具有先进返流诊断的质量流量控制器制造技术

一种诊断系统，包括用于控制质量流量控制器的操作的控制器。该控制器可通信地耦接到阀和至少一个传感器，并且被调节为基于预定的设定点值和来自该至少一个传感器的通信来控制该阀。该控制器确定与流体的反向流量相关联的至少一个预定值，并且使控制器进入硬故障或安全状态。该流量的预定值为总流量的一定百分比或一段时间内的总流量的一定百分比。该控制器可以响应于确定该至少一个预定值而记录日期、时间、以及设备标识符。另外，该诊断系统可以包括集中式控制器，该集中式控制器被配置为从多个控制器接收诊断数据并控制这些控制器的操作。作。作。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有先进返流诊断的质量流量控制器

技术介绍

[0001]许多工业过程需要精确控制各种工艺流体。例如，在半导体工业中，使用质量流量计(MFM)来精确测量引入到处理室的工艺流体的量。除了测量质量流量之外，质量流量控制器(MFC)还用于精确测量和控制引入到处理室的工艺流体的量。将理解到，如本文所使用的，术语流体适用于受控流量可能受到关注的任何类型的气体或蒸气。
[0002]需要维护这些设备以维持可接受的性能水平。这些设备的维护必须及时，并且需要关于设备操作的先进知识，因此，维护成本可能很高。许多MFC具有基于能力有限的内置硬件的自诊断能力。现有的MFC诊断系统的有限能力和复杂设计只会增加MFC的成本。
附图说明
[0003]以下参考通过引用结合在此的附图来详细描述当前公开的主题的说明性实施例，在附图中：
[0004]图1图示了根据特定示例实施例的具有控制和先进诊断电子装置的质量流量控制器；
[0005]图2A至图2B图示了根据特定示例实施例的用于诊断和控制质量流量控制器的操作的算法的图；以及
[0006]图3是根据一些示例实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种质量流量控制器，包括：入口，所述入口被配置为接收流体；流动路径，所述流体在所述流动路径中流过；阀，所述阀被配置为调节流出所述质量流量控制器的出口的所述流体的正向流量；至少一个传感器，所述至少一个传感器被配置为监测通过该流动路径的流体和阀操作；以及控制器，所述控制器可通信地耦接到所述至少一个传感器和所述阀，所述控制器被调节为基于预定的设定点值和来自所述至少一个传感器的通信来控制所述阀，所述控制器进一步包括诊断系统，所述诊断系统被配置为：确定与流体的反向流量相关联的至少一个预定值；基于所述至少一个预定值来控制所述控制器的操作。2.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中，所述流量的所述预定值为总流量的一定百分比。3.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中，所述流量的所述预定值为一段时间内的总流量的一定百分比。4.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中，所述诊断系统进一步被配置为响应于确定所述至少一个预定值而记录日期、时间、以及设备标识符。5.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中，所述诊断系统进一步被配置为使所述控制器进入硬故障和安全状态之一。6.如权利要求1所述的质量流量控制器，进一步包括集中式控制器，所述集中式控制器被配置为：从多个控制器接收诊断数据；以及控制所述多个控制器中的至少一个控制器的操作。7.一种用于控制质量流量控制器的操作的诊断系统，所述诊断系统包括：控制器，所述控制器可通信地耦接到至少一个传感器和阀，所述控制器被调节为基于预定的设定点值和来自所述至少一个传感器的通信来控制所述阀，所述控制器被配置为：确定与流体的反向流量相关联...

【专利技术属性】
技术研发人员：约瑟夫，
申请(专利权)人：伊利诺斯工具制品有限公司，
类型：发明
国别省市：