一种含卤素气体的处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种含卤素气体的处理装置，涉及废气处理技术领域，该装置包括：金属腔体、进气口、均流板、MW

【技术实现步骤摘要】
一种含卤素气体的处理装置


[0001]本技术涉及废气处理
，具体而言，涉及一种含卤素气体的处理装置。

技术介绍

[0002]卤素在半导体
应用于蚀刻气体或净化气体。但是，卤素中的氯气和氟气是卤族元素中的两种比较活泼的气体，氯气有毒，能够刺激人的呼吸系统和粘膜等位置，氟气是自然界中最活泼的一种气体，能够和许多物质发生化学反应，进入人体后，非常容易患氟骨病，氟中毒是一种在我国分布较为广泛的地方病。
[0003]现有技术中，对于含有卤素的废气的处理方法主要包括干式净化法和湿式净化法，上述方法在处理存在卤素类气体时均存在处理效率低，适用场景受限，而且后期维护成本较高。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于，针对上述现有技术中处理飞灰技术存在的不足，提供一种含卤素气体的处理装置，以解决现有技术中飞灰的处理均存在处理不彻底，没有把飞灰中重金属提取出来作为资源导致资源浪费以及综合效益低的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术实施例采用的技术方案如下：
[0006]本技术实施例提供了一种含卤素气体的处理本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种含卤素气体的处理装置，其特征在于，所述装置包括：金属腔体、进气口、均流板、MW
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LEP处理器、湿法静电除尘器、水箱和出气口；其中，所述均流板包括多层；所述均流板、所述MW
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LEP处理器和所述湿法静电除尘器均匀设置在所述金属腔体内；所述水箱设置在所述金属腔体底部；所述含卤素气体从所述进气口进入所述金属腔体，经所述均流板基于所述MW
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LEP处理器和所述湿法静电除尘器的处理，从所述出气口排出。2.根据权利要求1所述的含卤素气体的处理装置，其特征在于，所述金属腔体内壁设置防腐涂层。3.根据权利要求1所述的含卤素气体的处理装置，其特征在于，所述装置包括多个所述MW
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LEP处理器和所述湿法静电除尘器的组合体。4.根据权利要求3所述的含卤素气体的处理装置，其特征在于，所述装置还包括传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：马中发，王露，杨小洲，
申请(专利权)人：陕西青朗万城环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：