影像处理系统及其方法技术方案

本公开提供一种影像处理系统及其方法。该系统具有一影像撷取单元以及一影像处理单元。该影像撷取单元包括一相机、一光源以及一晶圆传输平台。该相机撷取一晶圆标记的影像。该光源是一可变光源，能够投射经过在该晶圆标记上的多个化学残留物，其中该相机通过该可变光源撷取该晶圆标记的该区域的多个影像。该影像处理单元具有一影像处理器以及一物件配对子系统。该影像处理器经配置以执行该影像处理器的多个计算，以产生一输出结果。该物件配对子系统具有一物件配对单元以及一存储器单元。该物件配对单元具有一人工智能统计模型，用以辨识该晶圆标记的每一字元。该存储器单元存储该物件配对单元检测在每一影像中的该晶圆标记的每一字元的一组几率。每一字元的一组几率。每一字元的一组几率。

【技术实现步骤摘要】
影像处理系统及其方法


[0001]本申请案主张2020年4月20日申请的美国正式申请案第16/853,245号的优先权及益处，该美国正式申请案的内容以全文引用的方式并入本文中。
[0002]本公开涉及一种影像处理系统及其方法，是用以处理并读取一晶圆标记。

技术介绍

[0003]在半导体产业中，由于集成密度(integration density)的改善，所以已经经历快速成长。以晶圆制造的半导体元件需要小心的控制并通过晶圆标记(wafer marks)以进行识别。然而，在半导体元件的制造期间，化学残留物常常使晶圆标记模糊。据此，用于处理及读取晶圆标记的系统和方法，是需要能够识别模糊的字元，并提供对晶圆标记的准确识别。
[0004]上文的“先前技术”说明仅是提供
技术介绍
，并未承认上文的“先前技术”说明揭示本公开的标的，不构成本公开的先前技术，且上文的“先前技术”的任何说明均不应作为本案的任一部分。

技术实现思路

[0005]本公开的一实施例提供一种影像处理系统，包括一影像撷取单元以及一影像处理单元。该影像撷取单元包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种影像处理系统，包括：一影像撷取单元，包括：一相机，撷取一晶圆具有一晶圆标记的一区域的影像；一光源，围绕该相机设置，该光源是一可变光源，能够投射经过在该晶圆标记上的多个化学残留物，其中该相机通过该可变光源撷取该晶圆标记的该区域的多个影像；以及一晶圆传输平台，用以运送该晶圆；一影像处理单元，包括：一影像处理器，经配置以执行该影像处理单元的多个计算，以产生一输出结果；以及一物件配对子系统，包括：一物件配对单元，包括一人工智能统计模型，用以执行一统计分析，以辨识该晶圆标记的每一字元；以及一存储器单元，存储该物件配对单元检测在该晶圆标记的每一影像中的该晶圆标记的每一字元的一组几率。2.如权利要求1所述的影像处理系统，其中，该影像处理单元还包括一进阶影像处理子系统，包括一进阶影像处理引擎以及一物件辨识单元，其中该进阶影像处理引擎与该物件辨识单元利用一边缘检测及影像堆叠技术以进一步处理该晶圆标记的该影像。3.如权利要求1所述的影像处理系统，其中，通过该物件配对单元所执行的该统计分析，包括将用于检测该晶圆标记的每一字元的该组几率与一阀域值进行比较。4.如权利要求3所述的影像处理系统，其中，通过该物件配对单元所执行的该统计分析，还包括辨识该晶圆标记的每一字元，是通过在该晶圆标记的所有所述影像之间找到具有一最高几率的每一字元，而该最高几率的每一字元是在存储在该存储器单元中的该组几率与该阀域值之间的比较中所找到。5.如权利要求1所述的影像处理系统，其中，该相机为一面扫描相机，能够撷取在该晶圆的一背侧或一前侧中的该晶圆标记的该影像。6.如权利要求1所述的影像处理系统，其中，该光源经配置以提供可变波长、可变强度以及可变角度的光线。7.如权利要求1所述的影像处理系统，其中，该晶圆标记符合国际半导体设备和材料字元标准。8.一种影像处理系统，包括：一影像撷取单元，包括：一相机，撷取一晶圆具有一晶圆标记的一区域的影像；一光源，围绕该相机设置，该光源是一可变光源，能够投射经过在该晶圆标记上的多个化学残留物，其中该相机通过该可变光源撷取该晶圆标记的该区域的多个影像；以及一晶圆传输平台，用以运送该晶圆；一或多个处理器；以及一或多个电脑可读非暂时性存储媒体，耦接到该一或多个处理器，并包括由该一或多个处理器执行时可操作以使该影像处理系统执行以下指令：接收通过该相机所撷取的该影像；执行使用一人工智能统计模型的一统计分析，以辨识该晶圆标记的每一字元；
存储一组几率，该组几率是用于检测在该晶圆标记的每一影像中的该晶圆标记的每一字元；以及执行多个计算以产生一输出结果。9.如权利要求8所述的影像处理系统，其中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄日正，胡欣成，张德州，
申请(专利权)人：南亚科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：