一种载玻片高精度电动升降台制造技术

一种载玻片高精度电动升降台，属于载玻片升降台技术领域。本实用新型专利技术包括底板、基座、驱动板、配重弹簧、弹簧引导销和压电马达，基座滑动连接驱动板，基座上安装有压电马达，压电马达的输出端与驱动板相接触，并驱动驱动板上下移动。本实用新型专利技术采用压电马达来驱动驱动板上下移动，利用压电马达的直驱特征，使得载玻片升降台整体的尺寸减小；利用压电马达极高的步进精度，使得载玻片升降台的移动精度大大提高；利用压电马达的驱动原理，使得载玻片升降台在具有超高精度的同时，还拥有理论上无限的行程，在使用中，虽受制于驱动片长度限制，但也能远超压电制动器驱动的载玻片升降台，完全可以满足载玻片升降台的行程需求。以满足载玻片升降台的行程需求。以满足载玻片升降台的行程需求。

【技术实现步骤摘要】
一种载玻片高精度电动升降台


[0001]本技术属于载玻片升降台
，具体是涉及一种载玻片高精度电动升降台。

技术介绍

[0002]现有电动载玻片升降台一般采用压电致动器或者普通电磁马达驱动，其中压电致动器驱动即利用压电材料在电场下的形变，通过形变来驱动载玻片升降台。由于压电材料的形变量有限，以通过杠杆放大的原理，来提高载玻片升降台的行程。但，即使通过杠杆放大，行程一般也只有200
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500微米，非常有限。普通电磁马达虽然行程可以满足要求，但由于尺寸较大，精度有限，而不能用于超高精度载玻片升降台的驱动。所以一种紧凑、高精度、行程大于500微米的电动载玻片升降台仍然是这种装置的一个目标。

技术实现思路

[0003]本技术主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供一种载玻片高精度电动升降台，以提高载玻片升降台的移动精度和行程，减小载玻片升降台的尺寸。
[0004]本技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种载玻片高精度电动升降台，包括底板、基座、驱动板、配重弹簧、弹簧引导销、以及压电马达，所述基座滑动连接驱动板，所述基座上安装有压电马达，所述压电马达的驱动足与驱动板相接触，并驱动驱动板上下移动，所述驱动板开设有弹簧孔和弹簧引导销孔，所述弹簧孔和弹簧引导销孔相连通，所述弹簧引导销的一端插入底板，所述弹簧引导销的另一端经弹簧孔后插入弹簧引导销孔内，所述弹簧引导销套设配重弹簧，所述配重弹簧的一端与弹簧孔的内壁相抵接接触，所述配重弹簧的另一端与弹簧引导销相抵接接触。r/>[0005]作为优选，所述基座开设有至少一个安装槽，所述安装槽内设有用于夹持压电马达的夹持件。
[0006]作为优选，所述基座左右两侧均开设有一个安装槽，所述安装槽之间呈镜像对称。
[0007]作为优选，所述安装槽内设有弹性件，所述弹性件分别抵接接触安装槽槽壁和夹持件外侧壁。
[0008]作为优选，所述安装槽内设有预紧力弹簧，所述预紧力弹簧的一端与夹持件的端部相连，所述预紧力弹簧的另一端与安装槽的槽底相抵接接触。
[0009]作为优选，所述驱动板上固定安装有导轨，所述基座滑动连接导轨。
[0010]作为优选，所述驱动板在驱动板和压电马达驱动足的接触处嵌设有驱动片。
[0011]作为优选，所述底板上开设有螺纹孔，所述螺纹孔螺纹连接有顶丝，所述弹簧引导销的一端插入螺纹孔并与顶丝相接触。
[0012]作为优选，所述驱动板上设有光栅尺，所述基座上设有光栅读头，所述光栅读头与光栅尺相对应。
[0013]作为优选，还包括用于包覆压电马达的马达盖板。
[0014]本技术具有的有益效果：本技术采用压电马达来驱动驱动板上下移动，利用压电马达的直驱特征，使得载玻片升降台整体的尺寸减小；利用压电马达极高的步进精度，使得载玻片升降台的移动精度大大提高；利用压电马达的驱动原理，使得载玻片升降台在具有超高精度的同时，还拥有理论上无限的行程，在实际使用中，虽受制于驱动片长度的限制，但也能远超压电制动器驱动的载玻片升降台，完全可以满足载玻片升降台的行程需求。本技术便于使用，使用效果好，易于推广使用。
附图说明
[0015]图1是本技术的一种结构示意图；
[0016]图2是本技术基座和驱动板的一种连接结构示意图；
[0017]图3是本技术基座的一种仰视结构示意图；
[0018]图4是本技术压电马达、夹持件和弹性件的一种安装结构示意图；
[0019]图5是本技术压电马达、夹持件和弹性件的一种连接结构示意图；
[0020]图6是本技术驱动板和驱动片的一种连接结构示意图；
[0021]图7是本技术弹簧引导销、配重弹簧和顶丝的一种连接结构示意图。
[0022]图中：1、底板；2、基座；3、导轨；4、驱动板；5、马达盖板；6、载玻片夹具；7、载玻片；8、夹持件；9、弹性件；10、压电马达；11、预紧力弹簧；12、驱动片；13、光栅读头；14、光栅尺；15、弹簧引导销；16、配重弹簧；17、顶丝；18、弹簧引导销孔；19、弹簧孔；20、粘接胶槽；21、安装槽；22、螺纹孔。
具体实施方式
[0023]下面通过实施例，并结合附图，对本技术的技术方案作进一步具体的说明。
[0024]实施例：一种载玻片高精度电动升降台，如图1
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图7所示，包括底板1、基座2、驱动板4、配重弹簧16、弹簧引导销15、以及压电马达10，所述底板1和基座2相连接，所述基座2滑动连接驱动板4，所述基座2上安装有压电马达10，所述压电马达10的驱动足与驱动板4相接触，并驱动驱动板4上下移动；所述驱动板4开设有弹簧孔19和弹簧引导销孔18，所述弹簧孔19位于弹簧引导销孔18的下方，并与弹簧引导销孔18相连通，所述弹簧引导销15的一端插入底板1，所述弹簧引导销15的另一端经弹簧孔19后插入弹簧引导销孔18内，所述弹簧引导销15套设配重弹簧16，所述配重弹簧16的一端与弹簧孔19的内壁相抵接接触，所述配重弹簧16的另一端与弹簧引导销15相抵接接触。
[0025]所述驱动板4上固定安装有导轨3，所述基座2滑动连接导轨3，所述导轨3为高精度导轨，采用交叉防蠕动滚柱高精度导轨。
[0026]压电马达10是利用压电材料的反压电效应进行机电能量转换，即压电陶瓷材料在电场作用下发生变形来驱动电机的动子运动。由于压电马达10的直驱特征，没有普通电磁马达所需要的丝杆机构，使得本载玻片升降台的整体尺寸减小。同时，压电马达10具有极高的步进精度，使得本载玻片升降台的移动精度也大大提高，实际应用已经达到10nm最小步距，
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20nm双向重复定位精度；另外，基于压电马达10的驱动原理，可以使本载玻片升降台在具有10nm最小步距，
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20nm双向重复定位精度的超高精度的同时，拥有理论上无限的行程，虽受制于驱动片12长度的限制，但也能轻松突破300mm，远超过压电制动器驱动的载玻
片升降台的500μm，完全可以满足载玻片升降台的行程需求。
[0027]所述基座2开设有至少一个安装槽21，所述安装槽21位于基座2的前表面，所述安装槽21内设有用于夹持压电马达10的夹持件8，所述夹持件8为U型结构，所述压电马达10夹持在夹持件8内。所述安装槽21内设有弹性件9，所述弹性件9可为弹片，所述弹性件9位于夹持件8外侧壁和安装槽21槽壁之间，且所述弹性件9分别抵接接触安装槽21槽壁和夹持件8外侧壁，所述弹性件9通过自身产生的弹力将夹持件8压紧固定在安装槽21内，防止夹持件8在安装槽21内上下移动。所述安装槽21的宽度设计应满足：能将夹持件8和弹性件9放入安装槽21内，且弹性件9产生的弹力能将夹持件8压紧固定在安装槽21内。
[0028]所述安装槽21内还设有预紧力弹簧11，所述预紧力弹簧11的一端与夹持件8的端部相连，所述预紧力弹簧11的另本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载玻片高精度电动升降台，其特征在于，包括底板、基座、驱动板、配重弹簧、弹簧引导销、以及压电马达，所述基座滑动连接驱动板，所述基座上安装有压电马达，所述压电马达的驱动足与驱动板相接触，并驱动驱动板上下移动，所述驱动板开设有弹簧孔和弹簧引导销孔，所述弹簧孔和弹簧引导销孔相连通，所述弹簧引导销的一端插入底板，所述弹簧引导销的另一端经弹簧孔后插入弹簧引导销孔内，所述弹簧引导销套设配重弹簧，所述配重弹簧的一端与弹簧孔的内壁相抵接接触，所述配重弹簧的另一端与弹簧引导销相抵接接触。2.根据权利要求1所述的一种载玻片高精度电动升降台，其特征在于，所述基座开设有至少一个安装槽，所述安装槽内设有用于夹持压电马达的夹持件。3.根据权利要求2所述的一种载玻片高精度电动升降台，其特征在于，所述基座左右两侧均开设有一个安装槽，所述安装槽之间呈镜像对称。4.根据权利要求2所述的一种载玻片高精度电动升降台，其特征在于，所述安装槽内设有弹性件，所述弹性件分别抵接接触...

【专利技术属性】
技术研发人员：江海，李胜龙，
申请(专利权)人：简成科技绍兴有限公司，
类型：新型
国别省市：