接合装置制造方法及图纸

提供接合装置，其使一对金属板彼此接合。接合装置具备多个处理部。多个处理部中的一个处理部是加热加压处理部。加热加压处理部具有对一对金属板进行加热的加热部以及对一对金属板进行加压的加压部。属板进行加压的加压部。属板进行加压的加压部。

【技术实现步骤摘要】
接合装置


[0001]本专利技术涉及接合装置。

技术介绍

[0002]以往，已知接合金属间的各种装置。例如，存在如下的基材接合装置：将溅射蚀刻的第一基材的表面与在表面附着有由第一基材的材料构成的溅射粒子的第二基材以重合的方式进行压接，由此在常温下接合第一基材与第二基材。基材接合装置向高真空环境下的腔室提供氩气等气体，从而在该腔室内同时进行第一基材的溅射蚀刻和溅射粒子向第二基材的附着。而且，基材接合装置在停止了气体的提供之后，接合第一基材和第二基材。(例如，参照日本特开2018-18997号公报)
[0003]专利文献1：日本特开2018-18997号公报
[0004]然而，上述接合需要在高真空环境下的腔室内实施。因此，需要用于调整接合环境的专用的装置和基材，从而处理所需的时间也可能变长。因此，无法容易并且迅速地实施金属的接合，从而接合处理所需的成本也可能变高。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于容易地接合一对金属板。
[0006]本专利技术的例示的接合装置将一对金属板彼此接合。接合装置具备多个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种接合装置，其使一对金属板彼此接合，具备多个处理部，其中，多个所述处理部中的一个所述处理部是加热加压处理部，所述加热加压处理部具有：加热部，其对一对所述金属板进行加热；以及加压部，其对一对所述金属板进行加压。2.根据权利要求1所述的接合装置，其中，多个所述处理部分别沿以一对金属板彼此对置的方向为基准的周向配置。3.根据权利要求1所述的接合装置，其中，该接合装置还具备能够沿所述周向旋转的搬运机构，所述搬运机构向各个所述处理部搬运一对所述金属板。4.根据权利要求2或3所述的接合装置，其中，多个所述处理部在所述周向上等间隔地配置。5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的接合装置，其中，该接合装置还具有填充有惰性气体的作业室，多个所述处理部配置于所述作业室内...

【专利技术属性】
技术研发人员：石田淳一，奥田健，花野雅昭，巽昭生，井冈英俊，
申请(专利权)人：日本电产株式会社，
类型：发明
国别省市：