用于等离子体放电设备的电极组件制造技术

提供了一种用于在等离子体放电设备的等离子体室中产生等离子体的组合电极组件。组合电极组件包括壳体、放电电极和密封组合物。壳体由介质材料制成并且包括至少一个侧壁和限定封闭端部的端壁。放电电极安装在壳体内并结合到端壁。密封组合物围绕放电电极并在壳体内延伸。延伸。延伸。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于等离子体放电设备的电极组件


[0001]本
总体而言涉及等离子体放电设备，并且特别地涉及用于此类设备的组合电极(compound electrode)组件。

技术介绍

[0002]本领域已知多种类型的等离子体放电。在此类设备中，电极可以用于在等离子体室中生成相对稳定的等离子体。
[0003]本领域仍然需要能够提供对可用电极的改进并且可以用于不同应用的电极。

技术实现思路

[0004]根据一个方面，提供了一种用于在等离子体放电设备的等离子体室中生成等离子体的组合电极组件，该组合电极组件包括：由介质材料制成的壳体，该壳体包括至少一个侧壁和限定封闭端部的端壁；安装在壳体中的放电电极，该放电电极结合到端壁；以及密封组合物，该密封组合物围绕所述放电电极并在所述壳体内延伸。
[0005]在一些实施方式中，介质材料选自石英、硼硅酸盐、陶瓷和在一些实施方式中，介质材料选自石英、硼硅酸盐、陶瓷和
[0006]在一些实施方式中，至少一个侧壁是管状侧壁。
[0007]在一些实施方式中，端壁是等离子体放电设备的等离子体生成机构的介质阻挡部。
[0008]在一些实施方式中，端壁突出到等离子体室内。
[0009]在一些实施方式中，端壁面向等离子体室。
[0010]在一些实施方式中，放电电极由铝或铂制成。
[0011]在一些实施方式中，放电电极利用沿着端壁的内侧表面延伸的传导组合物层或导电粘合剂而结合到端壁。
[0012]在一些实施方式中，放电电极包括盘形基部部分和柱形引导部分。
[0013]在一些实施方式中，密封组合物将放电电极结合到侧壁。
[0014]在一些实施方式中，密封组合物由选自硅基油灰、具有玻璃填料的陶瓷、环氧油灰、硅基材料和陶瓷材料的材料制成。
[0015]在一些实施方式中，组合电极组件还包括一对稳定电极，每个稳定电极位于壳体内并与放电电极并排结合到端壁的内侧表面。
[0016]在一些实施方式中，稳定电极通过导电粘合剂或传导组合物层而结合到端壁的内侧表面。
[0017]在一些实施方式中，稳定电极是弧形的并且沿着侧壁遵循壳体的内边界。
[0018]在一些实施方式中，组合电极组件还包括在壳体的外部并沿着侧壁安装的电子注入电极，该电子注入电极被配置为使得自由电子能够注入等离子体室中。
[0019]在一些实施方式中，电子注入电极是L形的并且包括沿着壳体延伸的第一分支部
和突出到等离子体室内的第二分支部。
[0020]在一些实施方式中，电子注入电极通过导电粘合剂、传导组合物层或陶瓷基结合组合物而安装在壳体的外部上。
[0021]根据另一方面，提供了一种等离子体放电设备，包括：由气体流动路径穿过的等离子体室，该气体流动路径允许气体样品(gas sample)流动通过等离子体室；以及至少一个组合电极组件，所述至少一个组合电极组件中的每个组合电极组件包括：由介质材料制成的壳体，该壳体包括至少一个侧壁和限定封闭端部的端壁；安装在壳体中的放电电极，该放电电极结合到端壁；以及密封组合物，该密封组合物围绕放电电极并在壳体内延伸。
[0022]在一些实施方式中，至少一个组合电极组件是一对组合电极组件。
[0023]在一些实施方式中，一对组合电极组件由可调节的电极间间距分开。
[0024]在一些实施方式中，等离子体放电设备还包括一对套管，每个组合电极组件被安装并密封到一对套管中的对应一个套管。
[0025]在一些实施方式中，每个套管由石墨制成。
[0026]在一些实施方式中，等离子体放电设备还包括一对碟形弹簧，每个碟形弹簧与一对组合电极组件中的对应一个组合电极组件机械接触。
[0027]在一些实施方式中，介质材料选自石英、硼硅酸盐、陶瓷和在一些实施方式中，介质材料选自石英、硼硅酸盐、陶瓷和
[0028]在一些实施方式中，至少一个侧壁是管状侧壁。
[0029]在一些实施方式中，端壁是等离子体放电设备的等离子体生成机构的介质阻挡部。
[0030]在一些实施方式中，端壁突出到等离子体室内。
[0031]在一些实施方式中，端壁面向等离子体室。
[0032]在一些实施方式中，放电电极由铝或铂制成。
[0033]在一些实施方式中，放电电极利用沿着端壁的内侧表面延伸的传导组合物层或导电粘合剂而结合到端壁。
[0034]在一些实施方式中，放电电极包括盘形基部部分和柱形引导部分。
[0035]在一些实施方式中，密封组合物将放电电极结合到侧壁。
[0036]在一些实施方式中，密封组合物由选自硅基油灰、具有玻璃填料的陶瓷、环氧油灰、硅基材料和陶瓷材料的材料制成。
[0037]在一些实施方式中，至少一个组合电极组件中的每个组合电极组件还包括一对稳定电极，每个稳定电极位于壳体内并且与放电电极并排结合到端壁的内侧表面。
[0038]在一些实施方式中，稳定电极通过导电粘合剂或传导组合物层而结合到端壁的内侧表面。
[0039]在一些实施方式中，稳定电极是弧形的并且沿着侧壁遵循壳体的内边界。
[0040]在一些实施方式中，等离子体放电设备还包括在壳体的外部并沿着侧壁安装的电子注入电极，该电子注入电极被配置为使得自由电子能够注入等离子体室中。
[0041]在一些实施方式中，电子注入电极是L形的并且包括沿着壳体延伸的第一分支部和突出到等离子体室内的第二分支部。
[0042]在一些实施方式中，电子注入电极通过导电粘合剂、传导组合物层或陶瓷基结合组合物而安装在壳体的外部上。
[0043]根据另一方面，提供了一种等离子体放电设备，包括：等离子体室；中空电极组件，该中空电极组件包括：由绝缘材料制成的杆，该杆被纵向延伸穿过该杆的气体通道穿过以将气体样品引入气室；以及至少一个其他电极组件。
[0044]在一些实施方式中，至少一个其他电极组件是组合电极组件，该组合电极组件延伸穿过气体通道并且包括：由介质材料制成的壳体，该壳体包括至少一个侧壁和限定封闭端部的端壁；安装在所述壳体中的放电电极，所述放电电极结合到所述端壁；以及密封组合物，该密封组合物在壳体内延伸并围绕放电电极。
[0045]在一些实施方式中，介质材料选自石英、硼硅酸盐、陶瓷和中，介质材料选自石英、硼硅酸盐、陶瓷和
[0046]在一些实施方式中，至少一个侧壁是管状侧壁。
[0047]在一些实施方式中，端壁是等离子体放电设备的等离子体生成机构的介质阻挡部。
[0048]在一些实施方式中，端壁突出到等离子体室内。
[0049]在一些实施方式中，端壁面向等离子体室。
[0050]在一些实施方式中，放电电极由铝或铂制成。
[0051]在一些实施方式中，放电电极利用沿着端壁的内侧表面延伸的传导组合物层或导电粘合剂而结合到端壁。
[0052]在一些实施方式中，放电电极包括盘形基本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在等离子体放电设备的等离子体室中生成等离子体的组合电极组件，所述组合电极组件包括：由介质材料制成的壳体，所述壳体包括至少一个侧壁和限定封闭端部的端壁；安装在所述壳体中的放电电极，所述放电电极结合到所述端壁；以及密封组合物，所述密封组合物围绕所述放电电极并在所述壳体内延伸。2.根据权利要求1所述的组合电极组件，其中，所述介质材料选自石英、硼硅酸盐、陶瓷和3.根据权利要求1或2所述的组合电极组件，其中，所述至少一个侧壁是管状侧壁。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的组合电极组件，其中，所述端壁是所述等离子体放电设备的等离子体生成机构的介质阻挡部。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的组合电极组件，其中，所述端壁突出到所述等离子体室内。6.根据权利要求1至4中的任一项所述的组合电极组件，其中，所述端壁面向所述等离子体室。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的组合电极组件，其中，所述放电电极由铝或铂制成。8.根据权利要求1至7中的任一项所述的组合电极组件，其中，所述放电电极利用沿所述端壁的内侧表面延伸的传导组合物层或导电粘合剂而结合到所述端壁。9.根据权利要求1至8中的任一项所述的组合电极组件，其中，所述放电电极包括盘形基部部分和柱形引导部分。10.根据权利要求1至9中的任一项所述的组合电极组件，其中，所述密封组合物将所述放电电极结合到所述侧壁。11.根据权利要求1至10中的任一项所述的组合电极组件，其中，所述密封组合物由选自硅基油灰、具有玻璃填料的陶瓷、环氧油灰、硅基材料和陶瓷材料的材料制成。12.根据权利要求1至11中的任一项所述的组合电极组件，还包括一对稳定电极，每个稳定电极位于所述壳体内并与所述放电电极并排结合到所述端壁的内侧表面。13.根据权利要求12所述的组合电极组件，其中，所述稳定电极通过导电粘合剂或传导组合物层而结合到所述端壁的所述内侧表面。14.根据权利要求12或13所述的组合电极组件，其中，所述稳定电极是弧形的并沿着所述侧壁遵循所述壳体的内边界。15.根据权利要求1至14中的任一项所述的组合电极组件，还包括在所述壳体的外部并沿着所述侧壁安装的电子注入电极，所述电子注入电极被配置为使得自由电子能够注入所述等离子体室中。16.根据权利要求15所述的组合电极组件，其中，所述电子注入电极是L形的并且包括沿所述壳体延伸的第一分支部和突出到所述等离子体室内的第二分支部。17.根据权利要求15或16所述的组合电极组件，其中，所述电子注入电极通过导电粘合剂、传导组合物层或陶瓷基结合组合物而安装在所述壳体的所述外部上。18.一种等离子体放电设备，包括：
由气体流动路径穿过的等离子体室，所述气体流动路径允许气体样品流动通过所述等离子体室；以及至少一个组合电极组件，所述至少一个组合电极组件中的每个组合电极组件均包括：由介质材料制成的壳体，所述壳体包括至少一个侧壁和限定封闭端部的端壁；安装在所述壳体中的放电电极，所述放电电极结合到所述端壁；以及密封组合物，所述密封组合物围绕所述放电电极并在所述壳体内延伸。19.根据权利要求18所述的等离子体放电设备，其中，所述至少一个组合电极组件是一对组合电极组件。20.根据权利要求19所述的等离子体放电设备，其中，所述一对组合电极组件由可调节的电极间间距分开。21.根据权利要求19或20所述的等离子体放电设备，还包括一对套管，每个组合电极组件被安装并密封到所述一对套管中的对应一个套管。22.根据权利要求21所述的等离子体放电设备，其中，每个套管由石墨制成。23.根据权利要求21或22所述的等离子体放电设备，还包括一对碟形弹簧，每个碟形弹簧与所述一对组合电极组件中的对应一个组合电极组件机械接触。24.根据权利要求18至23中的任一项所述的等离子体放电设备，其中，所述介质材料选自石英、硼硅酸盐、陶瓷和25.根据权利要求18至24中的任一项所述的等离子体放电设备，其中，所述至少一个侧壁是管状侧壁。26.根据权利要求18至25中的任一项所述的等离子体放电设备，其中，所述端壁是所述等离子体放电设备的等离子体生成机构的介质阻挡部。27.根据权利要求18至26中的任一项所述的等离子体放电设备，其中，所述端壁突出到所述等离子体室内。28.根据权利要求18至27中的任一项所述的等离子体放电设备，其中，所述端壁面向所述等离子体室。29.根据权利要求18至28中的任一项所述的等离子体放电设备，其中，所述放电电极由铝或铂制成。30.根据权利要求18至29中的任一项所述的等离子体放电设备，其中，所述放电电极利用沿所述端壁的内侧表面延伸的传导组合物层或导电粘合剂而结合到所述端...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊夫斯，
申请(专利权)人：机械解析有限公司，
类型：发明
国别省市：