【技术实现步骤摘要】
一种高真空挡板阀
[0001]本技术涉及高真空阀门装置领域,尤其涉及一种高真空挡板阀。
技术介绍
[0002]高真空挡板阀用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。现有的挡板阀内的气缸轴使用焊接波纹管密封,在使用波纹管密封的情况下通过正压气体以带动密封件移动以及波纹管折叠收缩,气体压力多大或者反复变化时容易导致波纹管破损,导致泄漏真空或者气体,因此需要一种能取代现有的密封方式的新型密封结构的高真空挡板阀。
技术实现思路
[0003]本技术提供了一种高真空挡板阀,旨在解决
技术介绍
中所提及的技术问题。
[0004]本技术提供了一种高真空挡板阀,包括阀体、设于所述阀体内的密封件、气缸与所述密封件固定连接的气缸轴,所述阀体上设置有第一开口以及第二开口,所述密封件用于封闭所述第一开口以隔离所述第一开口和所述第二开口,所述气缸轴穿设于所述气缸与所述阀体,所述气缸轴设于所述气缸的部分上嵌套有活塞,所述活塞、所述密封件及所述气缸轴可相对所述气缸做往复运动;
[0005]所述气缸内设有弹性件 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高真空挡板阀,其特征在于,包括阀体、设于所述阀体内的密封件、气缸与所述密封件固定连接的气缸轴,所述阀体上设置有第一开口以及第二开口,所述密封件用于封闭所述第一开口以隔离所述第一开口和所述第二开口,所述气缸轴穿设于所述气缸与所述阀体,所述气缸轴设于所述气缸的部分上嵌套有活塞,所述活塞、所述密封件及所述气缸轴可相对所述气缸做往复运动;所述气缸内设有弹性件,所述弹性件一端与所述活塞相接触,另一端与气缸远离活塞的一端的内壁相接触,所述弹性件用于预紧所述密封件以封闭所述第一开口,且所述气缸还包括用于封闭所述气缸的开口的气缸密封盖,所述气缸密封盖位于所述活塞与所述密封件之间,所述气缸密封盖上设有用于穿过所述气缸轴的第一通孔,所述第一通孔内安装有套筒,所述套筒与所述气缸轴贴合,且所述气缸轴可相对所述气缸密封盖及所述套筒做往复运动。2.根据权利要求1所述的高真空挡板阀,其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡成羽,
申请(专利权)人:惠州市欧瑞动力自动化科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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