本发明专利技术提供一种灯组安装装置，用于固定半导体工艺设备中的灯组，灯组具有环形安装板，灯组安装装置包括安装座和设置在安装座上的定位模组，定位模组能够保持环形安装板与安装座相对且间隔预定距离，并与环形安装板的侧边滚动接触，以允许环形安装板绕环形安装板的几何中心转动。在本发明专利技术中，定位模组能够保持环形安装板与水平设置的安装座相对间隔设置，并允许环形安装板带动其上设置的灯具绕其几何中心转动，从而在对灯组进行日常维护保养时，可使灯组整体绕环形安装板的几何中心转动，进而实现在机台的同一工位对依次旋转至对应角度的灯具进行维护保养，提高了机台的维护保养效率。效率。效率。
【技术实现步骤摘要】
一种灯组安装装置
[0001]本专利技术涉及半导体工艺设备领域，具体地，涉及一种灯组安装装置。
技术介绍
[0002]为提高对半导体器件进行加热的均匀性，在半导体工艺设备中，通常采用灯组对下方的半导体器件(如，晶片)进行照射，以实现对半导体器件进行均匀加热。通常半导体工艺设备中灯组为圆环状布局，即，多个灯具环形布置。
[0003]在现有技术中，圆环状布局的灯组通常直接固定在机台上。然而，由于半导体工艺设备的可操作空间有限，操作人员只能由特定的角度进入机台以对机台中的各组件进行维护保养，在对灯组中不同位置的灯具进行维护时操作极其不便。因此，如何提供一种便于灯组维护保养的灯组固定方案，成为本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
[0004]本专利技术旨在提供一种灯组安装装置，该灯组安装装置能够提高了半导体工艺设备中灯组的维护保养效率。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供一种灯组安装装置，一种灯组安装装置，用于固定半导体工艺设备中的灯组，所述灯组具有环形安装板，所述灯组安装装置包括安装座和设置在所述安装座上的定位模组，所述定位模组能够保持所述环形安装板与所述安装座相对且间隔预定距离，并与所述环形安装板的侧边滚动接触，以允许所述环形安装板绕所述环形安装板的几何中心转动。
[0006]可选地，所述定位模组包括设置在所述安装座上的环形定位组件和多个边缘限位机构，所述环形定位组件具有与所述安装座平行的第一安装定位面和第二安装定位面，所述第一安装定位面与所述第二安装定位面相对设置，且二者之间存在环形安装板定位空间，所述第一安装定位面与所述第二安装定位面分别用于与所述环形安装板定位空间中的环形安装板的两侧表面接触，多个所述边缘限位机构环绕所述环形安装板定位空间设置，所述边缘限位机构包括滚动接触面，所述滚动接触面用于在所述环形安装板转动时与所述环形安装板的侧边滚动接触。
[0007]可选地，所述环形定位组件包括上垫环、下垫环和垫环定位机构，所述下垫环设置在所述上垫环与所述安装座之间，所述上垫环与所述下垫环中的一者朝向另一者一侧的表面上形成有定位凹槽，且所述定位凹槽的底面形成为所述第一安装定位面，所述上垫环与所述下垫环中未形成所述定位凹槽的一者朝向另一者一侧的表面形成为所述第二安装定位面，所述垫环定位机构具有与所述安装座相对的垫环定位面，所述垫环定位面用于与所述上垫环背离所述环形安装板一侧的表面接触，且所述垫环定位面与所述安装座之间的距离不小于所述上垫环与所述下垫环的厚度之和。
[0008]可选地，所述垫环定位机构包括垫环定位板和多个定位紧固件，所述定位紧固件用于将对应的所述垫环定位板固定在所述安装座上，所述垫环定位板朝向所述安装座一侧
的表面形成为所述垫环定位面。
[0009]可选地，所述定位紧固件为螺钉，所述垫环定位板上形成有多个定位通孔，所述安装座上形成有多个定位螺纹孔，所述定位紧固件依次穿过对应垫环定位板上对应的定位通孔以及所述安装座上对应的定位螺纹孔，用于将所述垫环定位板安装在所述安装座上。
[0010]可选地，所述垫环定位机构还包括多个锁紧支撑件，所述锁紧支撑件设置在所述垫环定位板与所述安装座之间，且在所述定位紧固件旋入所述定位螺纹孔时，所述锁紧支撑件能够同时与所述垫环定位板和所述安装座接触。
[0011]可选地，多个所述锁紧支撑件一一对应套设在多个所述定位紧固件上。
[0012]可选地，所述安装座上形成有多个定位凸起，所述定位螺纹孔形成在所述定位凸起中。
[0013]可选地，所述边缘限位机构包括中心轴和套设在所述中心轴外的外环筒，所述外环筒能够绕所述中心轴转动，所述中心轴固定设置在所述安装座上，且所述外环筒的表面能够与所述环形安装板定位空间中的环形安装板的侧边接触。
[0014]可选地，所述定位模组包括深沟球轴承和内圈固定机构，所述深沟球轴承的外圈与所述安装座固定连接，所述深沟球轴承的内圈用于环绕在所述环形安装板的外侧，所述内圈固定机构固定设置在所述深沟球轴承的内圈上，用于将所述深沟球轴承的内圈与所述环形安装板固定连接。
[0015]在本专利技术提供的灯组安装装置中，定位模组能够保持环形安装板与水平设置的安装座相对间隔设置，并允许环形安装板带动其上设置的灯具绕其几何中心转动，从而在对灯组进行日常维护保养时，可使灯组整体绕环形安装板的几何中心转动，进而实现在机台的同一工位对依次旋转至对应角度的灯具进行维护保养，提高了机台的维护保养效率。
附图说明
[0016]附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：
[0017]图1是本专利技术实施例提供的灯组安装装置的结构示意图；
[0018]图2是图1中灯组安装装置的A
‑
A向剖视图；
[0019]图3是图1中灯组安装装置的B
‑
B向剖视图；
[0020]图4是本专利技术实施例提供的灯组安装装置的部分结构示意图；
[0021]图5是本专利技术实施例提供的灯组安装装置中中心轴的结构示意图；
[0022]图6是本专利技术实施例提供的灯组安装装置中上垫环的结构示意图；
[0023]图7是本专利技术实施例提供的灯组安装装置中下垫环的结构示意图；
[0024]图8是本专利技术实施例提供的灯组安装装置的部分结构示意图；
[0025]图9是本专利技术实施例提供的灯组安装装置中锁紧支撑件的结构示意图；
[0026]图10是本专利技术另一实施例提供的灯组安装装置的结构示意图；
[0027]图11是图10中灯组安装装置的深沟球轴承的结构示意图；
[0028]图12是图10中灯组安装装置的内压环的结构示意图；
[0029]图13是图12中内压环的剖视图；
[0030]图14是图10中灯组安装装置的外压环及外圈紧固件的结构示意图；
[0031]图15是图14中外压环的剖视图。
[0032]附图标记：
[0033]100：安装座
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110：定位凸起
[0034]200：边缘限位机构
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210：中心轴
[0035]220：外环筒
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230：锁紧支撑件
[0036]231：紧固孔
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232：定位孔
[0037]240：轴承垫圈
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310：上垫环
[0038]320：下垫环
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331：定位凹槽
[0039]332：定位紧固过孔
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333：边缘限位过孔
[0040]340：垫环定位板
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350：定位紧固件
[0041]10本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种灯组安装装置，用于固定半导体工艺设备中的灯组，所述灯组具有环形安装板，其特征在于，所述灯组安装装置包括安装座和设置在所述安装座上的定位模组，所述定位模组能够保持所述环形安装板与所述安装座相对且间隔预定距离，并与所述环形安装板的侧边滚动接触，以允许所述环形安装板绕所述环形安装板的几何中心转动。2.根据权利要求1所述的灯组安装装置，其特征在于，所述定位模组包括设置在所述安装座上的环形定位组件和多个边缘限位机构，所述环形定位组件具有与所述安装座平行的第一安装定位面和第二安装定位面，所述第一安装定位面与所述第二安装定位面相对设置，且二者之间存在环形安装板定位空间，所述第一安装定位面与所述第二安装定位面分别用于与所述环形安装板定位空间中的环形安装板的两侧表面接触，多个所述边缘限位机构环绕所述环形安装板定位空间设置，所述边缘限位机构包括滚动接触面，所述滚动接触面用于在所述环形安装板转动时与所述环形安装板的侧边滚动接触。3.根据权利要求2所述的灯组安装装置，其特征在于，所述环形定位组件包括上垫环、下垫环和垫环定位机构，所述下垫环设置在所述上垫环与所述安装座之间，所述上垫环与所述下垫环中的一者朝向另一者一侧的表面上形成有定位凹槽，且所述定位凹槽的底面形成为所述第一安装定位面，所述上垫环与所述下垫环中未形成所述定位凹槽的一者朝向另一者一侧的表面形成为所述第二安装定位面，所述垫环定位机构具有与所述安装座相对的垫环定位面，所述垫环定位面用于与所述上垫环背离所述环形安装板一侧的表面接触，且所述垫环定位面与所述安装座之间的距离不小于所述上垫环与所述下垫环的厚度之和。4.根据权利要求3所述的灯组安装装置，其特征在于，所述垫环定位机构包...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈波，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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