具有先进零趋势诊断的质量流量控制器制造技术

一种用于校准质量流量控制器的诊断系统，该诊断系统包括控制器，该控制器可通信地耦接到阀和(多个)传感器。该控制器基于预定的设定点值和来自该至少一个传感器的通信来控制该阀。该控制器确定设定点值调整次数，并且将校准操作的结果与设定点值加上容差值进行比较。该控制器生成通知消息，该通知消息指示该预定的设定点值调整次数和该比较的结果中的至少一者。该控制器至少部分地基于该预定的设定点值调整次数、该比较的结果、以及用户输入之一来校准该质量流量控制器。该通知消息可以包括温度值、阀驱动值、传感器流速值、气体流小时数、以及基于总流体小时数的剩余设定点调整次数。数。数。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有先进零趋势诊断的质量流量控制器

技术介绍

[0001]许多工业过程需要精确控制各种工艺流体。例如，在半导体工业中，使用质量流量计(MFM)来精确测量引入到处理室的工艺流体的量。除了测量质量流量之外，质量流量控制器(MFC)还用于精确测量和控制引入到处理室的工艺流体的量。将理解到，如本文所使用的，术语流体适用于受控流量可能受到关注的任何类型的气体或蒸气。
[0002]需要维护这些设备以维持可接受的性能水平。这些设备的维护必须及时，并且需要关于设备操作的先进知识，因此，维护成本可能很高。许多MFC具有基于能力有限的内置硬件的自诊断能力。现有的MFC诊断系统的有限能力和复杂设计只会增加MFC的成本。
附图说明
[0003]以下参考通过引用结合在此的附图来详细描述当前公开的主题的说明性实施例，在附图中：
[0004]图1图示了根据特定示例实施例的具有控制和先进诊断电子装置的质量流量控制器；
[0005]图2A至图2B图示了根据特定示例实施例的用于诊断和控制质量流量控制器的操作的算法的图；以及
[0006]图3是根据一些示例实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种质量流量控制器，包括：入口，所述入口被配置为接收流体；流动路径，所述流体在所述流动路径中流过所述质量流量控制器；阀，所述阀被配置为调节流出所述质量流量控制器的出口的所述流体的流量；至少一个传感器，所述至少一个传感器被配置为监测通过所述流动路径的流体和阀操作；以及控制器，所述控制器可通信地耦接到所述至少一个传感器和所述阀，所述控制器被调节为基于预定的设定点值和来自所述至少一个传感器的通信来控制所述阀，所述控制器进一步包括用于校准所述控制器的诊断系统；其中，所述诊断系统被配置为：确定设定点值调整次数；以及生成通知消息，所述通知消息指示预定的设定点值调整次数。2.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中，预定的设定点值调整次数为总流体所述小时数的函数。3.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中，所述预定的设定点值调整次数为128。4.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中，所述预定的设定点值调整次数为零。5.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中，所述预定的设定点调整次数为最小阈值和最大阈值中的至少一者。6.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中，所述诊断系统进一步被配置为：将校准操作的结果与设定点值和容差值进行比较；以及生成通知消息，所述通知消息指示所述预定的设定点值调整次数和所述比较的结果中的至少一者。7.如权利要求6所述的质量流量控制器，其中，所述诊断系统进一步被配置为使得所述控制器至少部分地基于预定的设定点值调整次数、所述比较的结果、以及用户输入之一来校准所述质量流量控制器。8.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中，通知消息进一步包括以下各项的至少一个值中的至少一个：温度、阀驱动、设定点、传感器流速、气体流小时数、时间、流体类型、以及基于总流体小时数的剩余设定点调整次数。9.一种用于校准质量流量控制器的诊断系统，所述诊断系统包括：控制器，所述控制器可通信地耦接到至少一个传感器和阀，所述控制器被调节为基于预定的设定点值和来自所述至少一个传感器的通信来控制所述阀，所述控制器被配置为：确定设定点值调整次数；以及生成通知消息，所述通知消息指示预...

【专利技术属性】
技术研发人员：约瑟夫，
申请(专利权)人：伊利诺斯工具制品有限公司，
类型：发明
国别省市：