无碱玻璃制造技术

本发明专利技术涉及一种无碱玻璃，其中，以氧化物基准的摩尔％计，所述无碱玻璃包含63％～69％的SiO2、8％～13％的Al2O3、0.5％～4％的B2O3、8％～15％的MgO、4％～12％的CaO、0～4.5％的SrO、和0～1％的BaO，并且[MgO]/[CaO]为0.67～3.75，式(A)的值为84以上，式(B)的值为715以下，式(C)的值为200以下，式(D)的值为15以下。式(D)的值为15以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】无碱玻璃


[0001]本专利技术涉及一种无碱玻璃，其适合作为各种显示器用、光掩模用、电子器件支撑用、信息记录介质用、平面型天线用、调光层叠体用、车辆用窗玻璃用、声学用振动板用等基板玻璃等。

技术介绍

[0002]以往，对于在各种显示器用、光掩模用、电子器件支撑用、信息记录介质用玻璃板(玻璃基板)、尤其是对于在表面上形成金属或氧化物等的薄膜的玻璃板中使用的玻璃，要求以下的(1)～(4)等特性。
[0003](1)在玻璃含有碱金属氧化物的情况下，碱金属离子在上述薄膜中扩散而使薄膜的膜特性劣化，因此玻璃实质上不含有碱金属离子。
[0004](2)应变点高，以使得在薄膜形成工序中，当玻璃板暴露在高温中时，能够将伴随玻璃板的变形和玻璃的结构稳定化的收缩(热收缩)抑制在最低限度。
[0005](3)对在半导体的形成中使用的各种化学品具有充分的化学耐久性。特别是对用于SiO
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、SiN
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的蚀刻的缓冲氢氟酸(BHF：氢氟酸与氟化铵的混合液)、用于ITO的蚀刻的含有盐酸的化学溶液、用于金属电极的蚀刻的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种无碱玻璃，其中，以氧化物基准的摩尔％计，所述无碱玻璃包含：63％～69％的SiO2、8％～13％的Al2O3、0.5％～4％的B2O3、8％～15％的MgO、4％～12％的CaO、0～4.5％的SrO、和0～1％的BaO，并且[MgO]/[CaO]为0.67～3.75，下式(A)的值为84以上，下式(B)的值为715以下，下式(C)的值为200以下，下式(D)的值为15以下，式(A)为0.642[SiO2]+1.459[Al2O3]
‑
0.166[B2O3]+1.642[MgO]+1.280[CaO]+0.965[SrO]+0.473[BaO]，式(B)为7.667[SiO2]+11.721[Al2O3]
‑
2.138[B2O3]+3.343[MgO]+3.090[CaO]+2.487[SrO]+3.658[BaO]，式(C)为
‑
14.18[SiO2]+58.31[Al2O3]+6.76[B2O3]+8.35[MgO]+38.73[CaO]+23.06[SrO]+15.95[BaO]，式(D)为{
‑
0.754[SiO2]+1.651[Al2O3]
‑
0.112[B2O3]+1.856[MgO]+3.316[CaO]+3.968[SrO]+1.682[BaO]+(
‑
3.275[MgO][CaO]
‑
1.661[MgO][SrO]+1.801[MgO][BaO]+4.952[CaO][SrO]+2.401[CaO][BaO]+1.110[SrO][BaO])}/([MgO]+[CaO]+[SrO]+[BaO])。2.如权利要求1所述的无碱玻璃，其中，下式(E)的值为2.40～5.00，式(E)为1.443[SiO2]+1.885[Al2O3]+1.816[B2O3]+1.934[MgO]+2.103[CaO]+2.251[SrO]+2.251[BaO]
‑
158.5。3.如权利要求1或2所述的无碱玻璃，其中，所述无碱玻璃的应变点为670℃～715℃，并且杨氏模量为82GPa以上。4.如权利要求1～3中任一项所述的无碱玻璃，其中，所述无碱玻璃的密度为2.58g/cm3以下，并且50℃～350℃范围内的平均热膨胀系数为30
×
10
‑7/℃～43
×
10
‑7/℃。5.如权利要求1～4中任一项所述的无碱玻璃，其中，所述无碱玻璃的玻璃粘度达到102dPa
·
s时的温度T2为1690℃以下，并且玻璃粘度达到104dPa
·
s时的温度T4为1350℃以下。6.如权利要求1～5中任一项所述的无碱玻璃，其中，所述无碱玻璃的表面失透温度为1370℃以下。7.如权利要求1～6中任一项所述的无碱玻璃，其中，所述无碱玻璃的晶体生长速度为100μm/小时以下。8.如权利要求1～7中任一项所述的无碱玻璃，其中，以氧化物基准的摩尔％计，所述无碱玻璃含有合计为0.2％以下的选自由Li2O、Na2O和K2O构成的组中的至少一者。
9.一种无碱玻璃，其中，以氧化物基准的摩尔％计，所述无碱玻璃包含：50％～80％的SiO2、8％～20％的Al2O3、0～0.2％的Li2O+Na2O+K2O、和0～1％的P2O5，并且[MgO]/[CaO]为0.67～3.75，所述无碱玻璃的杨氏模量为82GPa以上、应变点为670℃～715℃、玻璃粘度达到104dPa
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s时的温度T4为1350℃以下、玻璃粘度达到102dPa
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s时的温度T2为1690℃以下、表面失透温度为1370℃以下、晶体生长速度为100μm/小时以下、密度为2.58g/cm3以下、并且50℃～350℃范围内的平均热膨胀系数为30
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‑7/℃。10.如权利要求9所述的无碱玻璃，其中，以氧化物基准的摩尔％计，所述无碱玻璃包含0.5％～4％的B2O3。11.如权利要求9所述的无碱玻璃，其中，以氧化物基准的摩尔％计，所述无碱玻璃包含8％～15％的MgO、4％～12％的CaO、0～4....

【专利技术属性】
技术研发人员：德永博文，小野和孝，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：