图案化磁介质及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种形成图案化磁介质的方法，包括在盘衬底上沉积材料。盘衬底用于数据存储装置。盘衬底上的材料可被纳米压印。材料可被处理从而将其转化成基本固化的材料。磁材料可沉积在基本固化的材料上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总地涉及磁记录，更特别地，涉及一种。
技术介绍
硬盘驱动器几乎用在所有计算机系统操作中。事实上，大部分计算系统在没有某类型的硬盘驱动器(HDD )来存储最基本的计算信息例如引导操作 (boot operation)、操作系统、应用程序等时是不能操作的。通常，硬盘驱 动器是可移动或不可移动的器件，但是没有它计算系统一般将不能操作。基本的硬盘驱动器模块包括以设定的旋转速度旋转的存储盘或硬盘。致 动器臂用于伸出在盘上方。该臂承载头组件，其具有磁读/写换能器 (transducer)或头以用于从盘上的位置读信息或写信息到盘上的位置。换能 器附着到滑块，例如气垫滑块，其通过由旋转盘产生的空气的垫层而与盘的 数据表面相邻地支撑。换能器还能附着到接触记录型滑块。在任一种情况中， 滑块借助于悬臂(suspension)连接到致动器臂。完整的头组件，例如悬臂 和头，称作头万向节组件(HGA)。在操作中，硬盘通过具有中心驱动毂(hub)的主轴马达组件以设定速 度旋转。此外，道(track)在盘上以已知间距均匀地间隔开。当接收到读特 定部分或道的请求时，硬盘通过臂将头对准在特定道位置上方且头从盘读取 信息。以相同的方式，当接收到写特定部分或道的请求时，硬盘通过臂将头 对准在特定道位置上方且头向盘写入信息。近年来，盘和头在其尺寸方面经历了大的减小。对更小且更便携的硬驱 动器例如个人数字助理(PDA)、 MP3播放器等中使用的那些的消费需求驱 动了很多改进。例如，最初的硬盘驱动器具有24英寸的盘直径。现代的硬 盘驱动器小很多且包括小于2.5英寸的盘直径(微驱动器比这显著更小)。磁 记录方面的进展也是尺寸减小的主要原因。尺寸的持续减小要求HGA中所使用的技术的提高，特别是功耗、振动性能和盘区利用(disk real estate utilization )方面。近来技术方面的一个进展 是Femto滑块的开发，其大概是其所取代的旧Pico滑块的尺寸和质量的三 分之一；在过去的23年中，滑块尺寸已经缩小到五分之一，质量缩小到约 百分之一。用于实现硬盘驱动器的增大面密度的磁记录的更新的发展是利用图案 化磁介质。然而，与图案化磁介质相关的一个缺点是其制造昂贵。
技术实现思路
根据本专利技术的一实施例是一种方法，包括在盘衬底上沉积材料。盘衬底 用于数据存储装置。盘衬底上的材料可以被纳米压印。可以处理该材料从而 将其转换成基本固化的材料。磁材料可沉积在该基本固化的材料上。附图说明图1是根据本专利技术一实施例的罩(cover )和顶磁体被去除的示例性HDD 的平面图；图2A-2G是根据本专利技术各实施例的用于产生图案化磁介质的示例性侧 剖面图；图2H-2L是根据本专利技术各实施例的用于产生图案化磁介质的示例性侧 剖面图；图3是根据本专利技术各实施例的示例性图案化磁介质的部分平面图； 图4是根据本专利技术各实施例的另 一示例性图案化磁介质的部分平面图； 图5是根据本专利技术各实施例的又一示例性图案化磁介质的部分平面图； 图6是根据本专利技术各实施例的再一示例性图案化磁介质的部分平面图； 图7是根据本专利技术各实施例的另 一示例性图案化磁介质的部分平面图； 图8是根据本专利技术各实施例的又一示例性图案化磁介质的部分平面图； 图9是根据本专利技术各实施例的示例性方法的流程图。具体实施方式现在将详细参照根据本专利技术的各实施例，其示例示于附图中。虽然将结 合各实施例描述本专利技术，但应理解，这些实施例无意限制本专利技术。相反，本 专利技术意在覆盖可包括在根据权利要求解释的本专利技术范围之内的替代、修改、以及等价物。此外，在下面对根据本专利技术的各实施例的详细描述中，为了提供对本发 明的彻底理解而阐述了许多特定细节。然而，本领域4支术人员将认识到，可 以在没有这些特定细节的情况下实施本专利技术。在其他情况下，为了不会不必 要地使本专利技术的观念模糊，将不会详细描述公知的方法、工序、部件和电路。现在参考图1，根据本专利技术一实施例示出去除了罩和顶磁体的示例性硬盘驱动器(HDD) 110的平面图。图1示出HDD 110的部件和子组件的关系 并表示了记录在盘138的盘表面135 (未示出)上的数据道136。罩被去除 且未示出从而可以看到HDD 110的内部。部件组装到基座(base casting )113 中，基座113为部件和子组件提供连接点和配合点。HDD 110可称作数据存储装置。多个悬臂组件137 (示出一个)以梳(comb)形式连接到致动器臂134 (未示出)。多个换能器头或滑块155(示出一个)分别连接到悬臂组件137。 滑块155位于盘表面135附近以便用磁头156 (示出一个)读写数据。注意， 滑块155可包括头万向节组件(HGA)，未示出，其与磁头156关联。旋转 的音圈马达150将致动器臂134绕致动器轴132旋转，以将悬臂组件137移 动到盘138上的期望径向位置。致动器轴132、毂140、致动器臂134和音 圈马达150可共同称作旋转致动器组件。数据以称作数据道136的同心环图案记录在盘138的盘表面135上。盘 表面135借助于马达-毂组件130高速旋转。数据道136借助于磁头156记 录在旋转盘表面135上，磁头156通常居于滑块155的末端。图1是仅示出 一个头、滑块和盘表面组合的平面图。本领域技术人员将理解，对于一个头 -盘组合的描述可应用于多个头-盘组合，例如盘叠(disk stack)(未示出)。 然而，为了简明和清楚，图1仅示出一个头和一个盘表面。图2A-2G是根据本专利技术各实施例的用于图案化磁介质的形貌纳米压印 的示例性侧剖面图。具体地，图2A是可根据本专利技术各实施例使用的示例性 盘衬底202的侧剖面图。应指出，盘衬底202可以以多种方式实施。例如在 一实施例中，盘衬底202可以是通常用于制造硬盘驱动器(例如110)的盘 的盘衬底，但不限于此。图2B是侧剖面图，示出根据本专利技术各实施例形貌材料(topology material) 204可沉积在盘衬底202上。注意，沉积在盘衬底202上的形貌材料204可用于在盘衬底202上纳米压印可包括高和低区域的形貌，其可用作 图案化磁介质的基础。形貌材料204可以以多种方式实施。例如在一实施例中，形貌材料204 可以以基本液态(或非固态)实施，由此实现其纳米压印。在一实施例中， 形貌材料204可包括能经受约200-30(TC的^f兹介质沉积温度的任何材料，可 具有平滑的顶表面，且由于可能与硬盘驱动器(例如110)的记录头(例如 156)相互作用而可以是耐用的，但不限于此。形貌材料204可包括但不限 于氢倍半硅氧烷(hydrogen silsesquioxane， HSQ)、聚酰胺(polyamide )、聚 酰胺基聚合物、含硅抗蚀剂、室温下为固态的热材料(heated material)等。 注意，形貌材料204可以以多种方式沉积在盘衬底上。例如在一实施例中， 形貌材料204可以溅射在盘衬底202上，但不限于此。图2C是根据本专利技术各实施例的可用于纳米压印沉积在盘衬底202上的 形貌材料204的纳米压印掩模206的侧剖面图。纳米压印掩模206可用于图 案化形貌材料204,其能保留在盘衬底202上或上方。在一实施例中，纳米 压印掩模206可包括用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种形成图案化磁介质的方法，包括：　　　　在盘衬底上沉积材料，所述盘衬底用于数据存储装置；　　　　纳米压印该盘衬底上的所述材料；　　　　将所述材料处理成基本固化的材料；以及　　　　在所述基本固化的材料上沉积磁材料。

【技术特征摘要】
US 2007-2-28 11/712,6441、一种形成图案化磁介质的方法，包括在盘衬底上沉积材料，所述盘衬底用于数据存储装置；纳米压印该盘衬底上的所述材料；将所述材料处理成基本固化的材料；以及在所述基本固化的材料上沉积磁材料。2、 根据权利要求l的方法，其中所述材料包括氢倍半硅氧烷。3、 根据权利要求l的方法，其中所述材料包括聚酰胺。4、 根据权利要求l的方法，其中所述材料包括含硅抗蚀剂。5、 根据权利要求l的方法，其中所述处理包括利用电子束。6、 根据权利要求l的方法，其中所述处理包括利用辐照。7、 根据权利要求l的方法，其中所述处理在所述纳米压印期间开始。8、 根据权利要求7的方法，其中所述处理在所述纳米压印期间进行。9、 根据权利要求7的方法，其中所述处理在所述纳米压印之后结束。10、 一种图案化介质盘，包括沉积在所述盘衬底上的材料，其中所述材料被纳米压印且所述材料被转 化成基本固化的材料；以及沉积在所述基本固化的材料上的磁材料。11、 根据权利要求10的图案化介质盘，其中所述材料包括氢倍半硅氧烷。12、 根据权利要求IO的图案化介质盘，其中所述材料包括聚酰胺基聚 合物。13、 根据权利要求IO的图案化介质盘，其中所述材料包括含硅抗蚀剂。14、 根据权利要求10的图案化介质盘，其中所述基本...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔丹A凯蒂恩，斯科特A麦克唐纳，尼尔L罗伯逊，
申请(专利权)人：日立环球储存科技荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]