一种新型超薄硅片钝化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种新型超薄硅片钝化装置，包括机械本体，机械本体设有工作台，工作台上方设有步进旋转的转盘，转盘表面还装配着多个均匀分布在四周且同向旋转的夹盘，夹盘表面设有多个均匀分布在四周的夹具，转盘内部装有多个控制夹盘旋转的步进电机，步进电机延伸的旋转轴连接有与夹盘底部卡接固定的三角固定块，工作台上方设有固定在夹具上方且电性连接的激光枪，激光枪上方连接有自由上下调节的伸缩杆，伸缩杆通过工作台一侧的侧板悬空固定。采用了激光枪激光的方式，提高了钝化的效果和减少钝化的时间，采用转盘和夹盘的结合方式，不间断地钝化多个硅片，夹盘可以反复地取放更换，提高了整体钝化的效率，减少人力消耗，智能化程度更高。智能化程度更高。智能化程度更高。

【技术实现步骤摘要】
一种新型超薄硅片钝化装置


[0001]本技术涉及钝化
，具体为一种新型超薄硅片钝化装置。

技术介绍

[0002]由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。硅元素最典型的用途就是生产硅片，硅片的存在，不断更新能源的技术，特别是超薄硅片的生成。由于硅片容易被氧化，通常采用钝化的方式去降低硅片的氧化程度。目前，现在硅片钝化处理都是采用化学反应的方式来钝化，但是，这种钝化方式速度慢，而且只能单个数量轮流钝化处理，降低了整体的工作效率。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术方案的不足，本技术提供一种新型超薄硅片钝化装置，能有效的解决
技术介绍
提出的问题。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种新型超薄硅片钝化装置，包括机械本体，所述机械本体设有工作台，所述工作台上方设有步进旋转的转盘，所述转盘表面还装配着多个均匀分布在四周且同向旋转的夹盘，所述夹盘表面设有多个均匀分布在四周的夹具，所述转盘内部装有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型超薄硅片钝化装置，其特征在于：包括机械本体，所述机械本体设有工作台，所述工作台上方设有步进旋转的转盘，所述转盘表面还装配着多个均匀分布在四周且同向旋转的夹盘，所述夹盘表面设有多个均匀分布在四周的夹具，所述转盘内部装有多个控制所述夹盘旋转的步进电机，所述步进电机延伸的旋转轴连接有与所述夹盘底部卡接固定的三角固定块，所述工作台上方设有固定在所述夹具上方且电性连接的激光枪，所述激光枪上方连接有自由上下调节的伸缩杆，所述伸缩杆通过所述工作台一侧的侧板悬空固定。2.根据权利要求1所述的一种新型超薄硅片钝化装置，其特征在于：所述工作台底部连接有箱体，所述箱体一侧固定装有与所述机械本体电性连...

【专利技术属性】
技术研发人员：范维涛，张鑫，赵雷，黄钧林，程晶，龚小文，苏杨杨，孙晨财，徐长志，
申请(专利权)人：意诚新能苏州科技有限公司，
类型：新型
国别省市：