一种超快紫外激光透明材料的加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种超快紫外激光透明材料的加工装置，由光纤超快激光器、聚焦透镜和焦点调整机构组成，其特征在于：光纤超快激光器主要由输出波长在1020纳米～1090纳米之间的种子激光器、多级或单级光纤放大器、准直器、三倍频器件构成，种子激光器上设有脉冲控制装置；种子激光器的输出光经光纤放大器放大，由准直器准直后经三倍频器件输出紫外激光脉冲串；脉冲串聚焦在透明材料的待加工位置，焦点调整机构按设定轨迹调节聚焦点相对透明材料的位置，以垂直于所述透明材料的上表面和下表面的方向为上下方向，聚焦点与透明材料之间具有上下方向相对运动的自由度。本实用新型专利技术能大大提高材料去除效率，不需要加热或酸侵的后续工序，也不会产生斜角。也不会产生斜角。也不会产生斜角。

【技术实现步骤摘要】
一种超快紫外激光透明材料的加工装置


[0001]本技术涉及一种透明材料加工装置，具体涉及一种用于透明材料的超快激光加工装置。

技术介绍

[0002]玻璃和蓝宝石透明材料已经成为了人们日常生活中不可缺少的一部分，随着经济的发展，对玻璃制品的需求量与日俱增。在玻璃和蓝宝石的生产工业中，玻璃和蓝宝石加工是一个十分重要环节。
[0003]一般来说，玻璃和蓝宝石加工（冷加工）主要包括抛光、切割、钻孔、雕刻、磨边等。为了工业化实现上述玻璃和蓝宝石加工的目的，现有技术中采用的加工方法主要有机械加工方法、化学加工方法（主要用于抛光和刻蚀）、高压水射流加工方法（主要用于切割和钻孔）和激光加工方法。其中，激光加工方法在加工速度和自动化程度方面都要远远优于其它的方法。
[0004]通常，对玻璃和蓝宝石进行激光加工采用的是波长在10.6μm附近的CO2激光器，其输出功率一般需要达到100W以上。CO2激光器加工玻璃和蓝宝石是通过激光入射使玻璃受热后发生断裂而实现的。以平板玻璃的切割为例，将CO2激光器发出的激光束聚焦到平板玻璃上，高功率的激光使得玻璃在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超快紫外激光透明材料的加工装置，由光纤超快激光器、聚焦透镜和焦点调整机构组成，其特征在于：所述光纤超快激光器主要由输出波长在1020纳米～1090纳米之间的种子激光器、多级或单级光纤放大器、准直器、三倍频器件构成，所述种子激光器上设有脉冲控制装置；种子激光器的输出光经光纤放大器放大后，由准直器准直后经三倍频器件三倍频输出紫外激光脉冲串；所述紫外激光脉冲串经聚焦透镜聚焦在透明材料的待加工位置，焦点调整机构按设定轨迹调节聚焦点相对透明材料的位置，以垂直于所述透明材料的上表面和下表面的方向为上下方向，所述聚焦点与所述透明材料之间具有上下方向相对运动的自由度。2.根据权利要求1所述的透明材料的加工装置，其特征在于：所述焦点调整机构包括扫描振镜，所述扫描振镜在光路中位于激光脉冲串激光器的输出和聚焦透镜之间。3.根据权利要求2所述的透明材料的加工装置，其特征在于：所述扫描振镜是二维振镜、2.5维振镜、或者三维振镜中的一种。4.根据权利要求1所述的透明材料的加工装置，其特征在于：所述光纤超快激光器和所述聚焦透镜构成光学头，所述焦点调整机构包括光学头位置调整机构，以待加工的透明材料所在平面为X
‑

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋仕彬，
申请(专利权)人：杭州银湖激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：