本发明专利技术公开了一种MOCVD设备尾气处理装置。本发明专利技术的技术方案是：包括车架、设置在车架上的第一滤筒和第二滤筒、连接第一滤筒和第二滤筒的进气单元以及设置在第一滤筒和第二滤筒之间的出气单元，所述第一滤筒和第二滤筒内均设置有滤芯，所述进气单元包括进气三通，所述进气三通的两端分别通过法兰与第一滤筒和第二滤筒内滤芯连通，所述进气三通的中部设置有进气口，所述进气口连接大小头进气法兰，所述出气单元包括出气管，所述出气管连接真空泵。本发明专利技术提供的方案使用寿命长且。本发明专利技术提供的方案使用寿命长且。本发明专利技术提供的方案使用寿命长且。
【技术实现步骤摘要】
一种MOCVD设备尾气处理装置
[0001]本专利技术涉及涉及金属有机物化学气相沉积（MOCVD）设备领域。
技术介绍
[0002]金属有机物化学气相沉积（MOCVD）设备，用Ⅲ族元素的有机化合物和
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族元素的氢化物作为晶体生长原料，以热分解方式进行气相外延生长。例如，三甲基镓Ga（CH3）与砷烷AsH3反应，Ga（CH3）3+AsH3=GaAs+3CH4，其反应产物砷化镓GaAs，部分被泵抽走，该砷化镓为黑色粉末，对人体具有毒性，同时日积月累也回导致真空泵的堵塞卡死。
[0003]针对MOCVD的设备尾气处理装置现有技术多使用单独过滤筒，该过滤筒容积小，使用时间周期受限，维护周期短，拉低了MOCVD主设备整体稼动率Uptime。
技术实现思路
[0004]针对现有技术存在的不足，本专利技术的主要目的在于提供一种使用寿命长且过滤效果好的MOCVD设备尾气处理装置。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：一种MOCVD设备尾气处理装置，包括车架、设置在车架上的第一滤筒和第二滤筒、连接第一滤筒和第二滤筒的进气单元以及设置在第一滤筒和第二滤筒之间的出气单元，所述第一滤筒和第二滤筒内均设置有滤芯，所述进气单元包括进气三通，所述进气三通的两端分别通过法兰与第一滤筒和第二滤筒内滤芯连通，所述进气三通的中部设置有进气口，所述进气口连接大小头进气法兰，所述出气单元包括出气管，所述出气管连接真空泵。
[0006]优选的，所述第一滤筒和第二滤筒均包括筒体以及与筒体螺纹密封连接的盖板。
[0007]优选的，所述滤芯为带有内腔的圆柱体状，所述滤芯的端部设置有十字形撑架，所述十字形撑架的端部能够与筒体的内壁抵接。
[0008]优选的，所述滤芯的端部还设置有能够与盖板抵接的把手。
[0009]优选的，所述滤芯上相对把手的一端设置有能够与筒体抵接的密封圈。
[0010]优选的，所述车架的底部设置有移动轮。
[0011]本专利技术相对于现有技术具有如下优点，使用两个筒体并列设置在车架上，使原来1个滤筒，增加为2个滤筒。同时双筒并联进气口采用锥形大小头即大小头进气法兰的形式，设备原来管道气流经过此接口，会形成湍流加速进入过滤器，不容易在入口处堵塞。滤芯使用内滤结构，滤芯内腔带有密封圈，尾气由内层向外层过滤，材质为耐高温滤纸或玻璃纤维。通过以上结构，过滤效果增强，使用寿命为单筒的2倍以上。同时滤芯带有手柄和十字形撑架。呈整体式下沉托起结构，方便筒体运输及对接管道的安装定位。
附图说明
[0012]图1为本专利技术的一种MOCVD设备尾气处理装置的整体结构示意图；图2为本专利技术的一种MOCVD设备尾气处理装置的正视图；
图3为图2中A
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A部分的剖视图；图4为本专利技术的一种MOCVD设备尾气处理装置的滤芯的结构示意图一；图5为本专利技术的一种MOCVD设备尾气处理装置的滤芯的结构示意图二。
[0013]图中：1、车架；2、第一滤筒；3、第二滤筒；4、进气单元；5、出气单元；6、滤芯；7、进气三通；8、进气口；9、大小头进气法兰；10、出气管；11、筒体；12、盖板；13、十字形撑架；14、把手；15、密封圈；16、移动轮。
具体实施方式
[0014]下面结合附图对本专利技术作进一步说明。
[0015]如图1所示，一种MOCVD设备尾气处理装置，包括车架1、设置在车架1上的第一滤筒2和第二滤筒3、连接第一滤筒2和第二滤筒3的进气单元4以及设置在第一滤筒2和第二滤筒3之间的出气单元5，所述第一滤筒2和第二滤筒3内均设置有滤芯6，所述进气单元4包括进气三通7，所述进气三通7的两端分别通过法兰与第一滤筒2和第二滤筒3内滤芯6连通，所述进气三通7的中部设置有进气口8，所述进气口8连接大小头进气法兰9，所述出气单元5包括出气管10，所述出气管10连接真空泵。
[0016]优选的，所述第一滤筒2和第二滤筒3均包括筒体11以及与筒体11螺纹密封连接的盖板12。
[0017]优选的，所述滤芯6为带有内腔的圆柱体状，所述滤芯6的端部设置有十字形撑架13，所述十字形撑架13的端部能够与筒体11的内壁抵接。
[0018]优选的，所述滤芯6的端部还设置有能够与盖板12抵接的把手14。
[0019]优选的，所述滤芯6上相对把手14的一端设置有能够与筒体11抵接的密封圈15。
[0020]优选的，所述车架1的底部设置有移动轮16。
[0021]本方案的一种MOCVD设备尾气处理装置，使用两个筒体11并列设置在车架1上，使原来1个滤筒，增加为2个滤筒。同时双筒并联进气口8采用锥形大小头即大小头进气法兰9的形式，设备原来管道气流经过此接口，会形成湍流加速进入过滤器，不容易在入口处堵塞。滤芯6使用内滤结构，滤芯6内腔带有密封圈15，尾气由内层向外层过滤，材质为耐高温滤纸或玻璃纤维。通过以上结构，过滤效果增强，使用寿命为单筒的2倍以上。同时滤芯6带有手柄和十字形撑架13。呈整体式下沉托起结构，方便筒体11运输及对接管道的安装定位。筒体11坐落在车架1上面，由于筒体11自身较重，小车上带有弧形凹槽结构，正好与筒体11外圆相配合，进而实现筒体11重力固定。盖板12与筒体11配合，筒体11端面带有密封圈15结构，通过真空标准卡钳紧固盖板12与筒体11。工艺腔室尾气进入进气口8，通过进气三通7，进入滤芯6内腔，经过滤芯6过滤，通过出气管10进入真空泵，实现尾气的过滤处理。
[0022]滤芯6带有内腔结构，其内腔端部带有密封圈15，插入筒体11内带有圆柱结构，实现预紧与密封，尾气不过绕过滤芯6直接流入工艺腔泵。滤芯6带有手柄结构，方便滤芯6的更换，同时盖板12压在手柄上，使其轴向固定。滤芯6带有十字叉结构即十字形撑架13，该结构起到导向作用，使滤芯6可以顺利与筒体11内相紧密配合，同时支撑滤芯6不至于端头悬臂下坠。
[0023]以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，本专利技术的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本专利技术思路下的技术方案均属于本专利技术的保护范围。应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本专利技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种MOCVD设备尾气处理装置，其特征在于：包括车架、设置在车架上的第一滤筒和第二滤筒、连接第一滤筒和第二滤筒的进气单元以及设置在第一滤筒和第二滤筒之间的出气单元，所述第一滤筒和第二滤筒内均设置有滤芯，所述进气单元包括进气三通，所述进气三通的两端分别通过法兰与第一滤筒和第二滤筒内滤芯连通，所述进气三通的中部设置有进气口，所述进气口连接大小头进气法兰，所述出气单元包括出气管，所述出气管连接真空泵。2.根据权利要求1所述的一种MOCVD设备尾气处理装置，其特征在于：所述第一滤筒和第二滤筒均包括筒体以及与筒体螺纹密封连接的...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘红真，
申请(专利权)人：常州隆立可电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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