一种真空高温烧结炉用真空系统技术方案

本发明专利技术提供一种真空高温烧结炉用真空系统，包括安装箱，所述安装箱顶部外壁开设有圆口，且圆口的内壁通过螺栓螺接有调节箱，所述安装箱底部内壁通过螺栓螺接有密封箱，且密封箱顶部外壁开设有第一安装口，所述第一安装口的内壁通过螺栓螺接有电磁阀，所述调节箱顶部外壁开设有气口，且气口的内壁通过螺栓螺接有气管，所述调节箱底部外壁的两侧均开设有第二安装口，且两个第二安装口的内壁均通过螺栓螺接有连接管。本发明专利技术通过设置的密封箱和调节箱之间的配合，便于快速将炉体内抽成真空，同时在调节箱内设置调节机构，通过调节机构方便对调节箱上的连接管进行选择开启，解决了现有的真空烧结炉抽真空效率低的问题。真空烧结炉抽真空效率低的问题。真空烧结炉抽真空效率低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种真空高温烧结炉用真空系统


[0001]本专利技术涉及高温烧结炉
，尤其涉及一种真空高温烧结炉用真空系统。

技术介绍

[0002]烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结，为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡（润滑剂或成形剂）、还原、合金化、组织转变等顺利进行，烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行精确的控制,现有的真空烧结炉在使用时都是直接通过真空泵将炉体内抽出真空，这种抽真空的方式效率相对较低，直接导致烧结炉工作效率降低，因此，亟需设计一种真空高温烧结炉用真空系统来解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空高温烧结炉用真空系统。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种真空高温烧结炉用真空系统，包括安装箱，所述安装箱顶部外壁开设有圆口，且圆口的内壁通过螺栓螺接有调节箱，所述安装箱底部内壁通过螺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空高温烧结炉用真空系统，包括安装箱（1），其特征在于，所述安装箱（1）顶部外壁开设有圆口，且圆口的内壁固定连接有调节箱（5），所述安装箱（1）底部内壁固定连接有密封箱（7），且密封箱（7）顶部外壁开设有第一安装口，所述第一安装口的内壁固定连接有电磁阀（8），所述调节箱（5）顶部外壁开设有气口，且气口的内壁固定连接有气管（6），所述调节箱（5）底部外壁的两侧均开设有第二安装口，且两个第二安装口的内壁均固定连接有连接管（11），其中一个所述连接管（11）通过管道连接在电磁阀（8）上，所述调节箱（5）底部内壁固定连接有减速电机（10），且减速电机（10）输出轴上套接有转盘（12），所述转盘（12）顶部外部的两侧均对称开设有第三安装口，且两个第三安装口的内壁分别固定连接有调节机构（13）和配重块。2.根据权利要求1所述的一种真空高温烧结炉用真空系统，其特征在于，所述调节机构（13）包括安装套（14），且安装套（14）底部内壁的两侧均固定连接有滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵成军，
申请(专利权)人：滁州华海中谊工业炉有限公司，
类型：发明
国别省市：