控制系统，所述控制系统检测所述真空泵的气载状态，通过设置在所述吹扫气体管路与所述第一通道之间的电磁阀对所述吹扫气体管路流向所述第一通道的气体供给进行控制。5.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，当检...

【专利技术属性】
技术研发人员：成航航，顾艳庆，李赏，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：