本实用新型专利技术公开了一种光电检测装置，包括：内设有第一通道的直管件，透光件，光电传感器；内部设置有第二通道的斜管件，密封塞，密封塞可沿着第二通道移动至封堵或开启第一通道的位置；驱动机构，驱动机构可驱动密封塞沿着第二通道往复移动。可利用密封塞封堵第一通道，切断光电检测装置与真空镀膜设备之间的连通，使得真空镀膜设备保持原来的工作状态下，可对透光件进行维护，缩短了真空镀膜设备的停机时间，便于维护透光件。本实用新型专利技术公开一种真空镀膜设备，包括表面开设有第一连通孔的箱体，还包括至少一个光电检测装置，光电检测装置的直管件一端与第一连通孔密封相连接。采用上述光电检测装置，缩短了真空镀膜设备停机维护透光件的时间。护透光件的时间。护透光件的时间。
【技术实现步骤摘要】
一种光电检测装置及真空镀膜设备
[0001]本技术涉及真空镀膜领域，特别是一种光电检测装置及真空镀膜设备。
技术介绍
[0002]真空镀膜设备被广泛应用于现代化工业生产，由于其腔体内部环境对温度、洁净度要求及真空度有特殊的要求，通常采用非接触检测的光电传感器检测镀膜的工件。
[0003]现有的真空镀膜设备一般在腔体的侧壁开设有与其内部相连通的连通孔，连通孔处密封安装有透明玻璃件，真空镀膜设备的外部设置有一与透明玻璃件相对应的光电传感器，光电传感器的发射器发射的光束穿过透明玻璃件，光电传感器的接收器检测由工件反射的光或遮挡的光的变化，从而获得检测信号，完成对工件的检测。
[0004]在镀膜生产的过程中，透明玻璃件表面不可避免地吸附真空腔体内的镀膜材料粒子，造成其透光率降低，影响光电传感器发射的光束的传输，不但导致光电传感器无法正常检测工作，而且吸附大量的镀膜材料粒子会导致透明玻璃件使用时间变短，严重时，甚至无法保证完成一次长时间的连续性镀膜生产。
[0005]工作中的真空镀膜设备，对透明玻璃件进行维护时需要停机并使得真空镀膜设备内部破真空，再到开机正常生产，此过程需要耗费很长的时间，同时浪费大量的镀膜材料、工件和电力。
技术实现思路
[0006]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术第一方面提供一种结构简单，既可适用于真空镀膜设备检测使用，同时便于维护透光件的光电检测装置。
[0007]本技术第二方面还提供一种采用上述光电检测装置的真空镀膜设备,能够在真空镀膜设备不破真空的情况下对透光件进行维护，减少设备停机时间，提高生产效率。
[0008]为了解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0009]根据本技术第一方面某些实施例的一种光电检测装置，包括：直管件，所述直管件的内部开设有贯穿所述直管件的第一通道；透光件，设置于所述直管件的一端处，所述透光件封堵所述第一通道一端的开口；光电传感器，设置于所述直管件临近所述透光件的一端处；斜管件，设置于所述直管件的侧壁上，所述斜管件的内部开设有与所述第一通道相连通的第二通道，所述斜管件远离所述直管件的一端密封；密封塞，活动安装于所述第二通道中，所述密封塞可沿着所述第二通道移动至封堵或开启所述第一通道的位置；驱动机构，设置于所述斜管件上，所述驱动机构与所述密封塞相连接，且所述驱动机构可驱动所述密封塞沿着所述第二通道往复移动。
[0010]本技术第一方面某些实施例的光电检测装置的有益效果：通过在直管件的侧壁设置斜管件，斜管件内部活动有能够封堵或开启直管件内部的第一通道，因此，利用驱动机构驱动密封塞封堵第一通道，切断光电检测装置与真空镀膜设备之间的连通，使得真空
镀膜设备保持原来的工作状态下，可对透光件进行维护，解决传统真空镀膜设备对透光件进行维护时会导致其工作条件失效的技术问题，既大大地缩短了真空镀膜设备的停机时间，同时又便于用户维护透光件。
[0011]在本技术第一方面的某些实施例中，所述驱动机构包括：密封件，可拆卸安装于所述斜管件远离所述直管件的一端处，且所述密封件封堵所述第二通道一端的开口，所述密封件的中部开设有螺纹孔；丝杆，螺纹安装于所述螺纹孔中，所述丝杆一端穿过所述密封件且与所述密封塞相连接。
[0012]在本技术第一方面的某些实施例中，所述丝杆位于所述斜管件外部的一端设置有手轮。
[0013]在本技术第一方面的某些实施例中，所述驱动机构还包括一根能够伸长或缩短的波纹管，所述波纹管套设于所述丝杆的外周，所述波纹管的一端与所述密封塞密封连接，所述波纹管的另一端与所述斜管件远离所述直管件的一端密封连接。
[0014]在本技术第一方面的某些实施例中，还包括延长管，所述延长管的内部开设有贯穿所述延长管的第三通道，所述直管件远离所述透光件的一端与所述延长管的一端密封连接，所述第一通道与所述第三通道相连通。
[0015]在本技术第一方面的某些实施例中，还包括防护套筒件，所述防护套筒件的内部中空，所述防护套筒件安装于所述第三通道中。
[0016]在本技术第一方面的某些实施例中，所述直管件设置有所述透光件的一端安装有安装座，所述光电传感器安装于所述安装座上。
[0017]在本技术第一方面的某些实施例中，所述驱动机构包括活塞缸，所述活塞缸可拆卸安装于所述斜管件远离所述直管件的一端处，所述活塞缸的活塞杆延伸进所述第二通道中且与所述密封塞相连接。
[0018]根据本技术第二方面某些实施例的一种真空镀膜设备，包括：
[0019]箱体，所述箱体的内部设置有容纳腔，所述箱体的表面开设有与所述容纳腔内部相连通的第一连通孔，还包括至少一个上述的光电检测装置，所述直管件远离所述透光件的一端与所述第一连通孔密封相连接。
[0020]在本技术第二方面某些实施例中，所述箱体与所述第一连通孔相对的一侧壁上开设有第二连通孔，所述第二连通孔与所述第一连通孔同轴设置；所述光电检测装置的数量为两个，其中一个所述光电检测装置安装于所述第一连通孔处，另外一个所述光电检测装置安装于所述第二连通孔处。
[0021]本技术某些实施例的真空镀膜设备的有益效果：通过采用上述的光电检测装置，使得真空镀膜设备在对透光件进行维护时，能够利用驱动机构驱动密封塞封堵第一通道，切断光电检测装置与真空镀膜设备之间的连通，使得真空镀膜设备保持原来的工作状态下，可对透光件进行维护，解决传统真空镀膜设备对透光件进行维护时会导致其工作条件失效的技术问题，既大大地缩短了真空镀膜设备的停机时间，同时又便于用户维护透光件。
附图说明
[0022]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0023]图1为本技术第一方面某些实施例的光电检测装置的结构示意图；
[0024]图2为图1中示出的光电检测装置的内部结构示意图；
[0025]图3为本技术第二方面某些实施例的真空镀膜设备的结构示意图；
[0026]图4为图3中示出的真空镀膜设备的结构分解示意图。
具体实施方式
[0027]本部分将详细描述本技术的具体实施例，本技术之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本技术的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本技术保护范围的限制。
[0028]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0029]在本技术的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是三个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光电检测装置，其特征在于，包括：直管件(100)，所述直管件(100)的内部开设有贯穿所述直管件(100)的第一通道(110)；透光件(200)，设置于所述直管件(100)的一端处，所述透光件(200)封堵所述第一通道(110)一端的开口；光电传感器(300)，设置于所述直管件(100)临近所述透光件(200)的一端处；斜管件(400)，设置于所述直管件(100)的侧壁上，所述斜管件(400)的内部开设有与所述第一通道(110)相连通的第二通道(410),所述斜管件(400)远离所述直管件(100)的一端密封；密封塞(500)，活动安装于所述第二通道(410)中，所述密封塞(500)可沿着所述第二通道(410)移动至封堵或开启所述第一通道(110)的位置；驱动机构，设置于所述斜管件(400)上，所述驱动机构与所述密封塞(500)相连接，且所述驱动机构可驱动所述密封塞(500)沿着所述第二通道(410)往复移动。2.根据权利要求1所述的一种光电检测装置，其特征在于，所述驱动机构包括：密封件(600)，可拆卸安装于所述斜管件(400)远离所述直管件(100)的一端处，且所述密封件(600)封堵所述第二通道(410)一端的开口，所述密封件(600)的中部开设有螺纹孔(601)；丝杆(610)，螺纹安装于所述螺纹孔(601)中，所述丝杆(610)一端穿过所述密封件(600)且与所述密封塞(500)相连接。3.根据权利要求2所述的一种光电检测装置，其特征在于，所述丝杆(610)位于所述斜管件(400)外部的一端设置有手轮(611)。4.根据权利要求2或3所述的一种光电检测装置，其特征在于，所述驱动机构还包括一根能够伸长或缩短的波纹管(620)，所述波纹管(620)套设于所述丝杆(610)的外周，所述波纹管(620)的一端与所述密封塞(500)密封连接，所述波纹管(620)的另一端与所述斜管件(400)远离所述直...
【专利技术属性】
技术研发人员：王志海，邝斌，陈金良，齐鹏飞，赖新暖，
申请(专利权)人：中山瑞科新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：
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