振动镜元件以及光扫描装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种振动镜元件以及光扫描装置，其即便在已使镜部的尺寸变大的情况下，也可以抑制使振动镜元件整体的尺寸大型化，并使镜部稳定地揺动。所述振动镜元件包括：镜部；金属制的基板，包含一对梁部、支撑一对梁部各者的支撑部、及可揺动地支撑镜部的扭转部；驱动源，产生使镜部揺动的板波；以及振动抑制部，抑制传导至一对梁部的振动；且振动抑制部以如下方式构成：在一对梁部延长的第一方向上，在镜部的端部之中，与支撑部)侧的第一镜端部(相反侧的第二镜端部和扭转部之间的位置上，与一对梁部抵接，由此抑制传导至一对梁部的振动。由此抑制传导至一对梁部的振动。由此抑制传导至一对梁部的振动。

【技术实现步骤摘要】
振动镜元件以及光扫描装置


[0001]本专利技术涉及一种振动镜元件以及光扫描装置。

技术介绍

[0002]以往，振动镜元件以及光扫描装置已为人所知(例如，参照专利文献1)。
[0003]在所述专利文献1中公开有一种包括基板、压电膜、扭力梁部、以及镜部的光扫描装置。
[0004]所述专利文献1中所公开的光扫描装置以如下方式构成：利用通过压电膜而在基板激发的板波，使由扭力梁部支撑的镜部揺动。另外，基板具有设置有开口的框状形状，镜部经由扭力梁部而设置在开口的内部。另外，所述专利文献1中所公开的基板的一端由支撑构件呈悬臂状地支撑。
[0005][现有技术文献][0006][专利文献][0007][专利文献1]日本专利特开2006
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293116号公报

技术实现思路

[0008][专利技术所要解决的问题][0009]此处，虽然在所述专利文献1中未载明，但振动镜元件伴随包括振动镜元件的扫描仪单元等的小型化，被要求使镜部的尺寸变大后，使元件整体的尺寸变小。另外，为了适应使用环境及使用环境的变动，要求使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种振动镜元件，其特征在于，包括：镜部，反射光；金属制的基板，包含具有第一端部及第二端部的一对梁部、支撑所述一对梁部各自的所述第一端部的支撑部、及能揺动地支撑所述镜部的扭转部；驱动源，设置在所述支撑部，产生使所述镜部揺动的板波；以及振动抑制部，抵接在所述一对梁部，由此抑制传导至所述一对梁部的振动；且所述扭转部在沿着所述镜部的表面的方向上，在与所述一对梁部延长的第一方向正交的第二方向上延长，并且与所述一对梁部分别连接，所述振动抑制部以如下方式构成：在所述第一方向上，在所述镜部的端部之中，与所述支撑部侧的第一镜端部相反侧的第二镜端部和所述扭转部之间的位置上，与所述一对梁部抵接，由此抑制传导至所述一对梁部的振动。2.根据权利要求1所述的振动镜元件，其特征在于，还包括：保持构件，保持所述支撑部，并且保持所述一对梁部各者；且所述保持构件以如下方式构成：在所述振动抑制部与所述一对梁部抵接的位置、或比所述振动抑制部与所述一对梁部抵接的位置更靠近所述第二端部侧的位置上，保持所述一对梁部各者。3.根据权利要求2所述的振动镜元件，其特征在于，所述振动抑制部包含第一振动抑制部与第二振动抑制部，所述第一振动抑制部抵接在所述一对梁部中的一者，由此抑制振动，所述第二振动抑制部与第一振动抑制部分开设置，抵接在所述一对梁部中的另一者，由此抑制振动，所述第一振动抑制部及所述第二振动抑制部分别与所述基板及所述保持构件分体设置，所述保持构件具有载置所述第一振动抑制部及所述第二振动抑制部的载置面，所述载置面以在所述第一方向上延长的方式形成。4.根据权利要求1至3中任一项所述的振动镜元件，其特征在于，所述镜部以如下方式构成：所述第一方向上的从所述扭转部至所述第二镜端部为止的第一距离成为所述第一方向上的从所述扭转部至所述第二端部为止的第二距离以上。5.根据权利要求4所述的振动镜元件，其特征在于，所述振动抑制部以如下方式构成：所述第一方向上的从所述扭转部至所述振动抑制部的所述第二端部侧的端部为止的第三距...

【专利技术属性】
技术研发人员：种桥健治，田中史记，藤田健一，
申请(专利权)人：船井电机株式会社，
类型：发明
国别省市：