大面积无缝母板和压印印模制造方法技术

本公开内容的实施方式总体涉及图案复制、压印光刻，并且更特别地涉及用于无接缝地形成大面积压印的方法和设备。本文公开的方法大体包括用填料材料填充在母板对之间的接缝，使得所述接缝与所述母板的具有设置在其上的多个特征的表面齐平。特征的表面齐平。特征的表面齐平。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】大面积无缝母板和压印印模制造方法


[0001]本公开内容的实施方式总体涉及图案复制、压印光刻，并且更特别地涉及用于无接缝地形成大面积压印的方法和设备。

技术介绍

[0002]压印光刻是接触图案化方法，其可用于制造纳米级图案。一般来讲，压印光刻通过形成图案的模板开始。液体，诸如光刻胶，沉积在要图案化的基板上。然后，将图案化模板压靠在液体上以将图案压印在基板上。然后，使图案化基板热固化或通过使用紫外光使其固化，以硬化在基板上的光刻胶中的图案化。
[0003]然而，常规的压印光刻方法和设备具有各种挑战。例如，常规的基于硅的压印光刻方法不适于大面积基板(大于300mm)，诸如显示装置，因为常规地使用的母板不够大，以致无法图案化大面积显示器。因此，一些常规的压印方法使用了已经彼此粘附的多个母板。然而，在母板之间和周边处形成了接缝，该接缝然后转移到了在基板上的图案化中。在接缝和周边处的图案化不规则性可能会导致装置效率降低并且甚至可能会导致装置失效。例如，在光导面板(LGP)的情况下，当接缝压印到LGP中时，它会成为可将光引导或耦合出LGP的表面特征。在液晶显示器(LCD)的情况下，当接缝压印到LCD中时，观察者将看到在显示器中的接缝或可能会导致Mura缺陷。
[0004]因此，需要可用于压印大面积基板的改进的压印光刻方法和设备。

技术实现思路

[0005]本公开内容的实施方式总体涉及图案复制、压印光刻，并且更特别地涉及用于无接缝地形成大面积压印的方法和设备。本文公开的方法大体包括用填料材料填充在母板对之间的接缝，使得所述接缝与所述母板的具有设置在其上的多个特征的表面齐平。
[0006]在一个实施方式中，一种形成无缝母板的方法包括：在基板上沉积第一防粘层；使多个母板在所述基板上对准，每个母板具有从第一表面延伸的多个特征，所述多个母板的所述第一表面与所述第一防粘层共形；以及将所述多个母板的第二表面粘附到背板，所述第二表面与所述第一表面相对。所述多个母板中的相邻母板具有在两者间从所述第一防粘层延伸到所述背板的接缝。所述方法进一步包括：用填料材料填充在所述多个母板中的所述相邻母板之间的所述接缝；使所述填料材料固化；以及从所述第一防粘层和所述基板移除所述多个母板。
[0007]在另一个实施方式中，一种形成无缝母板的方法包括：将多个母板粘附到背板，每个母板具有从第一表面延伸的多个特征，并且所述多个母板中的每对具有在两者间的接缝。所述多个母板的与所述第一表面相对的第二表面粘附到所述背板。所述方法进一步与包括：在所述多个母板中的每者的某一部分上方沉积掩蔽膜，所述部分设置在所述多个母板中的每者的所述第一表面上；用填料材料填充在所述多个母板中的每对之间的所述接缝；使所述填料材料固化；以及移除所述遮蔽膜。
[0008]在又一个实施方式中，一种形成无缝母板的方法包括：将多个母板粘附到背板，每个母板具有从第一表面延伸的多个特征，并且所述多个母板中的每对具有在两者间的接缝。所述多个母板的与所述第一表面相对的第二表面粘附到所述背板。所述方法进一步包括用填料材料填充在所述多个母板中的每对之间的所述接缝。填充在每对母板之间的所述接缝包括在所述多个母板中的每者的所述第一表面上沉积过量填料材料。所述方法进一步包括：使所述填料材料和所述过量填料材料固化；以及移除设置在所述多个母板中的每者的所述第一表面上的所述过量填料材料。
[0009]在一个实施方式中，一种形成无缝印模的方法包括：将多个母板粘附到背板，每个母板具有从第一表面延伸的多个特征，并且所述多个母板中的每对具有在两者间的接缝。所述多个母板的与所述第一表面相对的第二表面粘附到所述背板。所述方法进一步包括：将挡缝条放置在每个接缝上方，所述挡缝条与邻近所述接缝设置的所述多个母板中的每对的所述第一表面接触；在所述多个母板中的每者的所述第一表面以及所述挡缝条上方沉积印模材料；使所述印模材料固化；以及从所述多个母板移除所述印模材料以形成无缝印模，所述无缝印模包括挡缝条。
附图说明
[0010]为了可详细地理解本公开内容的上述特征的方式，可参考实施方式来得到以上简要地概述的本公开内容的更特别的描述，其中一些实施方式示出在附图中。然而，需注意，附图仅示出了示例性实施方式，并且因此不应视为对其范围的限制，并且可允许其他等效实施方式。
[0011]图1A
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1F描绘了根据本文公开的实施方式的压印印模制造方法的各种阶段。
[0012]图2A
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2G描绘了根据本文公开的实施方式的形成用于压印印模制造的无缝母板的各种实施方式。
[0013]图2H示出了根据本文公开的实施方式的用于压印印模制造的成型无缝母板。
[0014]图3A
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3C描绘了根据本文公开的实施方式的使用掩模膜形成用于压印印模制造的无缝母板的各种实施方式。
[0015]图4A
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4B描绘了根据本文公开的实施方式的通过移除过量填料材料来形成用于压印印模制造的无缝母板的各种实施方式。
[0016]图5A
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5B描绘了根据本文公开的实施方式的形成无缝印模的各种实施方式。
[0017]图5C描绘了根据本文公开的实施方式的无缝印模的实施方式。
[0018]图6A示出了根据本文公开的实施方式的在母板上特征的格形布置。
[0019]图6B
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6E示出了根据本文公开的实施方式的各种形状的母板。
[0020]为了便于理解，已经尽可能地使用相同的附图标记标示各图共有的相同元件。设想的是，一个实施方式的要素和特征可有益地并入其他实施方式，而无需进一步叙述。
具体实施方式
[0021]本公开内容的实施方式总体涉及图案复制、压印光刻，并且更特别地涉及用于无接缝地形成大面积压印的方法和设备。本文公开的方法大体包括用填料材料填充在母板对之间的接缝，使得所述接缝与所述母板的具有设置在其上的多个特征的表面齐平。
[0022]图1A
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1F描绘了根据本文公开的实施方式的压印印模制造方法的各种阶段并且是横截面图。该方法通过使用粘结材料104将多个母板102粘附到背板106上开始。在图1A所示的实施方式中，两个母板102粘附到背板106。母板102在其上具有特征110的图案。图1D类似于图1A。图1D示出了其中多个母板102在其上具有特征190的替代图案的实施方式。图1D的特征190的替代图案与图1A的特征110的图案相反。特征190的替代图案设置在母板202的表面136下方，而不是像特征110的图案那样在母板202的表面136上方延伸。尽管被示出为设置在相同深度处，但是图1A的特征110中的每者和图1D的特征190中的每者可设置在不同深度处。
[0023]接缝112形成在两个母板102之间。如图1A所示，接缝112填充有填料材料120。一般来讲，填料材料120将不以造成完全地平坦的表面的方式填充接缝112。而是，如果接缝112未填本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种形成无缝母板的方法，包括：在基板上沉积第一防粘层；使多个母板在所述基板上对准，每个母板具有从第一表面延伸的多个特征，所述多个母板的所述第一表面与所述第一防粘层共形；将所述多个母板的第二表面粘附到背板，所述第二表面与所述第一表面相对，其中所述多个母板中的相邻母板具有在两者间从所述第一防粘层延伸到所述背板的接缝；用填料材料填充在所述多个母板中的所述相邻母板之间的所述接缝；使所述填料材料固化；和从所述第一防粘层和所述基板移除所述多个母板。2.如权利要求1所述的方法，进一步包括：在从所述防粘层和所述基板移除所述多个母板之后，在所述多个母板的所述特征和所述第一表面上沉积第二防粘层；和用粘附到所述背板的所述多个母板压印印模材料以形成无缝印模。3.如权利要求1所述的方法，其中所述背板包括延伸穿过所述背板的多个过孔，所述多个过孔中的至少一个过孔设置在每个接缝上方。4.如权利要求3所述的方法，其中每个接缝是通过所述至少一个过孔用所述填料材料填充的。5.如权利要求4所述的方法，其中所述至少一个过孔与每个接缝接触并且垂直于所述多个母板中的每者的所述第二表面延伸穿过所述背板。6.如权利要求4所述的方法，其中所述至少一个过孔与每个接缝接触并且平行于所述多个母板中的每者的所述第二表面延伸穿过所述背板。7.一种形成无缝母板的方法，包括：将多个母板粘附到背板，每个母板具有从第一表面延伸的多个特征，所述多个母板中的每对具有在两者间的接缝，其中所述多个母板的与所述第一表面相对的第二表面粘附到所述背板；在所述多个母板中的每者的某一部分上方沉积掩蔽膜，所述部分设置在所述多个母板中的每者的所述第一表面上；用填料材料填充在所述多个母板中的每对之间的所述接缝；使所述填料材料固化；和移除所述遮蔽膜。8.如权利要求7所述的方法，进一步包括：在移除所述遮蔽膜之后，在...

【专利技术属性】
技术研发人员：曼尼瓦南，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：