一种五氧化三钛晶体的制备方法技术

技术编号:30525429 阅读:22 留言:0更新日期:2021-10-27 23:10
本发明专利技术公开了一种五氧化三钛晶体的制备方法,属于五氧化三钛的制备领域,本发明专利技术采用分阶段升温的方法,第一阶段:常温升至1050℃;第二阶段:1050℃升至1150℃,当温度达到1150℃时采用0.3L/min

【技术实现步骤摘要】
一种五氧化三钛晶体的制备方法


[0001]本专利技术涉及五氧化三钛的制备,具体涉及一种五氧化三钛晶体的制备方法。

技术介绍

[0002]五氧化三钛,是一种蓝黑色粉末,具有金属光泽,其含氧量在62.3%~64.3%(原子)。五氧化三钛晶体,属于斜方晶系结构,是通过高温升华结晶而产生的,晶格常数α=0.3747nm。密度4.29g/cm3,熔点2180℃,为真空镀膜用材料,它的优点是放气量小、纯度高、无崩点、不跳药、折射率稳定,生产技术在国内同行业中达到领先水平。
[0003]现有技术中,颗粒状的五氧化三钛在制备过程均容易引入杂质,形成大量气孔,存在含氧量相对差异较大的物质,从而影响制得的镀膜层的纯度和质量。而起现有的制备五氧化三钛镀膜材料通常采用高温加热的方法,高温加热法对绝缘技术要求严格,工艺复杂,同时电能消耗大,生产成本高。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种降低加热温度,减少电能消耗的五氧化三钛晶体的制备方法。
[0005]本专利技术的技术方案是:一种五氧化三钛晶体的制备方法,包括以下步骤:
[0006]1)、将原料钛粉和氧化硅包覆处理的金红石型二氧化钛粉按质量比为=1:9

12,混合均匀、造粒,在100

300℃下烘干,成为烧结料;
[0007]2)、将烧结料放入坩埚中,坩埚转移至高温下降炉内,抽真空至炉内真空度为10
‑3‑
10
‑4pa以下;
[0008]3)、对整个系统分阶段升温烧结,各阶段的参数设定如下:
[0009]第一阶段:常温升至1050℃,升温速率为5

7℃/min,真空度保持在10
‑3‑
10
‑4pa以下;
[0010]第二阶段:1050℃升至1150℃,升温速率为2

4℃/min,当温度达到1150℃时采用0.3L/min

0.8L/min的流量充入惰性保护气体;
[0011]第三阶段:继续保持0.8L/min的流量充入惰性保护气体,1150℃保温1

2小时,原料熔化充分,晶体生长的固液界面温度梯度在30

48℃/cm的范围内,坩埚下降速率在1.5

3.5mm/h之间,
[0012]4)、待晶体生长结束后,转移至生长炉内保温10

24小时,然后经过匀速降至室温。
[0013]进一步的技术方案,步骤3)中对整个系统的加热方式是电磁感应加热。
[0014]进一步的技术方案,步骤4)中以50

55℃/h的速度降至室温,对所生长的晶体进行退火处理。
[0015]进一步的技术方案,步骤3)中第二阶段充入的惰性保护气体为氩气、氦气、氦气中的任一种。
[0016]本专利技术的有益效果:
[0017]本专利技术原料采用氧化硅包覆处理的金红石型二氧化钛粉,由于纳米TiO2粒子很小,具有很高的比表面积和表面能,粉体团聚现象较为严重。采用氧化硅包覆处理的金红石型二氧化钛粉,减少了粉体的团聚现象,制备过程中通过加大惰性保护气体的通入流量,从而加大坩埚内原料的反应速率,进而有利于五氧化三钛的合成,实现降低了加热温度、减少能源消耗的技术效果。
具体实施方式
[0018]下面通过非限制性实施例,进一步阐述本专利技术,理解本专利技术。
[0019]实施例1:
[0020]一种五氧化三钛晶体的制备方法,包括以下步骤:
[0021]1)、将原料钛粉和氧化硅包覆处理的金红石型二氧化钛粉质量比为钛∶二氧化钛=1:9,混合均匀、造粒,在250℃下烘干,成为烧结料;
[0022]2)、将烧结料放入坩埚中,坩埚转移至高温下降炉内,抽真空至炉内真空度为10
‑3‑
10
‑4pa以下;
[0023]3)、通过电磁感应加热对整个系统分阶段升温烧结,各阶段的参数设定如下:
[0024]第一阶段:常温升至1050℃,升温速率为5

7℃/min,真空度保持在10
‑3‑
10
‑4pa以下;
[0025]第二阶段:1050℃升至1150℃,升温速率为2

4℃/min,当温度达到1150℃时采用0.3L/min的流量充入氩气;
[0026]第三阶段:继续以0.5L/min的流量充入氩气,1150℃保温1

2小时,原料熔化充分,晶体生长的固液界面温度梯度在30

48℃/cm的范围内,坩埚下降速率在1.5

3.5mm/h之间,
[0027]4)、待晶体生长结束后,转移至生长炉内保温10

24小时,然后以50℃的速度降至室温。
[0028]实施例2:
[0029]一种五氧化三钛晶体的制备方法,包括以下步骤:
[0030]1)、将原料钛粉和氧化硅包覆处理的金红石型二氧化钛粉按质量比为=1:10,混合均匀、造粒,在300℃下烘干,成为烧结料;
[0031]2)、将烧结料放入坩埚中,坩埚转移至高温下降炉内,抽真空至炉内真空度为10
‑3‑
10
‑4pa以下;
[0032]3)、通过电磁感应加热的方式对整个系统分阶段升温烧结,各阶段的参数设定如下:
[0033]第一阶段:常温升至1050℃,升温速率为5

7℃/min,真空度保持在10
‑3‑
10
‑4pa以下;
[0034]第二阶段:1050℃升至1150℃,升温速率为2

4℃/min,当温度达到1150℃时采用0.5L/min的流量充入氦气;
[0035]第三阶段:以0.6L/min的流量充入氦气,1150℃保温1

2小时,原料熔化充分,晶体生长的固液界面温度梯度在30

48℃/cm的范围内,坩埚下降速率在1.5

3.5mm/h之间,
[0036]4)、待晶体生长结束后,转移至生长炉内保温10

24小时,然后以50℃的速度降至室温。
[0037]实施例3:
[0038]一种五氧化三钛晶体的制备方法,包括以下步骤:
[0039]1)、将原料钛粉和氧化硅包覆处理的金红石型二氧化钛粉按质量比为=1:9

12,混合均匀、造粒,在100

300℃下烘干,成为烧结料;
[0040]2)、将烧结料放入坩埚中,坩埚转移至高温下降炉内,抽真空至炉内真空度为10
‑3‑
10
‑4pa以下;
[0041]3)、电磁感应加热对整个系统分阶段升温烧结,各阶段的参数设定如下:
[0042]第一阶段:本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种五氧化三钛晶体的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:1)、将原料钛粉和氧化硅包覆处理的金红石型二氧化钛粉按质量比为=1:9

12,混合均匀、造粒,在100

300℃下烘干,成为烧结料;2)、将烧结料放入坩埚中,坩埚转移至高温下降炉内,抽真空至炉内真空度为10
‑3‑
10
‑4pa以下;3)、对整个系统分阶段升温烧结,各阶段的参数设定如下:第一阶段:常温升至1050℃,升温速率为5

7℃/min,真空度保持在10
‑3‑
10
‑4pa以下;第二阶段:1050℃升至1150℃,升温速率为2

4℃/min,当温度达到1150℃时采用0.3L/min

0.8L/min的流量充入惰性保护气体;第三阶段:继续保持0.5...

【专利技术属性】
技术研发人员:邵小兰朱亮
申请(专利权)人:泰州市爱特斯光学材料有限公司
类型:发明
国别省市:

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