一种真空镀膜设备和多级直流电压并联的供电装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及供电电源技术领域，具体地，涉及一种真空镀膜设备和多级直流电压并联的供电装置，包括电源输入端、至少两个并联连接的直流供电模块和电源输出端，每个直流供电模块包括与电源输入端连接的电源转换模块和与电源转换模块连接的限流保护模块，限流保护模块还与电源输出端连接。该多级直流电压并联的供电装置通过直流供电模块的电源输出端能够输出不同的电源电压，使得该多级直流电压并联的供电装置可以根据镀膜类型需要电源提供电源。电源。电源。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备和多级直流电压并联的供电装置


[0001]本技术涉及供电电源
，具体地，涉及一种真空镀膜设备和多级直流电压并联的供电装置。

技术介绍

[0002]目前，真空镀膜设备是用于表面处理PVD膜层的专用设备，对真空磁控溅射镀膜、真空蒸发镀膜、真空多弧离子镀膜等各种镀膜类型具有各自的特点和需要提供不同的电源，而现有的真空镀膜设备的电源只能对某一种镀膜类型提供，对每一种镀膜类型均需要提供一台真空镀膜设备，造成资源郎芬。
[0003]因此，需提供一种真空镀膜设备和多级直流电压并联的供电装置，以解决现有技术的不足。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的不足，本技术提供了一种真空镀膜设备和多级直流电压并联的供电装置。
[0005]本技术的技术方案如下：
[0006]一种多级直流电压并联的供电装置，应用于真空镀膜设备上，该多级直流电压并联的供电装置包括电源输入端、至少两个并联连接的直流供电模块和电源输出端，每个所述直流供电模块包括与所述电源输入端连接的电源转换模块和与所述电源转换模块连接的限流保护模本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多级直流电压并联的供电装置，应用于真空镀膜设备上，其特征在于，该多级直流电压并联的供电装置包括电源输入端、至少两个并联连接的直流供电模块和电源输出端，每个所述直流供电模块包括与所述电源输入端连接的电源转换模块和与所述电源转换模块连接的限流保护模块，所述限流保护模块包括续流元件、限流元件和防反冲元件，所述限流保护模块还与所述电源输出端并联连接。2.根据权利要求1所述的多级直流电压并联的供电装置，其特征在于，所述电源转换模块包括变压器和整流器，所述变压器的初级绕组与所述电源输入端连接，所述变压器的次级绕组与所述整流器的输入端连接，所述整流器的输出端与所述限流保护模块。3.根据权利要求1所述的多级直流电压并联的供电装置，其特征在于，所述续流元件并联在所述电源转换模块的输出端，所述续流元件的负极串联所述限流元件连接，所述限流元件还与所述防反冲元件的正极连接，所述防反冲元件的负极和所述续流元件...

【专利技术属性】
技术研发人员：范承，杨娇娇，
申请(专利权)人：佛山诺亚电器有限公司，
类型：新型
国别省市：