【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】存货式生产经图案化的透明导电层
[0001]本公开涉及电化学器件及其形成方法。
技术介绍
[0002]电化学器件可包括电致变色叠堆,其中透明导电层用于为叠堆运作提供电连接。电致变色(EC)器件利用的材料能够响应于所施加的电位在电化学氧化和还原后可逆地改变其光学性质。光学调制是在电化学材料晶格中同时插入和提取电子及电荷补偿离子的结果。
[0003]电致变色器件的进步寻求器件具有更快和更均匀的转换速度,同时在制造过程中保持产出量。
[0004]因此,在制造电致变色器件中,寻求进一步的改善。
附图说明
[0005]图1是根据一个实施例的电致变色器件的示意性截面图。
[0006]图2A至图2G是根据本公开的实施方式在制造的各个阶段的电化学法的示意性截面图。
[0007]图3是描绘根据本公开的实施方式而用于形成电化学器件的程序的流程图。
[0008]图4A至图4B是根据各种实施例的透明导电层的俯视图的示意图。
[0009]图5是根据本公开的实施方式的隔热玻璃单元(insu ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种形成电化学器件的方法,所述方法包括:提供基底和覆盖所述基底的叠堆,所述叠堆包括:所述基底上方的第一透明导电层;所述基底上方的第二透明导电层;阴极电化学层,所述阴极电化学层在所述第一透明导电层与所述第二透明导电层之间;以及阳极电化学层,所述阳极电化学层在所述第一透明导电层与所述第二透明导电层之间;在所述叠堆上方沉积绝缘层;确定用于所述第二透明导电层的第一图案,其中所述第一图案包括第一区域和第二区域,其中所述第一区域和所述第二区域包含相同的材料;以及图案化所述第二透明导电层的所述第一区域而不从所述第一区域去除所述材料,其中在图案化所述第一区域之后,所述第一区域包括第一电阻率且所述第二区域包括第二电阻率。2.根据权利要求1所述的方法,其中图案化所述第二透明导电层以形成所述第一电阻率和所述第二电阻率是穿过所述绝缘层进行图案化的。3.根据权利要求1所述的方法,其中图案化所述第二透明导电层以形成所述第一电阻率和所述第二电阻率是穿过所述基底、所述第一透明导电层、所述阴极电化学层和所述阳极电化学层进行图案化的。4.根据权利要求1所述的方法,其中图案化所述第二透明导电层包括使用短脉冲激光,所述短脉冲激光具有介于400nm与700nm之间的波长。5.根据权利要求1所述的方法,其中所述短脉冲激光具有介于500nm与550nm之间的波长。6.根据权利要求1所述的方法,其中所述短脉冲激光发射达介于50飞秒与1秒之间的时长。7.根据权利要求1所述的方法,其中所述第一电阻率大于所述第二电阻率。8.根据权利要求1所述的方法,其中所述第一电阻率介于15Ω/sq与100Ω/sq之间。9.根据权利要求1所述的方法,其中所述基底包含选自...
【专利技术属性】
技术研发人员:王义刚,珍克里斯多夫,
申请(专利权)人:SAGE电致变色显示有限公司,
类型:发明
国别省市:
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