【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】磁悬浮系统、用于磁悬浮系统的载体和操作磁悬浮系统的方法
[0001]本公开内容的多个实施方式涉及一种被构造成用于保持和运输载体、特别是在真空腔室中保持和运输载体的磁悬浮系统。更具体地，描述了一种被构造成在真空腔室中非接触地保持、定位和/或移动载体的磁悬浮系统。多个实施方式进一步涉及一种用于磁悬浮系统的载体，该载体被构造成在真空腔室中承载对象，诸如基板或掩模。此外，描述了操作磁悬浮系统的方法。
技术介绍
[0002]磁悬浮系统能用于载体相对于基部结构的非接触或基本上非接触运输，例如在真空腔室中的亚大气压强下。由载体承载的对象，诸如基板或掩模，能从真空系统中的第一位置、即装载位置运输至真空系统中的第二位置、如沉积位置。磁悬浮系统允许基本上非接触的载体的运输，并且由于在载体与运输系统之间的摩擦被减小或完全地避免，能减少在真空处理系统中小颗粒的产生。
[0003]磁悬浮系统典型地包括被构造成经由磁力将载体保持在基部结构处的预定距离处的一个或多个主动地控制的磁轴承。对载体位置的准确的主动控制可能是困难的，因为经由磁力基本上非接...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种磁悬浮系统(100)，包括基部结构(110)；载体(120)，所述载体在运输方向(T)上相对于所述基部结构(110)可移动；和至少一个主动磁轴承(112)，所述至少一个主动磁轴承被构造成产生作用在保持方向(V)上的磁保持力，以用于将所述载体(120)保持在所述基部结构(110)处，其中所述载体和所述基部结构中的至少一个包括多个阻尼单元(130)，所述多个阻尼单元中的第一阻尼单元(131)被调谐到第一频率或第一频率范围，并且所述多个阻尼单元中的第二阻尼单元(132)被调谐到第二频率或第二频率范围。2.如权利要求1所述的磁悬浮系统，其中所述第一阻尼单元(131)和所述第二阻尼单元(132)被调谐到所述载体(120)的不同固有频率、特别是在50Hz与250Hz之间的频率范围内的不同固有频率。3.如权利要求1或2所述的磁悬浮系统，其中所述第一阻尼单元(131)和所述第二阻尼单元(132)被取向成阻尼在所述保持方向(V)上的振动。4.如权利要求1至3中任一项所述的磁悬浮系统，其中所述多个阻尼单元(130)包括三个或更多个阻尼单元、特别是八个或更多个阻尼单元，所述多个阻尼单元(130)被调谐到三个或更多个不同频率、特别是八个或更多个不同频率。5.如权利要求4所述的磁悬浮系统，其中所述多个阻尼单元(130)包括八个或更多个阻尼单元，所述八个或更多个阻尼单元被调谐到在从65Hz至200Hz的频率范围内的八个或更多个不同频率，特别地其中所述8个或更多个不同频率分布在从65Hz至200Hz的所述频率范围内。6.如权利要求1至5中任一项所述的磁悬浮系统，其中所述载体(120)包括被构造成与所述至少一个主动磁轴承(112)相互作用的头部部分(121)，其中所述多个阻尼单元(130)中的三个或更多个阻尼单元以线性阵列布置在所述头部部分(121)处。7.如权利要求1至6中任一项所述的磁悬浮系统，其中所述多个阻尼单元(130)包括在所述运输方向(T)上布置在所述载体(120)的中心部分中的至少一个中心阻尼单元(133)和布置在所述载体(120)的前部部分或后部部分中的至少一个边缘阻尼单元(134)，其中所述边缘阻尼单元(134)被调谐到比所述中心阻尼单元(133)高的频率。8.如权利要求1至7中任一项所述的磁悬浮系统，其中所述载体(120)包括多个隔室(125)，每个隔室容纳所述多个阻尼单元(130)中被调谐到不同频率的两个或更多个阻尼单元。9.如权利要求1至8中任一项所述的磁悬浮系统，其中所述多个阻尼单元(130)是被动阻尼单元、特别是吸振器、更特别地是安装在所述载体(120)和/或所述基部结构处的调谐的质量阻尼器(135)。10.如权利要求1至9中任一项所述的磁悬浮系统，其中所述多个阻尼单元(130)分别包括：
‑
阻尼块(145)；
‑
至少一个弹簧元件(141)，所述至少一个弹簧元件将所述阻尼块(145)可移动地连接至所述载体(120)或所述基部结构；和
‑
阻尼机构...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。