一种高精度相机镜头微调机构制造技术

技术编号:30309770 阅读:25 留言:0更新日期:2021-10-09 22:50
本实用新型专利技术公开了一种高精度相机镜头微调机构,包括安装座和相机镜头装置,所述安装座上设置有相机滑动板,所述安装座和所述相机滑动板之间设置有直线导轨和滑动块,所述安装座和所述相机滑动板与直线导轨和滑动块的接触面上都分别开设有凹槽,所述直线导轨固定在所述安装座上的凹槽里,所述滑动块固定在所述相机滑动板上的凹槽里,所述滑动块与所述直线导轨滑动连接,所述安装座的侧边还设置有微分调节机构,所述相机镜头装置安装在所述相机滑动板上。本实用新型专利技术的有益效果是,相机镜头微调机构结构简单,体积小,易操作,适用性广,成本低,解决了目前高精度相机镜头由于景深过小调节困难、耗时长等问题。耗时长等问题。耗时长等问题。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度相机镜头微调机构


[0001]本技术涉及相机镜头位置调节
,特别是一种高精度相机镜头微调机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅,硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。晶圆在封膜完成后需要通过相机对晶圆的表面进行视觉检测,检测晶圆表面的光洁度和平整度,在检测晶圆时通常会根据实际情况对相机镜头进行微调,调整相机镜头距待检测晶圆的距离,对调整精度要求很高,但现有的设备,结构比较复杂,而且相机镜头的景深也过小,难以在狭小的空间内做到这种高精度调整,而且调整时间长,无法适应大批量生产检测。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决上述问题,设计了一种高精度相机镜头微调机构。
[0004]实现上述目的本技术的技术方案为,一种高精度相机镜头微调机构,包括安装座和相机镜头装置,所述安装座上设置有相机滑动板,所述安装座和所述相机滑动板之间设置有直线导轨和滑动块,所述安装座和所述相机滑动板与直线导轨和滑动块的接触面上都分别开设有凹槽,所述直线导轨固定在所述安装座上的凹槽里,所述滑动块固定在所述相机滑动板上的凹槽里,所述滑动块与所述直线导轨滑动连接,所述安装座的侧边还设置有微分调节机构,所述相机镜头装置安装在所述相机滑动板上。
[0005]优选的,所述相机滑动板和所述安装座上凹槽的深度都小于所述滑动块的厚度。
[0006]优选的,所述直线导轨的长度与所述凹槽的长度相适配,两个所述滑动块的长度加上两个所述滑动块之间的间距小于所述直线导轨的长度。
[0007]优选的,所述相机滑动板上设置有夹紧板,所述相机滑动板上开设有长圆孔,所述安装座上开设有固定孔,所述长圆孔与所述固定孔相适配,所述夹紧板通过螺钉穿过长圆孔和固定孔,固定在所述相机滑动板上。
[0008]优选的,所述相机镜头装置包括相机镜头模组、固定座、定位板和限位环,所述固定座固定在所述相机滑动板上,所述定位板固定在所述固定座的下端,所述相机镜头模组的上端固定在所述固定座上,所述相机镜头模组的中部位置通过限位环固定在所述定位板上。
[0009]优选的,所述限位环与所述相机镜头模组相适配,所述限位环的两端开设有固定孔,所述定位板侧面的两端开设有固定孔,且所述限位环上的固定孔与所述定位板上的固定孔相适配。
[0010]优选的,所述微分调节机构包括微分头和固定块,所述固定块固定在所述固定座的侧面,所述微分头安装在所述固定块上,所述微分头的上端与所述相机滑动板固定连接。
[0011]其有益效果在于,本技术提供的相机镜头微调机构体积小,结构简单,通过微分调节机构实现相机镜头竖向的距离调整,可以实现毫米级的微调,然后拧紧螺钉,通过夹紧板将相机镜头固定,易操作,不仅仅适用晶圆的视觉检测,还可以适用其他需要这种视觉检测的场合,适用性广,解决了目前高精度相机镜头由于景深过小调节困难、耗时长等问题,因此需要对现有的相机微调机构进行改善。
附图说明
[0012]图1是本技术的结构示意图;
[0013]图2是本技术所述的相机镜头装置的结构示意图;
[0014]图3是本技术所述的相机镜头装置的另一视角结构示意图;
[0015]图4是本技术所述的安装座和相机滑动板的结构示意图;
[0016]图5是本技术所述的安装座的结构示意图。
[0017]图中,1、安装座;2、相机滑动板;3、微分调节机构;301、微分头;302、固定块;4、相机镜头装置;401、相机镜头模组;402、固定座;403、定位板;404、限位环;5、直线导轨;6、滑动块;7、夹紧板。
具体实施方式
[0018]首先说明一下本技术的设计初衷,在晶圆的视觉检测中现有的高精度相机镜头由于景深过小,难以在有限的空间内做到高精度调整,而且耗费时间还长,不能满足大批量生产检测的需求,本技术就是考虑到这些缺陷,对现有的微调机构进行了改善,提供了一种高精度相机镜头微调机构。
[0019]下面结合附图对本技术进行具体描述,如图1

5所示,该相机微调机构主要包括安装座1和用于视觉检测的相机镜头装置4,为了便于相机镜头装置4上下滑动,在安装座1设置了相机滑动板2,相机镜头装置4就是安装固定在相机滑动板2上,而在安装座1和相机滑动板2之间还设置有两根直线导轨5和四个滑动块6,两根直线导轨5竖向平行设置,分别安装固定在安装座1的两侧,每根直线导轨5上都安装了两个滑动块6,四个滑动块6都与相机滑动板2固定连接,滑动块6与直线导轨5之间是滑动连接的,安装在相机滑动板2上的相机镜头装置4通过滑动块6在直线导轨5上竖向滑动,可以实现竖向的距离调节,从而调节相机镜头的景深。
[0020]为了限制滑动块6的滑动范围,同时也确保相机镜头装置4竖向滑动的距离在相机镜头的景深范围内,在安装座1与直线导轨5和滑动块6的接触面上、以及安装座1与直线导轨5和滑动块6的接触面上都分别开设有凹槽,直线导轨5固定在安装座1上的凹槽里,滑动块6固定在相机滑动板2上的凹槽里,而且这里对凹槽的深度作了限定,相机滑动板2和安装座1上凹槽的深度都小于滑动块6的厚度,而且直线导轨5的长度与凹槽的长度相适配,这样直线导轨5就可以完全安装固定在凹槽内,而相机滑动板2安装固定在滑动块6上后,相机滑动板2和安装座1之间就会存在一定间隙,使得相机滑动板2不会紧紧贴合在安装座1上,便于相机滑动板2滑动,但为了限制相机滑动板2的竖向滑动距离,使安装在相机滑动板2上相机镜头装置4的景深在调节范围内,我们对单根直线导轨5上两个滑动块6之间的距离以及单个滑动块6的长度也作了限定,两个滑动块6的的长度相加再加上两个滑动块6之间的间
距小于直线导轨5的长度。
[0021]上述中的相机镜头装置4包括相机镜头模组401、固定座402、定位板403和限位环404,其中固定座402固定在相机滑动板2上,定位板403固定在固定座402的下端,相机镜头模组401的上端固定在固定座402上,相机镜头模组401的中部位置通过限位环404固定在定位板403上,为了使相机镜头模组401固定的更牢固,不会因晃荡而影响检测,对限位环404的也作了限定,限位环404是一种半圆形组件,它与相机镜头模组401是相适配的,而且在限位环404的两端开设有固定孔,在定位板403侧面的两端也开设有固定孔,且限位环404上的固定孔与定位板403上的固定孔是相适配的,通过固定孔用螺钉将限位环404的两端与定位板403固定,从而将相机镜头模组401固定。
[0022]相机镜头装置4的上下滑动距离的微调是通过安装座1侧边的微分调节机构3实现的,微分调节机构3包括微分头301和固定块302,其中固定块302固定在固定座402的侧面,微分头301安装在固定块302上,微分头301的上端与相机滑动板2固定连接,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度相机镜头微调机构,包括安装座(1)和相机镜头装置(4),其特征在于,所述安装座(1)上设置有相机滑动板(2),所述安装座(1)和所述相机滑动板(2)之间设置有直线导轨(5)和滑动块(6),所述安装座(1)和所述相机滑动板(2)与直线导轨(5)和滑动块(6)的接触面上都分别开设有凹槽,所述直线导轨(5)固定在所述安装座(1)上的凹槽里,所述滑动块(6)固定在所述相机滑动板(2)上的凹槽里,所述滑动块(6)与所述直线导轨(5)滑动连接,所述安装座(1)的侧边还设置有微分调节机构(3),所述相机镜头装置(4)安装在所述相机滑动板(2)上。2.根据权利要求1所述的一种高精度相机镜头微调机构,其特征在于,所述相机滑动板(2)和所述安装座(1)上凹槽的深度都小于所述滑动块(6)的厚度。3.根据权利要求1所述的一种高精度相机镜头微调机构,其特征在于,所述直线导轨(5)的长度与所述凹槽的长度相适配,两个所述滑动块(6)的长度相加再加上两个所述滑动块(6)之间的间距小于所述直线导轨(5)的长度。4.根据权利要求1所述的一种高精度相机镜头微调机构,其特征在于,所述相机滑动板(2)上设置有夹紧板(7),所述相机滑动板(2)上开设有长圆孔,所述安装座(1)上开设有固定孔,所述长圆孔与...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨勇
申请(专利权)人:苏州矩浪科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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