电荷放大器、力传感器以及机器人制造技术

电荷放大器、力传感器以及机器人。电荷放大器具有：输入线，其传播电荷信号；积分电路，其具有与输入线连接的输入端子和输出电压信号的输出端子；复位开关，其通过将输入端子和输出端子之间闭合来复位电压信号；漏电流校正电路，其在具有与输入线的电位不同的第1电位的第1节点到输入线之间，具有依次串联连接的第1电阻电路和第1开关；以及控制电路，其根据电压信号控制第1开关，以抵消流过积分电路的漏电流的至少一部分。漏电流的至少一部分。漏电流的至少一部分。

【技术实现步骤摘要】
电荷放大器、力传感器以及机器人


[0001]本专利技术涉及电荷放大器、力传感器以及机器人。

技术介绍

[0002]以往，如专利文献1所示，公知有如下的电荷放大器：在输入线上反向偏置地设置二极管，由此利用二极管的漏电流抵消场效应晶体管(FET)和电容器中产生的漏电流。
[0003]专利文献1：日本特开平11
‑
148878号公报
[0004]在专利文献1中，FET的漏电流根据FET的源漏极间的电位差而变化。因此，由于积分电路的输入输出信号的变化，FET的漏电流变化，有可能对输出信号特性造成影响。

技术实现思路

[0005]一个方式是一种电荷放大器，其将电荷信号转换为电压信号，在该电荷放大器中，具有：输入线，其传播所述电荷信号；积分电路，其具有与所述输入线连接的输入端子和输出所述电压信号的输出端子；复位开关，其通过将所述输入端子和所述输出端子之间闭合来复位所述电压信号；漏电流校正电路，其在具有与所述输入线的电位不同的第1电位的第1节点到所述输入线之间，具有依次串联连接的第1电阻电路和第1开关；以及控本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电荷放大器，其将电荷信号转换为电压信号，该电荷放大器具有：输入线，其传播所述电荷信号；积分电路，其具有与所述输入线连接的输入端子和输出所述电压信号的输出端子；复位开关，其通过将所述输入端子和所述输出端子之间闭合来复位所述电压信号；漏电流校正电路，其在具有与所述输入线的电位不同的第1电位的第1节点到所述输入线之间，具有依次串联连接的第1电阻电路和第1开关；以及控制电路，其根据所述电压信号控制所述第1开关，以抵消流过所述积分电路的漏电流的至少一部分。2.根据权利要求1所述的电荷放大器，其中，所述第1电阻电路包含反向偏置地连接在所述第1节点与所述输入线之间的二极管。3.根据权利要求1或2所述的电荷放大器，其中，所述控制电路具有存储电路，该存储电路存储表示与所述电压信号对应的控制信号的信息，所述控制信号对所述第1开关进行控制。4.根据权利要求1或2所述的电荷放大器，其中，该电荷放大器包含检测温度的温度检测电路，所述控制电路根据所述温度检测电路检测出的温度，控制所述第1开关，以抵消所述漏电流的至少一部分。5.根据权利要求1或2所述的电荷放大器，其中，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：大隅纪之，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：