平面型垂直记录头制造技术

本发明专利技术提供一种用于垂直记录的不需要研磨的磁头（滑块）。磁头具有平行于晶片表面的气垫面。线圈和极片由平行于气垫面设置的薄膜形成。可以使用标准光刻技术来限定形状、缝隙和极片尺寸。可以形成非直线形状，例如与写极片区域周围一致的侧屏蔽件。主极和返回极的厚度由沉积工艺而不是研磨控制。用来将各个滑块与晶片其余部分分离的锯切垂直于气垫面，并且不经过任何重要部件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于垂直记录的磁薄膜头，特别涉及这种磁头中使用的磁极片和屏蔽件、以及使用这种磁头的存储装置。
技术介绍
在常见的现有技术磁盘记录系统中，包括磁换能器(magnetic transducer)的滑块由悬架(suspension)支撑着在磁盘之上飞行，磁换能器用来读出和写入磁转变(magnetic transition)，心轴电机(spindle motor)使磁盘旋转。磁盘包括多层薄膜以及至少一层铁磁性薄膜，在铁磁性薄膜中，记录(写入)头记录磁转变，信息被编码在磁转变中。介质中的磁畴可以纵向或垂直地被写入。利用薄膜加工技术，将滑块的读出和写入头部分构建为多层。通常，先形成读出头，但也可以先制造写入头。传统的写入头是感应式的，而读传感器是磁阻式(magnetoresistive)的。在使用垂直记录的磁盘驱动器中，记录头设计成能引导磁通量在垂直于磁盘平面的方向通过记录层。通常，用于垂直记录的磁盘具有硬磁记录层和磁性软衬层。在使用单极型磁头的记录操作期间，磁通量被引导从记录头的主极垂直地通过硬磁记录层，然后进入软衬层平面并回到记录头中的返回极。主极片(main pole本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜磁记录头，用于与磁记录介质一起使用，包括：写入头，包括：主极片，其设置在气垫面处，由平行于衬底表面和所述气垫面设置的薄膜形成在第一薄膜平面内；以及返回极片，设置在所述第一薄膜平面内，由平行于衬底表面和所述气垫面设置的薄膜形成在第一薄膜平面内。

【技术特征摘要】
US 2004-4-30 10/836,9181.一种薄膜磁记录头，用于与磁记录介质一起使用，包括写入头，包括主极片，其设置在气垫面处，由平行于衬底表面和所述气垫面设置的薄膜形成在第一薄膜平面内；以及返回极片，设置在所述第一薄膜平面内，由平行于衬底表面和所述气垫面设置的薄膜形成在第一薄膜平面内。2.如权利要求1的薄膜磁记录头，其中所述写入头还包括第一垂直极片；第二垂直极片；以及环绕所述第一或第二垂直极片的导电材料线圈；其中，所述主极片设置在所述气垫面处所述第一垂直极片上，所述返回极片设置在所述气垫面处所述第二垂直极片上。3.如权利要求1的薄膜磁记录头，其中用于所述主极片和所述返回极片的材料同时沉积在一薄膜中。4.如权利要求1的薄膜磁记录头，其中所述主极片的内表面和所述第一垂直极片的内表面共面，并且所述内表面分别面对所述返回极片和所述第二垂直极片。5.如权利要求1的薄膜磁记录头，其中所述返回极片的面向所述气垫面的表面的面积比所述主极片的面向所述气垫面的表面的面积大。6.如权利要求2的薄膜磁记录头，其中所述返回极片延伸超出所述第二垂直极片的朝向所述主极片的边缘。7.如权利要求1的薄膜磁记录头，其中所述返回极片是沉积在平行于所述气垫面的平面内的具有垂直于所述气垫面测量的厚度的薄膜结构。8.如权利要求1的薄膜磁记录头，其中所述气垫面具有四条垂直于所述气垫面延伸的切边，没有切边经过所述主极片。9.一种薄膜磁记录头，用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：小罗伯特E方塔纳，何国山，曾庆骅，
申请(专利权)人：日立环球储存科技荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]