可更换的终端受动器接触垫、终端受动器和维护方法技术

提供了终端受动器的可更换的接触垫。接触垫在电子装置制造中支承基板。接触垫包括：接触垫头，具有构造成接触基板的接触表面；轴，耦接至接触垫头，轴包括形成在接触垫头的下侧和轴端之间的轴凹口；和圆形固定构件，容纳在轴周围并座落在轴凹口中，并构造成将接触垫固定至终端受动器主体。描述了包括可更换的接触垫的终端受动器和维护方法的以及其他方面。的终端受动器和维护方法的以及其他方面。的终端受动器和维护方法的以及其他方面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】可更换的终端受动器接触垫、终端受动器和维护方法


[0001]本公开内容涉及电子装置制造，且更具体地涉及运输基板的终端受动器设备和方法。

技术介绍

[0002]在电子装置制造中，可通过机器人使基板(如，含硅晶片、含硅板)在制造设施附近和制造配备工具内移动。机器人可包括机械臂，机械臂具有耦接到机械臂上的一个或多个终端受动器，终端受动器在该运输期间可接触并支承基板。终端受动器包括在终端受动器上的接触垫，接触垫通常是三个，接触垫提供升高的接触表面，基板被支承在接触表面上。

技术实现思路

[0003]在第一方面中，提供了一种终端受动器。终端受动器构造成支承基板，并包括：终端受动器主体，具有顶表面和底表面；凹槽，从底表面延伸到主体中；和孔，形成在主体中并在顶表面和凹槽之间延伸；接触垫，设置在终端受动器主体上，接触垫进一步包含：接触垫头，具有构造成接触基板的接触表面；和轴，耦接至接触垫头和容纳在孔中并延伸到凹槽中，轴包括形成在接触垫头的下侧和轴端之间的轴凹口；和圆形固定构件，容纳在轴周围和座落在轴凹口中，以将接触垫固定至终端受动器主体。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种构造成支承基板的终端受动器，包含：终端受动器主体，具有顶表面和底表面；凹槽，从所述底表面延伸到所述终端受动器主体中；和孔，形成在所述终端受动器主体中并在所述顶表面和所述凹槽之间延伸；接触垫，设置在所述终端受动器主体上，所述接触垫进一步包含：接触垫头，具有构造成接触所述基板的接触表面；和轴，耦接至所述接触垫头和容纳在所述孔中并延伸到所述凹槽中，所述轴包括形成在所述接触垫头的下侧和轴端之间的轴凹口；和圆形固定构件，容纳在所述轴周围和座落在所述轴凹口中，以将所述接触垫固定至所述终端受动器主体。2.如权利要求1所述的终端受动器，其中所述接触表面包含具有从8毫米至20毫米的曲率半径的穹顶形状。3.如权利要求1所述的终端受动器，其中根据ASME B46.1，所述接触表面具有从45μin Ra至约65μin Ra的表面粗糙度。4.如权利要求1所述的终端受动器，其中所述接触垫包含导电材料。5.如权利要求4所述的终端受动器，其中所述接触垫包含导电材料，所述导电材料选自由金属掺杂的陶瓷、碳化硅、不锈钢、铝和镀镍的铝所组成的群组。6.如权利要求1所述的终端受动器，基本上由掺杂钛的氧化铝的三个接触垫组成。7.如权利要求1所述的终端受动器，其中所述轴凹口包含环形凹槽。8.如权利要求7所述的终端受动器，其中所述环形凹槽包含具有共同的底部半径的表面轮廓。9.如权利要求1所述的终端受动器，其中当将所述圆形固定构件座落在所述轴凹口中时，所述圆形固定构件接触所述凹槽的座落表面。10.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：怀特尼，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：