一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置，包括除水器、冷凝器、冷凝液接收器、阳离子交换树脂塔、阴离子交换树脂塔和混配槽，所述除水器的进口与有机废气的排气管连通，所述除水器的出口与所述冷凝器的进口连接，所述冷凝器的出口与所述冷凝液接收器的进口连接，所述冷凝液接收器出口依次与所述阳离子交换树脂塔、阴离子交换树脂塔连接，所述阴离子交换树脂塔与所述混配槽连接，本实用新型专利技术通过设置主体，主体内部设置冷凝管，废气通过冷凝管进行冷凝，通过设置导板，使得主体内部冷凝水的流动方向与冷凝管相反，从而加速冷凝效率。从而加速冷凝效率。从而加速冷凝效率。

【技术实现步骤摘要】
一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置


[0001]本技术涉及有机废气处理
，具体领域为一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置。

技术介绍

[0002]目前，国内半导体晶圆制造厂及TFT
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LCD面板光电制造业面板制程中需要使用大量有机溶液产生大量有机废气(VOCs)。其中，光刻胶剥离工序是产生有机废气的主要工序之一。目前所用的光刻胶剥离液(stripper)主要成分为高沸点而且几乎全溶于水的有机溶液，如乙醇胺(MEA)，二甲基亚砜(DMSO)，乙二醇单丁醚(BDG)等。有机废气对人体直接影响很大，由于有机废气具有渗透、脂及挥发等作用，人体与有机废气接触或经呼吸消化系统造成危害。某些有机废气不但容易造成作业环境空气品质恶化，而且经光化作用所造成二次污染。所以必须加以处理后方可直接排放到大气中。焚烧法是目前被各面板厂所广泛采用的有机废气处理方法。该方法由于废气中有机成分浓度通常不足以提供燃烧能量，因此保持高温的燃料费用十分可观。
[0003]因此，如何有效节省操作成本以实现有机废气的有效回收为半导体和平板行业生产中需要处理有机废气的一重要课题，为此，提出一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置，包括除水器、冷凝器、冷凝液接收器、阳离子交换树脂塔、阴离子交换树脂塔和混配槽，所述除水器的进口与有机废气的排气管连通，所述除水器的出口与所述冷凝器的进口连接，所述冷凝器的出口与所述冷凝液接收器的进口连接，所述冷凝液接收器出口依次与所述阳离子交换树脂塔、阴离子交换树脂塔连接，所述阴离子交换树脂塔与所述混配槽连接，所述除水器用于除去废气中水汽，所述冷凝器用于对废弃进行降温，所述阳离子交换树脂塔和阴离子交换树脂塔，用以除去冷凝液和吸收剂中的微量金属元素，起到纯化金属杂质的目的，所述冷凝器包括主体，所述主体呈板状，所述主体的内部设有矩形腔体，所述矩形腔体的内部设有冷凝管，所述矩形腔体的内部设有导板。
[0006]优选的，所述冷凝管的两端分别贯穿所述主体的侧壁，所述冷凝管对应位于所述矩形腔体内部的部分呈蛇形分布。
[0007]优选的，所述导板的数量为多个，所述导板分别位于相邻的两部分所述冷凝管之间，所述导板沟通构成蛇行通道，所述冷凝管穿过所述蛇行通道，所述主体的侧壁对应所述蛇行通道的两端分别贯穿设有进水管和出水管。
[0008]优选的，所述冷凝器的数量为两个，两个所述冷凝器的所述冷凝管相连接。
[0009]优选的，其中远离所述除水器一端的所述冷凝器对应的所述出水管通过导管与另一个所述冷凝器对应的所述进水管相连。
[0010]优选的，所述主体的外表面设有散热鳍片。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置，通过设置除水器、冷凝器、冷凝液接收器、阳离子交换树脂塔、阴离子交换树脂塔和混配槽，除水器用于除去废气中水汽，冷凝器用于对废弃进行降温，阳离子交换树脂塔和阴离子交换树脂塔，用以除去冷凝液和吸收剂中的微量金属元素，起到纯化金属杂质的目的，最终通过混配槽对冷凝液进行混配从而获得成品，通过设置主体，主体内部设置冷凝管，废气通过冷凝管进行冷凝，通过设置导板，使得主体内部冷凝水的流动方向与冷凝管相反，从而加速冷凝效率。
附图说明
[0012]图1为本技术的结构示意图；
[0013]图2为本技术的冷凝器结构示意图；
[0014]图3为本技术的冷凝器主视剖面结构示意图；
[0015]图4为本技术的冷凝器右视剖面结构示意图。
[0016]图中：1
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除水器、2
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冷凝液接收器、3
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阳离子交换树脂塔、4
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阴离子交换树脂塔、5
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混配槽、6
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主体、7
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矩形腔体、8
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冷凝管、9
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导板、10
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进水管、 11
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出水管、12
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散热鳍片。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置，包括除水器1、冷凝器、冷凝液接收器2、阳离子交换树脂塔3、阴离子交换树脂塔4和混配槽5，所述除水器1的进口与有机废气的排气管连通，所述除水器1的出口与所述冷凝器的进口连接，废气率先经过除水器1进行除水操作，将废气中水汽清除，所述冷凝器的出口与所述冷凝液接收器2的进口连接，被清除水汽的废气流入冷凝液进行冷凝，所述冷凝液接收器2出口依次与所述阳离子交换树脂塔3、阴离子交换树脂塔 4连接，所述阴离子交换树脂塔4与所述混配槽5连接，所述除水器1用于除去废气中水汽，所述冷凝器用于对废弃进行降温，所述阳离子交换树脂塔3 和阴离子交换树脂塔4，用以除去冷凝液和吸收剂中的微量金属元素，起到纯化金属杂质的目的，完成处理后的冷凝液通过分光光度计检测其成分，最终通过混配槽55对冷凝液的成分进行调配，从而形成成品，所述冷凝器包括主体6，如图2所示，所述主体6呈板状，所述主体6的内部设有矩形腔体7，所述矩形腔体7的内部设有冷凝管8，废气通过所述冷凝管8主体，在冷凝管 8内进行冷凝，所述矩形腔体7的内部设有导板9，所述导板9用于改变主体 6内部冷却水的流向。
[0019]具体而言，如图3所示，所述冷凝管8的两端分别贯穿所述主体6的侧壁，所述冷凝管8对应位于所述矩形腔体7内部的部分呈蛇形分布，从而延长了冷凝管8的长度，使得废气
在冷凝管8中停留较长时间，同时增大了废气与冷却水换热的面积以及时间，加快冷凝效率。
[0020]具体而言，所述导板9的数量为多个，所述导板9分别位于相邻的两部分所述冷凝管8之间，所述导板9沟通构成蛇行通道，所述冷凝管8穿过所述蛇行通道，所述主体6的侧壁对应所述蛇行通道的两端分别贯穿设有进水管10和出水管11，通过所述进水管10箱主体6内部注入冷凝水，换热后有出水管11流出，其中进水管10位于主体6的地步，确保冷却水可充满主体6 的内部，保证冷却水与冷凝管8之间的换热，而废气在冷凝管8中的流动方向与冷却水的流动方向反向设置，从而加速换热效率。
[0021]具体而言，所述冷凝器的数量本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置，包括除水器(1)、冷凝器、冷凝液接收器(2)、阳离子交换树脂塔(3)、阴离子交换树脂塔(4)和混配槽(5)，所述除水器(1)的进口与有机废气的排气管连通，所述除水器(1)的出口与所述冷凝器的进口连接，所述冷凝器的出口与所述冷凝液接收器(2)的进口连接，所述冷凝液接收器(2)出口依次与所述阳离子交换树脂塔(3)、阴离子交换树脂塔(4)连接，所述阴离子交换树脂塔(4)与所述混配槽(5)连接，其特征在于：所述除水器(1)用于除去废气中水汽，所述冷凝器用于对废弃进行降温，所述阳离子交换树脂塔(3)和阴离子交换树脂塔(4)，用以除去冷凝液和吸收剂中的微量金属元素，起到纯化金属杂质的目的，所述冷凝器包括主体(6)，所述主体(6)呈板状，所述主体(6)的内部设有矩形腔体(7)，所述矩形腔体(7)的内部设有冷凝管(8)，所述矩形腔体(7)的内部设有导板(9)。2.根据权利要求1所述的一种在线循环利用盐水冷凝器剥离液有机废气的装置，其特征在于：所述冷凝管(8)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宏伟，徐斌，潘正刚，
申请(专利权)人：新疆金盛汇化工有限公司，
类型：新型
国别省市：