平面度检测设备及系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种平面度检测设备及系统。所述平面度检测设备，包括底座、检测平台与测距传感器，检测平台装配在底座上，检测平台包括支撑结构，支撑结构位于检测平台远离底座的一侧，用于支撑待检测板件；支撑结构与待检测板件的结构相匹配。测距传感器位于检测平台远离底座的一侧，在待检测板件放置于检测平台上后，测距传感器用于检测待检测板件上的N个待检测位置分别与测距传感器之间的距离，得到N个距离信息，N个距离信息用于确定待检测板件的平面度，N为大于2的整数。根据本实用新型专利技术的实施例，可以检测玻璃基板的平面度，以改善制备工艺减小玻璃基板的平面度，避免玻璃基板在进入后续工艺设备时容易发生破碎导致工艺设备宕机的问题。备宕机的问题。备宕机的问题。

【技术实现步骤摘要】
平面度检测设备及系统


[0001]本技术涉及平面度检测
，尤其涉及一种平面度检测设备及系统。

技术介绍

[0002]相关技术中，随着玻璃基板在工艺路线中的流转，经历成膜、刻蚀、加热、冷却等各种加工工艺，玻璃基板中各膜层之间形成不同程度的应力，部分玻璃基板中膜层之间的应力过大导致玻璃基板发生变形，在进入后续工艺设备时，容易发生玻璃基板破碎导致工艺设备宕机的问题。
[0003]因此，如何检测玻璃基板的平面度，以改善制备工艺减小玻璃基板的平面度，避免玻璃基板在进入后续工艺设备时容易发生破碎导致工艺设备宕机的问题。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种平面度检测设备及系统，以解决相关技术中的不足。
[0005]根据本技术实施例的第一方面，提供一种平面度检测设备，包括：
[0006]底座；
[0007]检测平台，可拆卸地装配在所述底座上，所述检测平台包括支撑结构，所述支撑结构位于所述检测平台远离所述底座的一侧，用于支撑待检测板件；所述支撑结构与所述待检测板件的结构相匹配；
[0008]测距传感器，位于所述检测平台远离所述底座的一侧，在所述待检测板件放置于所述检测平台上后，所述测距传感器用于检测所述待检测板件上的N个待检测位置分别与所述测距传感器之间的距离，得到N个距离信息，所述N个距离信息用于确定所述待检测板件的平面度，N为大于2的整数。
[0009]在一个实施例中，所述的平面度检测设备，包括转轴、M个所述底座以及M个所述检测平台，M个所述底座围绕所述转轴设置，且M个所述底座分别与所述转轴固定连接，M个所述检测平台一一对应地装配在M个所述底座上，M个所述检测平台的支撑结构不相同；M为大于1的整数；
[0010]所述待检测板件放置于M个所述检测平台中面向所述测距传感器的所述检测平台上。
[0011]在一个实施例中，所述平面度检测设备，还包括驱动机构，所述驱动机构位于所述检测平台远离所述底座的一侧，所述测距传感器位于所述驱动机构上，所述驱动机构用于驱动所述测距传感器分别移动至N个所述待检测位置。
[0012]在一个实施例中，所述驱动机构包括第一直线驱动机构、第二直线驱动机构与第三直线驱动机构，所述第一直线驱动机构沿第一方向延伸，所述第二直线驱动机构沿第二方向延伸，所述第三直线驱动机构沿第三方向延伸，所述第一方向与所述第二方向相交，所述第三方向垂直于所述第一方向与所述第二方向；
[0013]所述第一直线驱动机构位于所述第二直线驱动机构上，所述第二直线驱动机构用
于驱动所述第一直线驱动机构沿所述第二直线驱动机构移动；
[0014]所述第三直线驱动机构位于所述第一直线驱动机构上，所述第一直线驱动机构用于驱动所述第三直线驱动机构沿第一直线驱动机构移动；
[0015]所述测距传感器位于所述第三直线驱动机构上，所述第三直线驱动机构用于驱动所述测距传感器沿所述第三直线驱动机构移动。
[0016]在一个实施例中，所述检测平台可拆卸地装配在所述底座上，所述平面度检测设备还包括平台仓与平台传输机构；
[0017]所述平台仓包括第一仓位与第二仓位，所述第一仓位用于存储备用的检测平台，所述第二仓位为空仓位；备用的检测平台的支撑结构与所述底座上装配的检测平台的支撑结构不同；
[0018]所述平台传输机构用于将所述底座上装配的检测平台输送至所述第二仓位，并将所述第一仓位存储的备用的检测平台输送至底座上。
[0019]在一个实施例中，所述平台传输机构包括多个第一滚轮、多个第二滚轮、多个第三滚轮、多个第四滚轮、第一传动带、第二传动带、第三传动带、第四传动带、第五传动带、第六传动带、第一电机与第二电机；
[0020]所述底座位于所述第一传动带与所述第二传动带之间，所述平台仓位于所述第三传动带与所述第四传动带之间；
[0021]所述第一电机用于驱动所述第一传动带转动，所述第二电机用于驱动所述第二传动带转动；
[0022]所述第一传动带用于带动多个第一滚轮滚动，所述第二传动带用于带动多个第二滚轮滚动；
[0023]所述第五传动带套设在一个所述第一滚轮与一个所述第三滚轮上，多个第一滚轮滚动时，通过所述第五传动带带动多个第三滚轮滚动；
[0024]所述第六传动带套设在一个所述第二滚轮与一个所述第四滚轮上，多个第二滚轮滚动时，通过所述第六传动带带动多个第四滚轮滚动；
[0025]当所述平台传输机构将所述底座上装配的检测平台输送至所述第二仓位时，多个所述第一滚轮位于所述底座上装配的检测平台下方，且与所述底座上装配的检测平台接触，多个所述第二滚轮位于所述底座上装配的检测平台下方，且与所述底座上装配的检测平台接触，多个所述第三滚轮与多个所述第四滚轮位于所述第二仓位下方，所述第一电机驱动所述第一传动带转动，所述第二电机驱动所述第二传动带转动，以驱动多个第一滚轮、多个第二滚轮、多个第三滚轮、多个第四滚轮转动并将所述底座上装配的检测平台输送至所述第二仓位；
[0026]当所述平台传输机构将所述第一仓位存储的备用的检测平台输送至所述底座上时，多个所述第三滚轮位于所述第一仓位存储的备用的检测平台下方，且与所述第一仓位存储的备用的检测平台接触，多个所述第四滚轮位于所述第一仓位存储的备用的检测平台下方，且与所述第一仓位存储的备用的检测平台接触，多个所述第一滚轮与多个所述第三滚轮对准，多个所述第二滚轮与多个所述第四滚轮对准，所述第一电机驱动所述第一传动带转动，所述第二电机驱动所述第二传动带转动，以驱动多个第一滚轮、多个第二滚轮、多个第三滚轮、多个第四滚轮转动并将所述第一仓位存储的备用的检测平台输送至所述底座
上。
[0027]在一个实施例中，所述的平面度检测设备还包括第一升降装置，所述第一升降装置位于所述底座下方；
[0028]在所述平台传输机构将所述底座上装配的检测平台输送至所述第二仓位之前，所述第一升降装置用于驱动所述底座在第三方向上移动，以使多个所述第一滚轮位于所述底座上装配的检测平台下方，且与所述底座上装配的检测平台接触，多个所述第二滚轮位于所述底座上装配的检测平台下方，且与所述底座上装配的检测平台接触；
[0029]在所述平台传输机构将所述第一仓位存储的备用的检测平台输送至所述底座上之前，所述第一升降装置用于驱动所述底座在第三方向上移动，直至所述平台传输机构能够将所述第一仓位存储的备用的检测平台输送至所述底座上；
[0030]在所述平台传输机构不工作时，所述第一升降装置用于驱动所述底座在第三方向上移动，以使多个所述第一滚轮位于所述底座上装配的检测平台下方，且与所述底座上装配的检测平台不接触，多个所述第二滚轮位于所述底座上装配的检测平台下方，且与所述底座上装配的检测平台不接触。
[0031]在一个实施例中，所述的平面度检测设备还包括控制装置、定位装置与第二升降装置；所述控制装置分别与所述定位装置、所述第二升降装置连接；
[0032]所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平面度检测设备，其特征在于，包括：底座；检测平台，装配在所述底座上，所述检测平台包括支撑结构，所述支撑结构位于所述检测平台远离所述底座的一侧，用于支撑待检测板件；所述支撑结构与所述待检测板件的结构相匹配；测距传感器，位于所述检测平台远离所述底座的一侧，在所述待检测板件放置于所述检测平台上后，所述测距传感器用于检测所述待检测板件上的N个待检测位置分别与所述测距传感器之间的距离，得到N个距离信息，所述N个距离信息用于确定所述待检测板件的平面度，N为大于2的整数。2.根据权利要求1所述的平面度检测设备，其特征在于，包括转轴、M个所述底座以及M个所述检测平台，M个所述底座围绕所述转轴设置，且M个所述底座分别与所述转轴固定连接，M个所述检测平台一一对应地装配在M个所述底座上，M个所述检测平台的支撑结构不相同；M为大于1的整数；所述待检测板件放置于M个所述检测平台中面向所述测距传感器的所述检测平台上。3.根据权利要求1所述的平面度检测设备，其特征在于，还包括驱动机构，所述驱动机构位于所述检测平台远离所述底座的一侧，所述测距传感器位于所述驱动机构上，所述驱动机构用于驱动所述测距传感器分别移动至N个所述待检测位置。4.根据权利要求3所述的平面度检测设备，其特征在于，所述驱动机构包括第一直线驱动机构、第二直线驱动机构与第三直线驱动机构，所述第一直线驱动机构沿第一方向延伸，所述第二直线驱动机构沿第二方向延伸，所述第三直线驱动机构沿第三方向延伸，所述第一方向与所述第二方向相交，所述第三方向垂直于所述第一方向与所述第二方向；所述第一直线驱动机构位于所述第二直线驱动机构上，所述第二直线驱动机构用于驱动所述第一直线驱动机构沿所述第二直线驱动机构移动；所述第三直线驱动机构位于所述第一直线驱动机构上，所述第一直线驱动机构用于驱动所述第三直线驱动机构沿第一直线驱动机构移动；所述测距传感器位于所述第三直线驱动机构上，所述第三直线驱动机构用于驱动所述测距传感器沿所述第三直线驱动机构移动。5.根据权利要求1所述的平面度检测设备，其特征在于，所述检测平台可拆卸地装配在所述底座上，所述平面度检测设备还包括平台仓与平台传输机构；所述平台仓包括第一仓位与第二仓位，所述第一仓位用于存储备用的检测平台，所述第二仓位为空仓位；备用的检测平台的支撑结构与所述底座上装配的检测平台的支撑结构不同；所述平台传输机构用于将所述底座上装配的检测平台输送至所述第二仓位，并将所述第一仓位存储的备用的检测平台输送至底座上。6.根据权利要求5所述的平面度检测设备，其特征在于，所述平台传输机构包括多个第一滚轮、多个第二滚轮、多个第三滚轮、多个第四滚轮、第一传动带、第二传动带、第三传动带、第四传动带、第五传动带、第六传动带、第一电机与第二电机；所述底座位于所述第一传动带与所述第二传动带之间，所述平台仓位于所述第三传动带与所述第四传动带之间；
所述第一电机用于驱动所述第一传动带转动，所述第二电机用于驱动所述第二传动带转动；所述第一传动带用于带动多个第一滚轮滚动，所述第二传动带用于带动多个第二滚轮滚动；所述第五传动带套设在一个所述第一滚轮与一个所述第三滚轮上，多个第一滚轮滚动时，通过所述第五传动带带动多个第三滚轮滚动；所述第六传动带套设在一个所述第二滚轮与一个所述第四滚轮上，多个第二滚轮滚动时，通过所述第六传动带带动多个第四滚轮滚动；当所述平台传输机构将所述底座上装配的检测平台输送至所述第二仓位时，多个所述第一滚轮位于所述底座上装配的检测平台下方，且与所述底座上装配的检测平台接触，多个所述第二滚轮位于所述底座上装配的检测平台下方，且与所述底座上装配的检测平台接触，多个所述第三滚轮与多个所述第四滚轮位于所述第二仓位下方，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙少东，高浩然，袁广才，张丽蕾，付文悦，李丽，郑汉博，刘书奇，齐琪，闫俊伟，谷平宽，井丽娜，陈艳，陈一民，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：