一种用于芯片平面度的检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于芯片平面度的检测装置，包括机座，所述机座上设置有工作台，工作台上设置有扫描运动装置和放板装置，所述扫描运动装置上设置有扫描装置，所述工作台上设置有用于驱动放板装置在工作台上滑动的第一横向驱动装置，所述工作台上还设置有用于驱动扫描运动装置滑动的第二横向驱动，所述扫描运动装置上设置有用于驱动扫描装置在扫描运动装置上滑动的纵向驱动装置。该平面度检测装置实现了自动化的检测，检测过程中无需人工参与，大大提高了效率，同时，也使得精确度进一步的提高。的提高。的提高。

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片平面度的检测装置


[0001]本技术涉及检测装置领域，具体涉及一种用于芯片平面度的检测装置。

技术介绍

[0002]芯片生产厂家在生产完产品后，必须要对产品做全部检测的流程。因为生产厂家的客户在验收客户产品的时候会同样做产品的全部检测。如果在检测过程中，有千分之三的不合格产品，则生产厂家的客户就会全部退货。这样会导致生产厂家在经济和时间上的巨大损失。同时也会使客户对生产厂家的质量控制体系产生不信任。目前生产厂家的检测流程是完全通过人工配合一些量检具在做检测，无论从效率和准确率上，都远远不能达到要求，同时生产厂家的产量越大，在检测环节出现的问题就越大。这对生产厂家来说是必须突破的瓶颈。
[0003]现有技术中，也有通过机械装置进行检测的方法，但是其检测精度一般只能达到0.02毫米；并且由于检测过程中操作人员需涉入判断，当需要对多工件进行连续检测时，容易造成操作人员的劳动强度过高而产生疲劳。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于设计一种用于芯片平面度的检测装置，该装置能够对芯片进行自动化的检测，同时，能够达到更本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片平面度的检测装置，其特征在于：包括机座，所述机座上设置有工作台，工作台上设置有扫描运动装置和放板装置，所述扫描运动装置上设置有扫描装置，所述工作台上设置有用于驱动放板装置在工作台上滑动的第一横向驱动装置，所述工作台上还设置有用于驱动扫描运动装置滑动的第二横向驱动，所述扫描运动装置上设置有用于驱动扫描装置在扫描运动装置上滑动的纵向驱动装置。2.根据权利要求1所述的一种用于芯片平面度的检测装置，其特征在于：所述第一横向驱动装置、第二横向驱动装置和纵向驱动装置均包括电机以及与电机连接的丝杠。3.根据权利要求1所述的一种用于芯片平面度的检测装置，其特征在于：所述第一横向驱动装置、第二横向驱动装置和纵向驱动装置均为直线电机。4.根据权利要求2或3所述的一种用于芯片平面度的检测装置，其特征在于：所述第一横向驱动装置、第二横向驱动装置和纵向驱动装置上均设置有行程开关。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：周雪良，俞梅菊，
申请(专利权)人：苏州富视智能工业设备有限公司，
类型：新型
国别省市：