一种用于微波测试的探针制造技术

本发明专利技术公开了一种用于微波测试的探针，属于微波测试技术领域。该微波探针包括微波集成电路芯片和显微镜探针两部分。微波集成电路芯片，包括输入电路、缓冲电路、放大电路和输出电路。显微镜探针，包括基底、电极片、悬臂梁、金属通路和针尖。本微波探针用于微波测试时，输入的微波信号经过微波集成电路输出到显微镜探针，经针尖辐射，减少了微波的辐射消耗，提高了微波测试的效率，适用于样品表征的测试，同时该探针结构便于微波信号的加载。该探针结构便于微波信号的加载。该探针结构便于微波信号的加载。

【技术实现步骤摘要】
一种用于微波测试的探针


[0001]本专利技术涉及微波测试
，具体为一种用于微波测试的探针。

技术介绍

[0002]近年来，随着电子设备精度不断提高，满足高性能、高精度、可扩展和经济高效的测试和测量设备的需求变得至关重要，测试要求随着市场的快速迭代变得更复杂多样。射频探测技术以其高性能、高灵敏度、高输出功率的特性使得应用范围不断扩大，其中微波探测技术被广泛应用于电子器件的电磁场检测。基于传统的AFM原子力显微镜探针进行微波测试的过程中，由于现有探针的技术瓶颈，微波信号的加载会出现操作难度高和功率损耗高等短期内无法解决的问题。本专利技术通过设计一款可以直接加载微波信号的微波探针，能够简单且高效的将微波信号传输到待测器件。
[0003]微波测试目前采用的主流方法是将微波源输出的同轴线通过焊接或者压片等方式将微波信号传输到探针上，再经探针针尖的辐射到待测器件的表面。由于焊接或者压片耦合的方法，能量损耗大，为松散耦合，耦合系数较低。为了提高能量传输效率，减少能量的损失，需要提高同轴线与探针的耦合系数。此外，微波信号由探针针尖辐射，强度受输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于微波测试的探针，其特征在于：包括显微镜探针和微波集成电路芯片（2），其中显微镜探针包括电极片（3）、基底（1）、悬臂梁（4）、金属通路（5）和探针针尖（6），基底（1）上嵌固有电极片（3），基底（1）的一侧还刻蚀出悬臂梁（4），悬臂梁（4）的自由端下方刻蚀出探针针尖（6），微波集成电路芯片（2）嵌固在基底（1）上，微波集成电路芯片（2）的输入端与电极片（3）用金属通路（5）连接，微波集成电路芯片（2）的输出端通过金属通路（5）和探针针尖（6）连接。2.根据权利要求1所述的一种用于微波测试的探针，其特征在于：连接微波集成电路芯片...

【专利技术属性】
技术研发人员：温焕飞，唐军，刘俊，马宗敏，郭浩，李中豪，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：