一种光纤调节组件制造技术

本申请实施例公开了一种光纤调节组件，便于满足套刻测量对光源的入射方位的调整需求，包括：光纤安装座、调节本体座、基座组件及第一方向调节组件、第二方向调节组件、第三方向调节组件、倾斜面调节组件和俯仰面调节组件中的至少一种调节组件；光纤安装座用于装载调节本体座，基座组件用于承载调节本体座；第一方向调节组件和第二方向调节组件分别用于调整光纤安装座在第一方向上和第二方向上与调节本体座的相对位置；第三方向调节组件用于调整光纤安装座在第三方向上与基座组件的相对位置；倾斜面调节组件和俯仰面调节组件，分别用于调整光纤安装座相对于基座组件的第一角度和第二角度。二角度。二角度。

【技术实现步骤摘要】
一种光纤调节组件


[0001]本申请实施例涉及半导体领域，尤其涉及一种光纤调节组件。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的不断发展，人们对测量光刻后的晶圆套刻误差提出了更高的要求，基于衍射光探测的套刻测量技术(DBO：diffraction
‑
based overlay)也正逐步取代传统的基于成像和图像识别的套刻测量技术(IBO：imaging
‑
based overlay)成为套刻测量的主要技术手段，而针对套刻测量的检测装置也有了深入研讨。
[0003]现有的一种基于衍射光的检测装置包括光源、光源调节组件、光路设备及探测单元等部件。为适应晶圆的高精度制程要求，首先需要由光源调节组件对光源发出的检测光进行偏移和/或俯仰等方位调整，以改变检测光到光路设备中的镜筒的入射方位，然后由光路设备对检测光进一步处理后发送至用于套刻误差测量的探测单元。
[0004]但是，现有的光源调节组件对光源各个入射方位的调整是相互关联的，当需要对光源某一入射方位做调整时，其他入射方位也会因为关联性而发生不必要的变动，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光纤调节组件，其特征在于，包括：光纤安装座、调节本体座、基座组件及第一方向调节组件、第二方向调节组件、第三方向调节组件、倾斜面调节组件和俯仰面调节组件中的至少一种调节组件；所述光纤安装座装载在所述调节本体座内，所述基座组件用于承载所述调节本体座；所述第一方向调节组件装设于所述调节本体座，用于调整所述光纤安装座在第一方向上与所述调节本体座的相对位置；所述第二方向调节组件装设于所述调节本体座，用于调整所述光纤安装座在第二方向上与所述调节本体座的相对位置，所述第一方向与所述第二方向垂直或具有锐角夹角；所述第三方向调节组件，用于调整所述光纤安装座在第三方向上与所述基座组件的相对位置，所述第三方向沿所述调节本体座和基座组件的排列方向；所述倾斜面调节组件一部分装设于所述调节本体座，用于绕第一旋转轴线调整所述光纤安装座相对于所述基座组件的第一角度；所述俯仰面调节组件一部分装设于所述调节本体座，用于绕第二旋转轴线调整所述光纤安装座相对于所述基座组件的第二角度，所述第二角度与所述第一角度垂直或具有锐角夹角。2.根据权利要求1所述的光纤调节组件，其特征在于，所述第一方向调节组件包括第一调节螺栓和第一限位模组；所述调节本体座的侧面在所述第一方向上相对设置有第一横孔和第一开槽；所述第一调节螺栓贯穿所述第一横孔，以抵接所述光纤安装座；所述第一限位模组通过所述第一开槽装设于所述调节本体座，与所述第一调节螺栓配合，以引导所述光纤安装座调整在所述第一方向上与所述调节本体座的相对位置。3.根据权利要求2所述的光纤调节组件，其特征在于，还包括：位于所述光纤安装座和调节本体座之间的复位弹簧，所述复位弹簧套设于所述第一调节螺栓上。4.根据权利要求2所述的调节组件，其特征在于，所述第一限位模组包括第一导向块和第一固定块；所述第一导向块装设于所述第一开槽内，所述第一固定块将所述第一导向块固定在所述调节本体座；所述第一导向块接近所述光纤安装座的一端开设有卡接槽，所述卡接槽用于卡接所述光纤安装座，以引导所述光纤安装座调整在所述第一方向上与所述调节本体座的相对位置；所述卡接槽的延伸方向与所述第一方向同向。5.根据权利要求1所述的光纤调节组件，其特征在于，所述第二方向调节组件包括第二调节螺栓和第二限位模组；所述调节本体座的侧面在所述第二方向上相对设置有第二横孔和第二开槽；所述第二调节螺栓贯穿所述第二横孔，以抵接所述光纤安装座；所述第二限位模组通过所述第二开槽装设于所述调节本体座，与所述第二调节...

【专利技术属性】
技术研发人员：张祖俊，黄有为，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：