一种气体置换控制系统技术方案

本实用新型专利技术涉及气体控制技术领域，公开了一种气体置换控制系统，包括钢瓶及反应炉，所述钢瓶通过第一连接管路与所述反应炉连接，所述第一连接管路上设置有第一手动阀；还包括电动三通阀。当所述电动三通阀处于第一工作状态时，所述第一气口与所述第二气口连通，所述第一气口与所述第三气口断开，以使第一连接管路内的气体依次沿所述第二连接管路及所述排气管路排出；当所述电动三通阀处于第二工作状态时，所述第一气口与所述第二气口断开，所述第一气口与所述第三气口连通，以使惰性气体依次沿所述进气管路及所述第二连接管路进入所述第一连接管路内。第一连接管路内。第一连接管路内。

【技术实现步骤摘要】
一种气体置换控制系统


[0001]本技术涉及气体控制
，特别是涉及一种气体置换控制系统。

技术介绍

[0002]目前，无机膜薄材料可以根据CVD法(化学气相沉积法)，利用硒化锌或硫化锌等气相化合物进行化学反应制得。因此，采用钢瓶等容器储存硒化锌或硫化锌等气相化合物，钢瓶通过连接管路通入反应炉进行化学反应。由于制作各种无机薄膜所需要的原料是不相同，因此在向反应炉通入新的反应气体前，需要先将连接管路内原有的反应气体排出，目前常用的操作是向连接管路通入惰性气体(如氩气)来完成气体置换的目的。
[0003]传统的气体置换方式为：采用一根进气管路和一根排气管路分别连通连接管路，进气管路和排气管路上均设置有手动阀门，通过分别控制进气管路和排气管路的手动阀门，充气时，惰性气体通过进气管路向连接管路内通入惰性气体，一段时间后，将连接管路内的氩气及原有的反应气体通过排气管路排出，重复多次操作即可将完全排除连接管路内原有的反应气体。因此，上述气体置换操作需要人工现场作业，故存在以下缺点：
[0004](1)各种开关或手动阀门的数量较多，操作过程容易混淆，容易引起事故的发生。
[0005](2)人工难以精准控制手动阀门的拧开量，难以控制进气管或排内的气压，容易导致进气或排气不彻底。
[0006](3)硒化锌或硫化锌等属于有毒气体，当发生毒气体泄漏时，对操作员会存在较大的安全隐患；
[0007](4)长时间手动拧动阀门会对阀门造成较大的磨损，需要定期维护或更换，导致维修成本较大。
技术内容
[0008]本技术的目的是提供一种气体置换控制系统，操作简便，可避免人工现场操作，提高使用安全性，以及降低用人成本。
[0009]为了实现上述目的，本技术提供了一种气体置换控制系统，包括钢瓶及反应炉，所述钢瓶通过第一连接管路与所述反应炉连接，所述第一连接管路上设置有第一手动阀，还包括电动三通阀；
[0010]所述电动三通阀具有第一气口、第二气口及第三气口，所述第一气口通过第二连接管路与所述第一连接管路连接，且所述第二连接管上设有第二手动阀；所述第二气口连接有排气管路，且所述排气管路上设有真空发生器；所述第三气口连接有用于供惰性气体流入的进气管路；
[0011]当所述电动三通阀处于第一工作状态时，所述第一气口与所述第二气口连通，所述第一气口与所述第三气口断开，以使第一连接管路内的气体依次沿所述第二连接管路及所述排气管路排出；
[0012]当所述电动三通阀处于第二工作状态时，所述第一气口与所述第二气口断开，所
述第一气口与所述第三气口连通，以使惰性气体依次沿所述进气管路及所述第二连接管路进入所述第一连接管路内。
[0013]进一步地，还包括多条第三连接管路，多条第三连接管路相互并联后与所述第一连接管路连接；
[0014]所述钢瓶的数量为多个，多个所述钢瓶分别与所述多条第三连接管路一一连接。
[0015]进一步地，所述第三连接管路上设有第三压力调节阀，该第三压力调节阀连接有第三电子报警器。
[0016]进一步地，所述钢瓶的底部设有用于检测所述钢瓶重量的电子秤。
[0017]进一步地，所述第一连接管路上设有第一压力调节阀，该第一压力调节阀连接有第一电子报警器。
[0018]进一步地，所述排气管路上设有第二压力调节阀。
[0019]进一步地，所述第一连接管路上设有第一单向阀。
[0020]进一步地，所述排气管路上设有第二单向阀。
[0021]进一步地，所述进气管路上设有第三单向阀。
[0022]本技术实施例一种气体置换控制系统与现有技术相比，其有益效果在于：
[0023]本技术通过控制电动三通阀的工作状态，以通过进气管路向第一连接管路通入惰性气体、及让第一连接管路内的气体沿排气管路排出，进而达到将第一连接管路内的硒化锌或硫化锌等气体排出的目的，操作智能方便，避免人工现场操作，安全性高及控制精准，有效保证惰性气体或第一连接管路的气体进行顺畅流动，同时调节效率高，降低使用或维护成本。
附图说明
[0024]图1是本技术的气体置换控制系统的结构原理图；
[0025]图中：
[0026]1－钢瓶1；2－电动三通阀；3－第一手动阀；4－第二手动阀；5－真空发生器；6－第三压力调节阀；7－电子秤；8－第一压力调节阀；9－第二压力调节阀；10－第一单向阀；11－第二单向阀；12－第三单向阀；13－反应炉；
[0027]100－第一连接管路；200－第二连接管路；300－排气管路；400－进气管路；500－第三连接管路。
具体实施方式
[0028]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0029]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0030]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性
或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0031]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0032]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0033]如图1所示，其为本技术优选实施例的一种气体置换控制系统的结构示意图。具体地，本技术的气体置换控制系统包括钢瓶1、反应炉13及电动三通阀2。其中，钢瓶1用于储存硒化锌或硫化锌等气相化合本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体置换控制系统，包括钢瓶及反应炉，所述钢瓶通过第一连接管路与所述反应炉连接，所述第一连接管路上设置有第一手动阀，其特征在于，还包括电动三通阀；所述电动三通阀具有第一气口、第二气口及第三气口，所述第一气口通过第二连接管路与所述第一连接管路连接，且所述第二连接管上设有第二手动阀；所述第二气口连接有排气管路，且所述排气管路上设有真空发生器；所述第三气口连接有用于供惰性气体流入的进气管路；当所述电动三通阀处于第一工作状态时，所述第一气口与所述第二气口连通，所述第一气口与所述第三气口断开，以使第一连接管路内的气体依次沿所述第二连接管路及所述排气管路排出；当所述电动三通阀处于第二工作状态时，所述第一气口与所述第二气口断开，所述第一气口与所述第三气口连通，以使惰性气体依次沿所述进气管路及所述第二连接管路进入所述第一连接管路内。2.如权利要求1所述的气体置换控制系统，其特征在于，还包括多条第三连接管路，多条第三连接管...

【专利技术属性】
技术研发人员：李发忠，于金凤，王和风，
申请(专利权)人：安徽中飞科技有限公司，
类型：新型
国别省市：