螺杆紧固组件制造技术

本实用新型专利技术提供了一种螺杆紧固组件，用以适配并紧固若干个层叠设置的基板，包括至少一个极性基板，及至少一个与极性基板电气属性不同的适配基板；金属螺杆，依次穿过若干个层叠设置的基板并与极性基板相连接；至少一个绝缘隔离部，套设于金属螺杆并贯穿适配基板；至少一个绝缘支撑套管，套设于绝缘隔离部；至少一个绝缘套管，套设于金属螺杆，位于适配基板与相邻极性基板之间；固定部，分别套设于金属螺杆的端部并沿金属螺杆的方向移动调节。本实用新型专利技术所述螺杆紧固组件满足高温条件下不同电气属性的基板的绝缘隔离，避免短路，并可以通过调节固定部的位置，实现基板之间的位置调节，满足用户对加热器不同规格的需求，降低成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
螺杆紧固组件


[0001]本技术涉及加热器领域，尤其涉及一种加热器的螺杆紧固组件。

技术介绍

[0002]在半导体生产过程中，需要使用各类加热器提供加工所需的高温环境，加热器本身的各部件在使用过程中均会处于高温环境。同时，加热器结构复杂，多为多层板结构，每层板电气属性都不同，包含正极、负极、悬空三种电气属性。为了降低安装和维护难度，需要将电气属性不同的多层板连接并固定在一起，形成一个整体，以方便安装和维护。当将不同电气属性的板连在一起时，板与板之间互相隔离的可靠性至关重要，会直接影响加热器的品质甚至整台设备的安全。
[0003]然而，现有的加热器将具有悬空电气属性的各层板直接用金属螺杆相连接，在电压高压力低的情况下，悬空电气属性板容易放电，使悬空失效并导致金属螺杆与电极板之间短路，造成安全隐患。同时，现有的加热器的电极板的位置不可调，需要制造不同规格的设备来满足用户的需求，成本较高。
[0004]因此，有必要提供一种螺杆紧固组件以解决现有技术中存在的上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术提供了一种螺杆紧固组件，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种螺杆紧固组件，用以适配并紧固若干个层叠设置的基板，所述层叠设置的基板包括至少一个极性基板，及至少一个与所述极性基板电气属性不同的适配基板，其特征在于，所述螺杆紧固组件包括：金属螺杆，依次穿过所述若干个层叠设置的基板，所述金属螺杆与所述极性基板相连接；至少一个绝缘隔离部，套设于所述金属螺杆，所述绝缘隔离部包括一贯穿端部，所述贯穿端部贯穿所述适配基板，以隔离所述金属螺杆与所述适配基板；至少一个绝缘支撑套管，套设于所述绝缘隔离部的贯穿端部，用于支撑所述适配基板；至少一个绝缘套管，套设于所述金属螺杆，位于所述适配基板与相邻所述极性基板之间，且位于所述适配基板远离所述绝缘支撑套管的一侧；固定部，分别套设于所述金属螺杆穿过所述若干个层叠设置的基板的端部，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：万飞华，徐春阳，
申请(专利权)人：楚赟精工科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：