一种用于检测晶元的扫描电子显微镜制造技术

本实用新型专利技术公开了扫描电子显微镜技术领域的一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，包括扫描电子显微镜本体，所述扫描电子显微镜本体的底端设有底座，所述底座呈矩形，且底座的下表面设有支撑垫块，所述底座的上表面侧边设有固定连接的安装槽，所述底座的上方设有两组第一防尘板和两组第二防尘板，且第一防尘板和第二防尘板的底端固定连接有与安装槽相匹配的安装条，所述第一防尘板和第二防尘板的顶端固定连接有观察板，活动连接的第一防尘板和第二防尘板给扫描电子显微镜本体防尘，且在拆卸时简单方便，第一防尘板和第二防尘板一侧滑动连接的滚动轴上的毛刷可以清理上面的灰尘，方便后续的使用，结构简单且操作方便，实用性好。实用性好。实用性好。

【技术实现步骤摘要】
一种用于检测晶元的扫描电子显微镜


[0001]本技术涉及扫面电子显微镜
，具体为一种用于检测晶元的扫描电子显微镜。

技术介绍

[0002]晶元一般是指晶圆，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料为硅。为了解晶圆内部的结构，一般都是采用扫描电子显微镜对晶圆的内部进行观察，但是现有的扫描电子显微镜大多数是暴露在空气中检测，空气中的灰尘会影响晶圆的检测，实用性差，且现有扫描电子显微镜的防尘大多数是采用布料覆盖，防尘效果差，为此，我们提出一种用于检测晶元的扫描电子显微镜。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，以解决上述
技术介绍
中提出的扫描电子显微镜的防尘效果差的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，包括扫描电子显微镜本体，所述扫描电子显微镜本体的底端设有底座，所述底座呈矩形，且底座的下表面设有支撑垫块，所述底座的上表面侧边设有固定连接的安装槽，所述底座的上方设有两组第一防尘板和两组第二防尘板，且第一防尘板和第二防尘板的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，包括扫描电子显微镜本体(1)，其特征在于：所述扫描电子显微镜本体(1)的底端设有底座(4)，所述底座(4)呈矩形，且底座(4)的下表面设有支撑垫块(5)，所述底座(4)的上表面侧边设有固定连接的安装槽(12)，所述底座(4)的上方设有两组第一防尘板(3)和两组第二防尘板(6)，且第一防尘板(3)和第二防尘板(6)的底端固定连接有与安装槽(12)相匹配的安装条(11)，所述第一防尘板(3)和第二防尘板(6)的顶端固定连接有观察板(2)。2.根据权利要求1所述的一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，其特征在于：所述第一防尘板(3)和第二防尘板(6)的端面两侧设有滑槽(13)，所述滑槽(13)内滑动连接有滑块(14)，所述滑块(14)的一侧固定连接滚动轴(15)，所述滚动轴(15)的端面设有若...

【专利技术属性】
技术研发人员：何威威，
申请(专利权)人：苏州欣威晟电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：