本申请公开了一种夹具、基板加工装置以及夹具的夹持方法。本申请公开的夹具包括夹具主体、距离调节件和承载面。距离调节件与夹具主体连接。距离调节件的第一端部与夹具主体之间的距离可调。承载面与夹具主体相对设置。距离调节件的第一端部位于承载面与夹具主体之间。本申请提供的夹具可以与待夹持件的表面可靠贴合，避免待夹持件因局部压强过大而受损。避免待夹持件因局部压强过大而受损。避免待夹持件因局部压强过大而受损。
【技术实现步骤摘要】
一种夹具、基板加工装置以及夹具的夹持方法
[0001]本申请涉及夹具
，具体涉及一种夹具、基板加工装置以及基板的夹持方法。
技术介绍
[0002]若待夹持件的尺寸较大，采用现有的夹具夹持待夹持件的边缘区域时，待夹持件的边缘区域会出现一些形变，使得夹具主体靠近待夹持件的表面与待夹持件的表面无法完全贴合，夹具主体的部分区域与待夹持件之间出现间隔，从而导致夹具无法对待夹持件的边缘区域均匀施力。具体的，夹具无法对待夹持件的边缘区域中未与夹具主体贴合的区域施加压力，而待夹持件中与夹具主体接触的区域所承担的压强可能超过预设值，从而可能损坏待夹持件。
技术实现思路
[0003]本申请的目的在于提供一种夹具、基板加工装置以及夹具的夹持方法，以解决现有技术中因待夹持件的待夹持区域出现形变而导致的待夹持件表面受力不均匀的技术问题。
[0004]本申请实施例提供一种夹具，包括：
[0005]夹具主体；
[0006]距离调节件，与所述夹具主体连接，所述距离调节件的第一端部与所述夹具主体之间的距离可调；
[0007]承载面，与所述夹具主体相对设置，所述距离调节件的第一端部位于所述承载面与所述夹具主体之间。
[0008]在一些实施例中，所述夹具包括多个所述距离调节件，多个所述距离调节件在所述夹具主体上间隔分布。
[0009]在一些实施例中，所述夹具主体的形状与待夹持件的形状相匹配，多个所述距离调节件间隔设置于所述夹具主体靠近所述待夹持件的一侧，所述距离调节件的第一端部与所述待夹持件接触。
[0010]在一些实施例中，所述距离调节件包括距离调节部和压力传感器；所述距离调节部包括所述第一端部和第二端部，所述第二端部与所述夹具主体连接，所述压力传感器设置在所述第一端部的端面和/或侧面。
[0011]在一些实施例中，所述夹具主体包括固定部和延伸部，所述延伸部可滑动地连接所述固定部，所述距离调节件的第二端部与所述延伸部连接。
[0012]在一些实施例中，所述夹具主体还包括沿滑动方向延伸的滑轨，所述延伸部包括第三端部和第四端部，所述第三端部与所述固定部嵌套，所述第三端部通过所述滑轨可滑动地连接至所述固定部，所述第四端部突出于所述固定部，所述距离调节件的所述第二端部与所述第四端部连接。
[0013]在一些实施例中，所述夹具还包括辅助夹持件，所述辅助夹持件与所述夹具主体连接，待夹持件设置在所述辅助夹持件和所述承载面之间，所述辅助夹持件在所述承载面上的正投影落入到所述待夹持件在所述承载面上的正投影范围内。
[0014]本申请实施例还提供一种基板加工装置，包括如前所述的夹具，所述基板加工装置还包括掩模条，所述掩模条和基板位于所述夹具主体和所述承载面之间；其中，
[0015]所述掩模条位于所述承载面和所述基板之间，所述基板夹设固定于所述掩模条和所述第一端部之间。
[0016]在一些实施例中，所述基板加工装置还包括掩模框架，所述掩模框架位于所述掩模条远离所述基板的一侧，所述掩模框架靠近所述掩模条的表面为所述承载面，所述掩模条和所述基板位于所述第一端部和所述掩模框架之间。
[0017]在一些实施例中，所述基板加工装置还包括掩模框架和承载平台，所述承载平台位于所述掩模条远离所述基板的一侧，所述承载平台靠近所述掩模条的表面为所述承载面，所述掩模条和所述基板的一部分位于所述第一端和所述承载平台之间；
[0018]所述掩模框架与所述夹具主体连接，所述掩模框架与所述承载面相对设置，所述掩模条和/或所述基板的另一部分位于所述掩模框架和所述承载平台之间。
[0019]在一些实施例中，所述夹具还包括辅助夹持件，所述辅助夹持件包括磁铁，所述磁铁与所述夹具主体连接，所述基板设置在所述磁铁和所述掩模条之间，所述磁铁在所述基板上的正投影落入到所述掩模条在所述基板上的正投影范围内。
[0020]本申请实施例还提供一种夹具的夹持方法，包括如前所述的夹具，所述夹具的夹持方法包括：
[0021]将待夹持件置于所述承载面与所述夹具主体之间；
[0022]调节所述第一端部与所述夹具主体之间的距离，以使所述第一端部靠近所述承载面直至所述第一端部与所述承载面夹紧所述待夹持件。
[0023]本申请提供一种夹具，通过在夹具主体和承载面之间增设与夹具主体连接的距离调节件，且距离调节件的第一端部与夹具主体之间的距离可调，确保距离调节件与待夹持件的表面可靠贴合，避免待夹持件因局部压强超过预设值而受损。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本申请的实施例的技术方案，下面将对本申请的实施例描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是申请的一些实施例和实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本申请提供的夹具的第一种结构的示意图。
[0026]图2为本申请提供的夹具的第二种结构的示意图。
[0027]图3为本申请提供的夹具的第三种结构的示意图。
[0028]图4为本申请提供的夹具的第四种结构的示意图。
[0029]图5为本申请提供的基板加工装置的第一实施例的示意图。
[0030]图6为本申请提供的基板加工装置的第一实施例沿A
‑
A
’
线的剖面图。
[0031]图7为采用图5的基板加工装置对基板加工的示意图。
[0032]图8为本申请提供的基板加工装置的第二实施例的示意图。
[0033]图9为本申请提供的基板加工装置的第二实施例沿B
‑
B
’
线的剖面图。
[0034]图10为本申请提供的夹具的夹持方法的第一种流程图。
[0035]图11为本申请提供的夹具的夹持方法的第二种流程图。
[0036]图12为本申请提供的夹具的夹持方法的结构示意图。
具体实施方式
[0037]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0038]需要说明的是，本申请所提到的[第一]和[第二]等序号用语并不代表任何顺序、数量或者重要性，只是用于区分不同的部分。本申请所提到的[上]、[下]、[左]和[右]等方向用语仅是参考附加图式的方向。本申请提及的[一侧]和[另一侧]等位置关系用语仅用于区分不同的部分。因此，使用的序号用语、方向用语和位置关系用语是用以说明及理解本申请，而非用以限制本申请。在申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征的[一侧]、[上]或[下]可以包括第一和第二特征直接，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。贯穿整个说明书，相同的附图标记本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种夹具，其特征在于，包括：夹具主体；距离调节件，与所述夹具主体连接，所述距离调节件的第一端部与所述夹具主体之间的距离可调；承载面，与所述夹具主体相对设置，所述距离调节件的第一端部位于所述承载面与所述夹具主体之间。2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹具包括多个所述距离调节件，多个所述距离调节件在所述夹具主体上间隔分布。3.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述夹具主体的形状与待夹持件的形状相匹配，多个所述距离调节件间隔设置于所述夹具主体靠近所述待夹持件的一侧，所述距离调节件的第一端部与所述待夹持件接触。4.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述距离调节件包括距离调节部和压力传感器；所述距离调节部包括所述第一端部和第二端部，所述第二端部与所述夹具主体连接，所述压力传感器设置在所述第一端部的端面和/或侧面。5.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹具主体包括固定部和延伸部，所述延伸部可滑动地连接所述固定部，所述距离调节件的第二端部与所述延伸部连接。6.根据权利要求5所述的夹具，其特征在于，所述夹具主体还包括沿滑动方向延伸的滑轨，所述延伸部包括第三端部和第四端部，所述第三端部与所述固定部嵌套，所述第三端部通过所述滑轨可滑动地连接至所述固定部，所述第四端部突出于所述固定部，所述距离调节件的所述第二端部与所述第四端部连接。7.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹具还包括辅助夹持件，所述辅助夹持件与所述夹具主体连接，待夹持件设置在所述辅助夹持件和所述承载面之间，所述辅助夹持件在所述承载面上的正投影落入到所述待夹持件在所述承载面上的正投影范围内。8...
【专利技术属性】
技术研发人员：段廷原，
申请(专利权)人：TCL华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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