一种基板加工载台制造技术

本申请提供了一种基板加工载台，包括：基座，设有贯穿基座的通孔；承载板，用于放置待加工基板，承载板设置于基座上，承载板的边沿与基座固定，承载板为弹性承载板；升降机构，一端置于通孔内，并与通孔的内壁活动连接，另一端抵接于承载板，升降机构升降以使得承载板发生弹性形变。本申请通过设置带有通孔的基座和固定于基座上的承载板，将承载板设置为弹性承载板，并通过设置升降机构的一端置于通孔内，另一端抵接于承载板的升降机构，使用时将用于放置待加工基板放置于承载板上，通过调节升降机构升降以使得承载板发生弹性形变，从而带动承载板上的待加工基板发生形变，以抵消翘曲，以此提高待加工基板的平整度，进而提高产品的制作良品率。作良品率。作良品率。

【技术实现步骤摘要】
一种基板加工载台


[0001]本申请涉及显示器件
，尤其涉及一种基板加工载台。

技术介绍

[0002]在显示面板，包括制作液晶显示器面板或柔性显示面板的生产过程中，例如在进行OLED(Organic Light
‑
Emitting Diode，有机发光二极管)的阵列基板制备过程中，不可避免会用到具有应力的膜层，如GI隔离层，缓冲(Buffer)挖孔层，有机平坦层，柔性衬底层等，制程中高温等因素的影响，经过图案化制程后仍然有大面积的应力膜层留存在基板上，由于这些膜层与玻璃的热膨胀系数不同，在经过高温制程之后，基板由于受到有机膜层的应力发生翘曲而变得不平整，如四周翘起或中间拱起等情况，并且随着基板尺寸的增大，翘曲的程度也不断加大。
[0003]不平整的基板表面会破坏光制程及成膜制程造的均一性，直接影响到显示面板的质量。此外，如果基板不平整，则其发生翘曲的位置有可能在制作或传输过程中发生碰撞，导致基板破裂甚至设备损坏，从而导致产品后续加工制作的良率不高。
[0004]为了保证载台的平整性和固定玻璃的稳定性，现有技术中通常采用吸附式载台，借由在玻璃基板与刚性载台之间形成真空，来达成固定玻璃基板的目的。现有的吸附式载台结构复杂，极易导致对应玻璃翘起位置的载台区域的真空无法建立，因而会导致载台吸附固定基板失败。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种基板加工载台，以解决基板加工过程中容易出现翘曲的问题。
[0006]本申请提供一种基板加工载台，包括：
[0007]基座，设有贯穿所述基座的通孔；
[0008]承载板，设置于所述基座上，所述承载板的边沿与所述基座固定，所述承载板为弹性承载板；
[0009]升降机构，一端置于所述通孔内，并与所述通孔的内壁活动连接，另一端抵接于所述承载板，所述升降机构升降以使得所述承载板发生弹性形变。
[0010]在本申请一种可能的实现方式中，所述基座和所述承载板之间设有容置空间，所述升降机构抵接于所述承载板的一端位于所述容置空间内；
[0011]所述承载板具有朝着靠近所述基座的方向发生曲面形变的状态或朝着远离所述基座的方向发生曲面形变的状态。
[0012]在本申请一种可能的实现方式中，所述升降机构朝向所述承载板的一面与所述承载板固定连接。
[0013]在本申请一种可能的实现方式中，所述通孔的数量至少为三个，相邻两个所述通孔在所述基座内间隔设置；
[0014]所述升降机构的数量至少为三个，每个升降机构分别位于一个所述通孔内，位于
中间升降机构的上升高度大于或小于位于两侧的升降机构的上升高度。
[0015]在本申请一种可能的实现方式中，所述升降机构包括：
[0016]顶推件，与所述承载板固定连接；
[0017]升降杆，一端与所述顶推件连接，另一端置于所述通孔内伸出所述基座，所述升降杆与所述通孔的内壁活动连接。
[0018]在本申请一种可能的实现方式中，所述升降杆上设置有外螺纹，所述通孔内壁设置有内螺纹，所述升降杆和所述通孔内壁螺纹连接。
[0019]在本申请一种可能的实现方式中，所述顶推件朝向所述升降杆的一面设置有凹槽，所述升降机构还包括：
[0020]轴承，设置于所述凹槽内壁，所述轴承套设于所述升降杆的端部。
[0021]在本申请一种可能的实现方式中，所述顶推件与所述承载板连接的一面为弧面，所述顶推件为弹性顶推件。
[0022]在本申请一种可能的实现方式中，所述顶推件为条状顶推件、片状顶推件或块状顶推件。
[0023]在本申请一种可能的实现方式中，所述升降机构和所述通孔内壁滑动连接，所述升降机构还包括：
[0024]紧固件，设置于所述基座背向所述承载基板的一面，所述紧固件用于固定所述升降机构远离所述承载板的一端。
[0025]本申请提供一种基板加工载台，通过设置带有通孔的基座和固定于基座上的承载板，将所述承载板设置为弹性承载板，并通过设置升降机构，将升降机构的一端置于所述通孔内，另一端抵接于所述承载板的升降机构，使用时将用于放置待加工的基板放置于承载板上，通过调节所述升降机构升降以使得所述承载板发生弹性形变，从而带动承载板上的待加工基板发生形变，以抵消翘曲，以此提高待加工基板的平整度，进而提高产品的制作良品率。
附图说明
[0026]下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。
[0027]图1为本申请实施例提供的基板加工载台的剖面结构示意图。
[0028]图2为本申请实施例提供的基座的结构示意图。
[0029]图3为本申请实施例提供的承载面发生曲面形变的结构示意图。
[0030]图4为本申请又一实施例提供的承载面发生曲面形变的结构示意图。
[0031]图5为本申请实施例提供的升降机构的剖面结构示意图。
[0032]图6为本申请又一实施例提供的基板加工载台的结构示意图。
具体实施方式
[0033]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施
例，都属于本申请保护的范围。
[0034]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0035]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0036]下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
[0037]请参考图1
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图5，本申请实施例提供一种基板加工载台，包括基座10、承载板20和升降机构30。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板加工载台，其特征在于，包括：基座，设有贯穿所述基座的通孔；承载板，用于放置待加工基板，所述承载板设置于所述基座上，所述承载板的边沿与所述基座固定，所述承载板为弹性承载板；升降机构，一端置于所述通孔内，并与所述通孔的内壁活动连接，另一端抵接于所述承载板，所述升降机构升降以使得所述承载板发生弹性形变。2.根据权利要求1所述的基板加工载台，其特征在于，所述基座和所述承载板之间设有容置空间，所述升降机构抵接于所述承载板的一端位于所述容置空间内；所述承载板具有朝着靠近所述基座的方向发生曲面形变的状态或朝着远离所述基座的方向发生曲面形变的状态。3.根据权利要求1或2所述的基板加工载台，其特征在于，所述升降机构朝向所述承载板的一面与所述承载板固定连接。4.根据权利要求1所述的基板加工载台，其特征在于，所述通孔的数量至少为三个，相邻两个所述通孔在所述基座内间隔设置；所述升降机构的数量至少为三个，每个升降机构分别位于一个所述通孔内，位于中间升降机构的上升高度大于或小于位于两侧的升降机构的上升高度。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟小龙，
申请(专利权)人：TCL华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：