光照射装置、光照射方法、光照射装置的动作方法及程序制造方法及图纸

本公开的技术提供一种在使用光固化树脂制造光学元件时，能够降低由光固化树脂的固化速度引起的变形的光照射装置、光照射方法及程序。一种光照射装置，其包括：扫描部，对光固化树脂扫描光；以及变更部，改变光的强度，该光照射装置中，扫描部通过对光固化树脂扫描光而由光固化树脂产生自由基，在自由基聚合完成之前，对光固化树脂重叠扫描光，变更部针对每个划分区域改变如下的光的强度，该光是由扫描部对通过划分光固化树脂得到的多个划分区域中的每一个进行扫描的光。的每一个进行扫描的光。的每一个进行扫描的光。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光照射装置、光照射方法、光照射装置的动作方法及程序


[0001]本公开的技术涉及光照射装置、光照射方法、光照射装置的动作方法及程序。

技术介绍

[0002]专利文献1中公开了对涂布的光固化性树脂进行曝光来使其固化的树脂固化方法。专利文献1中记载的树脂固化方法中，以使光固化性树脂曝光的区域与光固化性树脂的固化预定面积相比成为微小面积的方式，用掩模限制曝光用照射光，并使曝光区域相对于光固化性树脂相对移动而扫描1次光固化性树脂的固化预定面积。
[0003]专利文献2中公开了通过在紫外线光源与光学元件之间插入中央部与周边部的透射率不同的滤光器而生成照射光的强度分布，从而使树脂层的中央部与周边部的照度分布均匀化的方法。
[0004]专利文献3中公开了通过在紫外线光源与光学元件之间配置液晶面板，并控制液晶面板的透射时间和遮光时间而生成照射时间有面内分布，使树脂层的中央部与周边部的最终固化时间均匀的方法。
[0005]以往技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2003/>‑
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光照射装置，其包括：照射部，对光固化树脂照射光；以及变更部，改变所述光的强度，在所述光照射装置中，所述照射部通过对所述光固化树脂照射所述光而由所述光固化树脂产生自由基，在所述自由基的聚合反应停止之前，对所述光固化树脂重叠照射所述光，所述变更部针对每个划分区域改变由所述照射部对多个所述划分区域中的每一个照射的所述光的强度，其中多个所述划分区域是通过划分所述光固化树脂得到的。2.一种光照射装置，其包括：照射部，对光固化树脂照射光；以及变更部，改变所述光的强度，在所述光照射装置中，所述照射部通过对所述光固化树脂照射所述光而由所述光固化树脂产生自由基，在所述自由基的生长中，对所述光固化树脂重叠照射所述光，所述变更部针对每个划分区域改变由所述照射部对多个所述划分区域中的每一个照射的所述光的强度，其中多个所述划分区域是通过划分所述光固化树脂得到的。3.根据权利要求1或2所述的光照射装置，其中，所述照射部对所述光固化树脂扫描所述光。4.根据权利要求1至3中任一项所述的光照射装置，其中，所述照射部在达到所述自由基的寿命之前对所述光固化树脂重叠照射所述光。5.根据权利要求1至4中任一项所述的光照射装置，其中，所述照射部对所述光固化树脂的整个区域照射所述光。6.根据权利要求1至5中任一项所述的光照射装置，其还包括接收部，接收表示对所述光固化树脂照射的所述光的强度分布的分布信息，所述变更部根据由所述接收部接收的所述分布信息改变所述光的强度。7.根据权利要求6所述的光照射装置，其中，所述光固化树脂附加于光学元件，所述光的强度分布由所述光学元件的光学特性确定。8.根据权利要求7所述的光照射装置，其中，所述光固化树脂夹在支撑所述光学元件的支撑部件与所述光学元件之间，所述光的强度分布由所述光学元件的光学特性和所述支撑部件的光学特性确定。9.根据权利要求7或8所述的光照射装置，其中，所述光学元件为透镜。10.根据权利要求1至9中任一项所述的光照射装置，其中，所述光固化树脂为紫外线固化树脂。11.一种光照射方法，其包括：照射步骤，对光固化树脂照射光；以及变更步骤，改变所述光的强度，在所述光照射方法中，
在所述照射步骤中，通过对所述光固化树脂照射所述光而由所述光固化树脂产生自由基，在所述自由基的聚合反应停止之前，对所述光固化树脂重叠照射所述光，在所述变更步骤中，针对每个划分区域改变由所述照射步骤对多个所述划分区域中的每一个照射的所述光的强度，其中多个所述划分区域是通过划分所述光固化树脂得到的。12.一种光照射方法，其包括：照射步骤，对光固化树脂照射光；以及变更步骤，改变所述光的强度，在所述光照射方法中，在所述照射步骤中，通过对所述光固化树脂照射所述光而由所述光固化树脂产生自由基，在所述自由基的生长中，对所述光固化树脂重叠照射所述光，在所述变更步骤中，针对每个划分区域改变由所述照射步骤对多个所述划分区域中的每一个照射的所述光的强度，其中多个所述划分区域是通过划分所述光固化树脂得到的。13.一种程序，其用于使计算机作为权利要求1至10中任一项所述的光照射装置中包含的所述变更部发挥作用。14.一种光照射装置，其包括：照射部，具备对从光源射出的光进行调制的光调制元件，经由所述光调制元件对光固化树脂照射从所述光源射出的所述光；以及控制部，通过进行所述光调制元件的控制，使朝向所述光固化树脂的所述光的照射能量以3级以上的多级分布。15.根据权利要求14所述的光照射装置，其中，所述光调制元件是具备能够改变从所述光源射出的所述光的反射方向的多个反射部件的反射方向变更元件，或者是具有能够改变从所述光源射出的所述光的透射率的多个透光率变更区域的透射率变更元件，所述照射部将从所述光源射出的所述光经由所述多个反射部件或所述多个透光率变更区域照射到光固化树脂，所述控制部进行基于所述反射部件的改变所述光的反射方向的控制或者进行改变所述透光率变更区域的所述透射率的控制。16.根据权利要求14或15所述的光照射装置，其中，所述控制是使所述照射能量的分布与所述光固化树脂的特性相应的控制。17.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：中林耕基，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：