一种光电检测装置及真空镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光电检测装置，包括：内设有第一通道的直管件，透光件，光电传感器；内部设置有第二通道的斜管件，密封塞，密封塞可沿着第二通道移动至封堵或开启第一通道的位置；驱动机构，驱动机构可驱动密封塞沿着第二通道往复移动。可利用密封塞封堵第一通道，切断光电检测装置与真空镀膜设备之间的连通，使得真空镀膜设备保持原来的工作状态下，可对透光件进行维护，缩短了真空镀膜设备的停机时间，便于维护透光件。本实用新型专利技术公开一种真空镀膜设备，包括表面开设有第一连通孔的箱体，还包括至少一个光电检测装置，光电检测装置的直管件一端与第一连通孔密封相连接。采用上述光电检测装置，缩短了真空镀膜设备停机维护透光件的时间。护透光件的时间。护透光件的时间。

【技术实现步骤摘要】
一种光电检测装置及真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜领域，特别是一种光电检测装置及真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备被广泛应用于现代化工业生产，由于其腔体内部环境对温度、洁净度要求及真空度有特殊的要求，通常采用非接触检测的光电传感器检测镀膜的工件。
[0003]现有的真空镀膜设备一般在腔体的侧壁开设有与其内部相连通的连通孔，连通孔处密封安装有透明玻璃件，真空镀膜设备的外部设置有一与透明玻璃件相对应的光电传感器，光电传感器的发射器发射的光束穿过透明玻璃件，光电传感器的接收器检测由工件反射的光或遮挡的光的变化，从而获得检测信号，完成对工件的检测。
[0004]在镀膜生产的过程中，透明玻璃件表面不可避免地吸附真空腔体内的镀膜材料粒子，造成其透光率降低，影响光电传感器发射的光束的传输，不但导致光电传感器无法正常检测工作，而且吸附大量的镀膜材料粒子会导致透明玻璃件使用时间变短，严重时，甚至无法保证完成一次长时间的连续性镀膜生产。
[0005]工作中的真空镀膜设备，对透明玻璃件进行维护时需要停机并使得真空镀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光电检测装置，其特征在于，包括：直管件(100)，所述直管件(100)的内部开设有贯穿所述直管件(100)的第一通道(110)；透光件(200)，设置于所述直管件(100)的一端处，所述透光件(200)封堵所述第一通道(110)一端的开口；光电传感器(300)，设置于所述直管件(100)临近所述透光件(200)的一端处；斜管件(400)，设置于所述直管件(100)的侧壁上，所述斜管件(400)的内部开设有与所述第一通道(110)相连通的第二通道(410),所述斜管件(400)远离所述直管件(100)的一端密封；密封塞(500)，活动安装于所述第二通道(410)中，所述密封塞(500)可沿着所述第二通道(410)移动至封堵或开启所述第一通道(110)的位置；驱动机构，设置于所述斜管件(400)上，所述驱动机构与所述密封塞(500)相连接，且所述驱动机构可驱动所述密封塞(500)沿着所述第二通道(410)往复移动。2.根据权利要求1所述的一种光电检测装置，其特征在于，所述驱动机构包括：密封件(600)，可拆卸安装于所述斜管件(400)远离所述直管件(100)的一端处，且所述密封件(600)封堵所述第二通道(410)一端的开口，所述密封件(600)的中部开设有螺纹孔(601)；丝杆(610)，螺纹安装于所述螺纹孔(601)中，所述丝杆(610)一端穿过所述密封件(600)且与所述密封塞(500)相连接。3.根据权利要求2所述的一种光电检测装置，其特征在于，所述丝杆(610)位于所述斜管件(400)外部的一端设置有手轮(611)。4.根据权利要求2或3所述的一种光电检测装置，其特征在于，所述驱动机构还包括一根能够伸长或缩短的波纹管(620)，所述波纹管(620)套设于所述丝杆(610)的外周，所述波纹管(620)的一端与所述密封塞(500)密封连接，所述波纹管(620)的另一端与所述斜管件(400)远离所述直...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志海，邝斌，陈金良，齐鹏飞，赖新暖，
申请(专利权)人：中山瑞科新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：