蚀刻流水线速度控制方法技术

技术编号:30226998 阅读:22 留言:0更新日期:2021-09-29 09:52
本发明专利技术公开了一种蚀刻流水线速度控制方法,于蚀刻流水线上设置速度控制传输带,速度控制传输带的速度控制方法包括以下步骤:步骤一、识别蚀刻流水线上显影传输带、蚀刻传输带和退膜传输带的实时速度大小;步骤二、取值显影传输带、蚀刻传输带和退膜传输带之中的实时速度最小的值;步骤三、将速度控制传输带的实时速度设置为步骤二所述的取值。本发明专利技术通过速度控制传输带的速度调整,统筹显影传输带、蚀刻传输带和退膜传输带之间的速度差,从而可以避免由于显影传输带、蚀刻传输带和退膜传输带之间的速度差造成的产品叠板、卡板的问题;也可以使得操作人员的上板更加准确。可以使得操作人员的上板更加准确。可以使得操作人员的上板更加准确。

【技术实现步骤摘要】
蚀刻流水线速度控制方法


[0001]本专利技术涉及一种蚀刻流水线速度控制方法。

技术介绍

[0002]多层线路板的酸性蚀刻流水线,其生产过程中,由于生产的产品本身线路粗细程度和线路分布不同,会分别选用不同的感光干膜。由于干膜厚度、分辨率差别较大,会导致显影段和退膜段传动速度不同;而且显影段和退膜段彼此之间速度一般本身就不同。再者产品要求的铜厚不同,线路分布情况等不同都会导致蚀刻速度不同。而产品在传输过程中由于各段之间速度不同,后端速度比前段速度慢导致产品叠板、卡板,会造成产品损伤或报废。

技术实现思路

[0003]本专利技术为解决上述技术问题,提供一种蚀刻流水线速度控制方法。
[0004]为实现以上目的,本专利技术通过以下技术方案实现:
[0005]一种蚀刻流水线速度控制方法,于蚀刻流水线上设置速度控制传输带,速度控制传输带的速度控制方法包括以下步骤:
[0006]步骤一、识别蚀刻流水线上显影传输带、蚀刻传输带和退膜传输带的实时速度大小;
[0007]步骤二、取值显影传输带、蚀刻传输带和退膜传输带之中的实时速度最小的值;
[0008]步骤三、将速度控制传输带的实时速度设置为步骤二所述的取值。
[0009]根据本专利技术的一个实施方案,所述的速度控制传输带设置于显影传输带的起始点之前。
[0010]根据本专利技术的一个实施方案,所述的步骤一的识别方法具体是将显影传输带、蚀刻传输带和退膜传输带三者的实时速度相互进行比较,得到其中最小的实时速度值。r/>[0011]根据本专利技术的一个实施方案,所述的比较的方法包括将显影传输带的实时速度、蚀刻传输带的实时速度和退膜传输带的实时速度三者进行排序,从而得到其中最小的实时速度值。
[0012]根据本专利技术的一个实施方案,所述的排序的方法包括升序和降序。
[0013]根据本专利技术的一个实施方案,所述的比较的方法包括将显影传输带的实时速度和蚀刻传输带的实时速度之间比较,取显影传输带的实时速度和蚀刻传输带的实时速度之中的第一较小值;再将第一较小值与退膜传输带的实时速度比较,取两者之间的第二较小值,第二较小值即显影传输带、蚀刻传输带和退膜传输带之中最小的实时速度值。
[0014]根据本专利技术的一个实施方案,所述的显影传输带、蚀刻传输带和退膜传输带依次设置,显影传输带和蚀刻传输带之间设置第一连接段,蚀刻传输带和退膜传输带之间设置第二连接段。
[0015]本专利技术通过速度控制传输带的速度调整,统筹显影传输带、蚀刻传输带和退膜传
输带之间的速度差,从而可以避免由于显影传输带、蚀刻传输带和退膜传输带之间的速度差造成的产品叠板、卡板的问题;也可以使得操作人员的上板更加准确。
附图说明
[0016]图1为本专利技术的蚀刻流水线示意图。
具体实施方式
[0017]下面结合附图对本专利技术进行详细的描述:
[0018]如图1所示,本实施例蚀刻流水线速度控制方法,于蚀刻流水线上设置速度控制传输带2,速度控制传输带2的速度控制方法包括以下步骤:
[0019]步骤一、识别蚀刻流水线上显影传输带1、蚀刻传输带3和退膜传输带4的实时速度大小;
[0020]步骤二、取值显影传输带1、蚀刻传输带3和退膜传输带4之中的实时速度最小的值;
[0021]步骤三、将速度控制传输带2的实时速度设置为步骤二所述的取值。
[0022]所述的速度控制传输带2设置于显影传输带1的起始点之前。所述的步骤一的识别方法具体是将显影传输带1、蚀刻传输带3和退膜传输带4三者的实时速度相互进行比较,得到其中最小的实时速度值。比较的方法包括将显影传输带1的实时速度、蚀刻传输带3的实时速度和退膜传输带4的实时速度三者进行排序,从而得到其中最小的实时速度值。排序的方法包括升序和降序。比较的方法也可以是所述的比较的方法包括将显影传输带1的实时速度和蚀刻传输带3的实时速度之间比较,取显影传输带1的实时速度和蚀刻传输带3的实时速度之中的第一较小值;再将第一较小值与退膜传输带4的实时速度比较,取两者之间的第二较小值,第二较小值即显影传输带1、蚀刻传输带3和退膜传输带4之中最小的实时速度值。
[0023]由于产品在整个蚀刻流水线中不同的阶段行进的速度是不同的,即相邻的产品之间距离会随其所处的不同阶段发生变化,可能会越走越远,也可能越走越近。例如,显影传输带1的速度4.5m/min,蚀刻传输带的速度2.5m/min,退膜传输带4的速度3.0m/min,那么产品在显影传输带1上的间距比产品在退膜传输带4上的间距大,而在蚀刻传输带上的间距小。所以,为发挥速度控制传输带2的作用,所述的速度控制传输带2的实时传输速度与显影传输带1、蚀刻传输带3和退膜传输带4其中最小的实时传输速度一致。例如,显影传输带1的实时速度4.5m/min,蚀刻传输带的实时速度2.5m/min,退膜传输带4的实时速度3.0m/min,速度控制传输带的实时速度就是2.5m/min。三个传输带的实时速度变化,则速度控制传输带2的实时速度也要变化。例如,显影传输带1的实时速度5m/min,蚀刻传输带的实时速度6m/min,退膜传输带4的实时速度4.5m/min,速度控制传输带的实时速度就是4.5m/min。又例如,显影传输带1的实时速度3m/min,蚀刻传输带的实时速度4m/min,退膜传输带4的实时速度2.5m/min,速度控制传输带的实时速度就是2.5m/min。
[0024]所述的显影传输带1、蚀刻传输带3和退膜传输带4依次设置,显影传输带1和蚀刻传输带3之间设置第一连接段5,蚀刻传输带3和退膜传输带4之间设置第二连接段6。第一连接段5和第二连接段6均为传输滚轮。
[0025]使用时,产品进入速度控制传输带2,在速度控制传输带2上朝显影传输带1行进。再顺序经过第一连接段5、蚀刻传输带3、第二连接段6和退膜传输带4,进行相应的显影、蚀刻和退膜操作。由于有速度控制传输带2,操作人员在上板时可以准确的控制产品开始传输的距离,不会导致放板过远浪费时间,浪费产能、浪费成本。通过速度控制传输带2的速度调整,显影传输带1、蚀刻传输带3和退膜传输带4之间的速度差,从而也可以防止产品在传输过程中由于各传输带之间速度不同,后段速度比前段速度慢导致产品叠板、卡板。
[0026]本专利技术的速度控制传输带2,通过速度控制传输带2的速度调整,统筹显影传输带1、蚀刻传输带3和退膜传输带4之间的速度差,从而可以避免由于显影传输带1、蚀刻传输带3和退膜传输带4之间的速度差造成的产品叠板、卡板的问题;也可以使得操作人员的上板更加准确。
[0027]本专利技术中的实施例仅用于对本专利技术进行说明,并不构成对权利要求范围的限制,本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代,均在本专利技术保护范围内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻流水线速度控制方法,其特征在于,于蚀刻流水线上设置速度控制传输带,速度控制传输带的速度控制方法包括以下步骤:步骤一、识别蚀刻流水线上显影传输带、蚀刻传输带和退膜传输带的实时速度大小;步骤二、取值显影传输带、蚀刻传输带和退膜传输带之中的实时速度最小的值;步骤三、将速度控制传输带的实时速度设置为步骤二所述的取值。2.根据权利要求1所述的蚀刻流水线速度控制方法,其特征在于,所述的速度控制传输带设置于显影传输带的起始点之前。3.根据权利要求2所述的蚀刻流水线速度控制方法,其特征在于,所述的步骤一的识别方法具体是将显影传输带、蚀刻传输带和退膜传输带三者的实时速度相互进行比较,得到其中最小的实时速度值。4.根据权利要求3所述的蚀刻流水线速度控制方法,其特征在于,所述的比较的方法包括将显影传输带的实时速度、蚀刻传输带的实时速度...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘涌王红月胡菊红陈晓峰
申请(专利权)人:上海美维电子有限公司
类型:发明
国别省市:

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