图案形成装置、图案形成方法以及喷出数据生成方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供在布线基板上形成适当厚度的阻焊膜的图案形成装置、图案形成方法以及喷出数据生成方法。图案形成装置具有：保持部，保持布线基板；头部，以喷墨方式向布线基板的表面喷出阻焊剂的墨水液滴；移动机构，使所述头部沿着与布线基板的表面平行的方向相对于保持部相对地移动；喷出数据生成部，基于表示阻焊膜的图案的阻焊图案数据，生成表示每单位面积的墨水的喷出量的喷出数据。另外，图案形成装置具有控制部，该控制部通过基于喷出数据来控制所述头部以及所述移动机构，从而在所述布线基板上形成阻焊膜的图案。所述喷出数据生成部针对所述阻焊图案数据中包含的不同种类的图案中的每个种类的图案，生成设定有不同的喷出量的所述喷出数据。量的所述喷出数据。量的所述喷出数据。

【技术实现步骤摘要】
图案形成装置、图案形成方法以及喷出数据生成方法


[0001]本专利技术涉及在布线基板上形成阻焊膜的图案的技术。

技术介绍

[0002]为了保护布线基板上具有的导电图案，有时在布线基板上形成有阻焊膜。阻焊膜具有防止焊料在后续工序的焊料涂敷时附着于导体布线等区域的作用，也称作“阻焊剂(solder resist)”。作为形成阻焊膜的方法，已知以喷墨方式向布线基板喷出阻焊剂的墨水的液滴的方法。这样的技术例如被专利文献1以及2公开。
[0003]专利文献1：日本特开平9
‑
283893号公报
[0004]专利文献2：日本特开2008
‑
4820号公报
[0005]但是，形成在布线基板上的阻焊膜的图案因其目的或部位而各种各样。在向布线基板的每单位面积给予一定量的墨水的情况下，会出现阻焊膜的厚度(膜厚)因图案的种类而无法形成目标的膜厚的情况。例如，在细线状的图案的情况下，会出现线宽越细则高度越低的趋势。另外，在线交叉的交叉状的图案中，会出现因阻焊膜隆起而膜厚变大的趋势。因此，需求形成适当膜厚的阻焊膜的技术。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于，提供一种在布线基板上形成适当厚度的阻焊膜的技术。
[0007]为解决上述课题，第一方式是在布线基板上形成阻焊膜的图案的图案形成装置。图案形成装置具有：保持部，保持布线基板；头部，以喷墨方式向所述布线基板的表面喷出阻焊剂的墨水液滴；移动机构，使所述头部沿着与所述布线基板的表面平行的方向相对于所述保持部相对地移动；喷出数据生成部，基于表示阻焊膜的图案的阻焊图案数据，生成表示每单位面积的墨水的喷出量的喷出数据；以及控制部，通过基于所述喷出数据来控制所述头部以及所述移动机构，从而在所述布线基板上形成阻焊膜的图案。所述喷出数据生成部针对所述阻焊图案数据中包含的不同种类的图案中的每个种类的图案，生成设定有不同的喷出量的所述喷出数据。
[0008]第二方式是第一方式的图案形成装置。所述阻焊膜的图案包括：第一线宽的线状的第一图案；以及比第一线宽小的第二线宽的线状的第二图案。所述喷出数据生成部生成相对于所述第二图案的喷出量被设定为大于相对于所述第一图案的喷出量的值的喷出数据。
[0009]第三方式是第一方式或第二方式的图案形成装置。所述阻焊膜的图案包括交叉状的第三图案。所述喷出数据生成部生成相对于所述第三图案的喷出量被设定为小于规定的基准喷出量的值的喷出数据。
[0010]第四方式是第二方式的图案形成装置。所述阻焊膜的图案包括交叉状的第三图案。所述喷出数据生成部生成相对于所述第三图案的喷出量被设定为小于相对于所述第一图案以及所述第二图案的喷出量的值的喷出数据。
[0011]第五方式是第一方式至第四方式中任一方式的图案形成装置。所述图案形成装置还具有存储部，所述存储部存储规定了针对多个种类的图案的每单位面积的喷出量的修正表信息。所述喷出数据生成部包括：图案确定部，在所述阻焊图案数据中确定登记于所述修正表信息中的图案；以及喷出量设定部，基于所述修正表信息，设定相对于由所述图案确定部确定的图案的喷出量。
[0012]第六方式是在布线基板上形成阻焊膜的图案的图案形成方法。图案形成方法包括：工序(a)，以喷墨方式从头部向所述布线基板的表面喷出阻焊剂的墨水液滴；工序(b)，在所述工序(a)中，使所述头部沿着与所述布线基板的表面平行的方向相对于所述布线基板相对地移动；以及工序(c)，在所述工序(a)中，根据形成在所述布线基板上的阻焊膜的图案的种类，使每单位面积的墨水的喷出量不同。
[0013]第七方式是生成在以喷墨方式从头部向布线基板喷出阻焊剂的墨水的液滴时所使用的喷出数据的喷出数据生成方法。喷出数据生成方法包括：工序(A)，准备形成在布线基板上的阻焊图案数据；以及工序(B)，针对阻焊图案数据中包含的不同种类的图案中的每个种类的图案，生成设定有不同的每单位面积的喷出量的喷出数据。
[0014]根据第一方式～第五方式的图案形成装置，根据图案的种类，来增减每单位面积的墨水的喷出量。由此，能够针对每个图案的种类，在布线基板上形成适当厚度的阻焊膜。
[0015]根据第二方式的图案形成装置，通过使相对于线宽较小的线状的第二图案的每单位面积的喷出量变得比较大，从而针对第二图案能够在布线基板上形成适当厚度的阻焊膜。
[0016]根据第三方式的图案形成装置，通过使相对于膜厚容易变大的交叉状的第三图案的每单位面积的喷出量小于基准喷出量，从而针对交叉状图案能够在布线基板上形成适当厚度的阻焊膜。
[0017]根据第四方式的图案形成装置，通过使相对于膜厚容易变大的交叉状的第三图案的每单位面积的喷出量小于线状的第一图案、第二图案，从而能够在布线基板上形成具有适当膜厚的交叉状图案的阻焊膜。
[0018]根据第五方式的图案形成装置，通过用修正表信息来规定相对于多个种类的图案的每单位面积的喷出量，从而能够适当地设定阻焊图案数据中包含的各个图案的喷出量。
附图说明
[0019]图1是表示实施方式的图案形成装置的立体图。
[0020]图2是表示控制部所具有的计算机的结构的图。
[0021]图3是表示计算机所实现的功能结构的图。
[0022]图4是表示图案形成装置1的动作的流程的图。
[0023]图5是示意性地表示形成有多个种类的图案的阻焊膜的布线基板的一部分的俯视图。
[0024]图6是示意性地表示形成有多个种类的图案的阻焊膜的布线基板的一部分的剖视图。
[0025]图7是表示修正表信息的一个例子的图。
[0026]图8是示意性地表示形成有多个种类的图案的阻焊膜的布线基板的剖视图。
[0027]附图标记的说明：
[0028]1：图案形成装置
[0029]11：装置主体
[0030]12：控制部
[0031]2：移动机构
[0032]21：载物台
[0033]2a：Y方向移动机构
[0034]2b：X方向移动机构
[0035]3：头部
[0036]61：喷出数据生成部
[0037]611：图案确定部
[0038]612：喷出量设定部
[0039]62：存储部
[0040]71：阻焊图案数据
[0041]711：确定信息
[0042]73：修正表信息
[0043]75：喷出数据
[0044]9：布线基板
[0045]911、912、913、92、93、94：阻焊膜
[0046]9a：表面
具体实施方式
[0047]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。此外，本实施方式中记载的结构构件仅为示例性的，并非旨在将本专利技术的范围限定于此。在附图中，为了容易理解，有时根据需要将各部分的尺寸、数量夸大或简化地进行图示。
[0048]在图1中，为了便于说明，标记了表示相互正交的X本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种图案形成装置，在布线基板上形成阻焊膜的图案，其中，所述图案形成装置具有：保持部，保持布线基板；头部，以喷墨方式向所述布线基板的表面喷出阻焊剂的墨水液滴；移动机构，使所述头部沿着与所述布线基板的表面平行的方向相对于所述保持部相对地移动；喷出数据生成部，基于表示阻焊膜的图案的阻焊图案数据，生成表示每单位面积的墨水的喷出量的喷出数据；以及控制部，通过基于所述喷出数据来控制所述头部以及所述移动机构，从而在所述布线基板上形成阻焊膜的图案，所述喷出数据生成部针对所述阻焊图案数据中包含的不同种类的图案中的每个种类的图案，生成设定有不同的喷出量的所述喷出数据。2.如权利要求1所述的图案形成装置，其中，所述阻焊膜的图案包括：第一线宽的线状的第一图案；以及比第一线宽小的第二线宽的线状的第二图案，所述喷出数据生成部生成相对于所述第二图案的喷出量被设定为大于相对于所述第一图案的喷出量的值的喷出数据。3.如权利要求1或2所述的图案形成装置，其中，所述阻焊膜的图案包括交叉状的第三图案，所述喷出数据生成部生成相对于所述第三图案的喷出量被设定为小于规定的基准喷出量的值的喷出数据。4.如权利要求2所述的图案形成装置，其中，所述阻焊膜的图案包括交叉状的第三图案，所述喷出数据生成部生成相对于所述第三图案的喷出量...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川雅晴，胁田典宏，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：