堆叠式吸气剂片泵芯及其吸气剂泵制造技术

本发明专利技术公开了一种堆叠式吸气剂片泵芯及其吸气剂泵，包括若干组吸气剂片、若干组吸气剂片隔垫、加热棒和封盖，所述吸气剂片和吸气剂片隔垫均套接在加热棒上，且吸气剂片隔垫位于相邻吸气剂片之间，所述加热棒底部套接有陶瓷绝缘柱，所述加热棒顶端固定有固定垫片；所述加热棒底部两侧分别焊接有第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极底部从陶瓷垫片上对应的圆孔伸出后分别与对应的不锈钢垫片连接；所述封盖底部连接有两组接线柱，所述不锈钢垫片套在对应的接线柱上并通过螺母锁紧固定。本发明专利技术的吸气剂泵是由多孔烧结型吸气剂片组成，具备极大的抽速，可设计成多组并联的吸气剂泵，增大吸气剂的抽速，维持和提高系统的真空度。的真空度。的真空度。

【技术实现步骤摘要】
堆叠式吸气剂片泵芯及其吸气剂泵


[0001]本专利技术涉及吸气剂泵
，具体为一种堆叠式吸气剂片泵芯及其吸气剂泵。

技术介绍

[0002]吸气剂离子泵是将被抽气体分子电离，并在电磁场或电场的作用下将其输送到泵的吸附表面而被吸气剂捕集的一种真空泵。吸气剂真空泵分为蒸发离子泵和溅射离子泵两种。蒸发离子泵和溅射离子泵在可控热核反应装置、加速器、空间模拟装置和电子器件等方面都得到广泛的应用。现有吸气剂离子泵内部的吸气剂片的抽速不佳，低温下激活难度大，为此，我们推出一种堆叠式吸气剂片泵芯及其吸气剂泵。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种堆叠式吸气剂片泵芯及其吸气剂泵，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种堆叠式吸气剂片泵芯，包括若干组吸气剂片、若干组吸气剂片隔垫、加热棒和封盖，所述吸气剂片和吸气剂片隔垫均套接在加热棒上，且吸气剂片隔垫位于相邻吸气剂片之间，所述加热棒底部套接有陶瓷绝缘柱，所述加热棒顶端固定有固定垫片；
[0005]所述加热棒底部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种堆叠式吸气剂片泵芯，包括若干组吸气剂片(1)、若干组吸气剂片隔垫(13)、加热棒(3)和封盖(10)，其特征在于：所述吸气剂片(1)和吸气剂片隔垫(13)均套接在加热棒(3)上，且吸气剂片隔垫(13)位于相邻吸气剂片(1)之间，所述加热棒(3)底部套接有陶瓷绝缘柱(4)，所述加热棒(3)顶端固定有固定垫片(2)；所述加热棒(3)底部两侧分别焊接有第一电极(6)和第二电极(11)，所述第一电极(6)和第二电极(11)底部从陶瓷垫片(5)上对应的圆孔伸出后分别与对应的不锈钢垫片(9)连接；所述封盖(10)底部连接有两组接线柱(8)，所述不锈钢垫片(9)套在对应的接线柱(8)上并通过螺母(7)锁紧固定。2.根据权利要求1所述的一种堆叠式吸气剂片泵芯，其特征在于：所述接线柱(8)为不锈钢材质，接线柱(8)通过陶瓷绝缘柱(4)和陶瓷垫片(5)，穿过封盖通孔，保持与封盖(10)绝缘，其下端螺纹柱和不锈钢垫片(9)通过螺母(7)锁紧固定，分别形成两个独立的电极接线柱。3.根据权利要求1所述的一种堆叠式吸气剂片泵芯...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴文一，
申请(专利权)人：安徽益东惠电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：