具有集成定向光束漫射器的底部发射垂直腔面发射激光器阵列制造技术

一种底部发射垂直腔面发射激光器(VCSEL)芯片可以包括包含多个VCSEL的VCSEL阵列和包含多个透镜段的集成光学元件。集成光学元件可以将由多个VCSEL提供的光束引导到特定的角度范围，以使用由多个VCSEL提供的光束创建扩散图案。第一透镜段的表面可以倾斜，以使来自第一VCSEL的光束以第一角度被引导，第二(相邻)透镜段的表面可以倾斜，以使来自第二VCSEL的光束以第二角度被引导。第二角度相对于VCSEL阵列表面的方向可以与第一角度相对于VCSEL阵列表面的方向相反。列表面的方向相反。列表面的方向相反。

【技术实现步骤摘要】
具有集成定向光束漫射器的底部发射垂直腔面发射激光器阵列


[0001]本公开总体上涉及一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列和一种具有 集成定向光束漫射器的底部发射VCSEL阵列。

技术介绍

[0002]VCSEL阵列可用于照明场景，例如用于三维(3D)传感应用。通常， VCSEL阵列与VCSEL阵列外部的漫射器配对。漫射器可以用于将由VCSEL 的发射器提供的光扩展到视场(FOV)，有时也称为照明场(FOI)。在外部漫 射器和VCSEL阵列的传统布置中，漫射器将来自给定VCSEL的光扩散到整 个FOV。换句话说，漫射器响应不会因VCSEL阵列中的发射器
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发射器而异。

技术实现思路

[0003]在一些实施方式中，底部发射VCSEL芯片包括包含多个VCSEL的 VCSEL阵列；和包括多个透镜段的集成光学元件，其中集成光学元件将由多 个VCSEL提供的光束引导到特定的角度范围，以使用由多个VCSEL提供的 光束创建扩散图案，其中所述多个透镜段的第一透镜段的表面倾斜，以使得 来自所述多个VCSEL的第一VCSEL的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种底部发射垂直腔面发射激光器(VCSEL)芯片，包括：包括多个VCSEL的VCSEL阵列；和包括多个透镜段的集成光学元件，其中所述集成光学元件将由所述多个VCSEL提供的光束引导到特定的角度范围，以使用由所述多个VCSEL提供的光束创建扩散图案，其中所述多个透镜段的第一透镜段的表面是倾斜的，以使得以第一角度引导来自所述多个VCSEL的第一VCSEL的光束，其中所述多个透镜段的第二透镜段的表面是倾斜的，以使以第二角度引导来自所述多个VCSEL的第二VCSEL的光束，其中所述第二透镜段邻近所述第一透镜段，并且其中所述第二角度相对于所述VCSEL阵列的表面的方向与所述第一角度相对于所述VCSEL阵列的表面的方向相反，并且其中来自多个VCSEL中的一VCSEL的光束穿过所述多个透镜段中的仅一个透镜段。2.根据权利要求1所述的底部发射VCSEL芯片，其特征在于，所述多个透镜段中的一个透镜段用于以相应的特定角度引导来自所述多个VCSEL中的一VCSEL的光束，所述特定角度与创建所述扩散图案相关联。3.根据权利要求1所述的底部发射VCSEL芯片，其中来自所述多个VCSEL中的VCSEL的光存在于所述扩散图案的一部分中，所述部分小于扩散图案的整体。4.根据权利要求1所述的底部发射VCSEL芯片，其中所述扩散图案的聚集强度
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角度分布在与所述扩散图案相关联的视场内具有蝙蝠翼轮廓。5.根据权利要求1所述的底部发射VCSEL芯片，其中所述多个透镜段中的一透镜段用于减小来自所述多个VCSEL中的一VCSEL的光束的光束发散。6.根据权利要求1所述的底部发射VCSEL芯片，其中所述多个透镜段的每个透镜段的曲率半径在从大约180微米(μm)到大约450微米(μm)的范围内7.根据权利要求1所述的底部发射VCSEL芯片，其中所述第一透镜段和所述第二透镜段之间的过渡是平滑的。8.根据权利要求1所述的底部发射VCSEL芯片，其中，所述多个透镜段通过发射区域的周边处的支座从所述集成光学元件的顶表面凹陷。9.根据权利要求1所述的底部发射VCSEL芯片，其中所述多个VCSEL的第一组VCSEL连接到所述底部发射VCSEL芯片的第一接触部，并且所述多个VCSEL的第二组VCSEL连接到所述底部发射VCSEL芯片的第二接触部。10.根据权利要求9所述的底部发射VCSEL芯片，其中所述集成光学元件将来自所述第一组VCSEL的光束朝向所述扩散图案的中心引导，并将来自所述第二组VCSEL的光束朝向所述扩散图案的一个或多个边缘引导。11.根据权利要求9所述的底部发射VCSEL芯片，...

【专利技术属性】
技术研发人员：ER黑布洛姆，K王，
申请(专利权)人：朗美通经营有限责任公司，
类型：发明
国别省市：