在流量测量装置中，提供一种在流体的流量的测量中具备高灵敏度的小型、简单的新型流量计。对于具备供流体流通的主流路和从主流路分流且再次与主流路合流而使测量用的流体流通的支流路的流量测量装置来说，在支流路中，配置有对高流量的流体的流量进行测量的高流量测量芯片的高流量用流路和与高流量用流路相比流路截面积大且配置有对与高流量测量芯片相比对低流量的流体的流量进行测量的低流量测量芯片的低流量用流路这两个流路并列地设置。置。置。
【技术实现步骤摘要】
流量测量装置
[0001]本专利技术涉及流量测量装置。
技术介绍
[0002]以往，提出了一种分流式流量计，具备：主流路；支流路，其经由一对分流孔与主流路连通；流动传感器，其用于检测在分流路中流动的流体的流量；分流比设定部件，其配置于支流路，用于设定由流量传感器检测的流体的流量与在主流路中流动的流体的流量的分流比；计算电路，其基于由流动传感器检测到的流量和分流比，计算在主流路中流动的流体的流量(例如，专利文献1)。
[0003]并且，也提出了一种具有形成了大流量测量用流路和与大流量测量用流路的下游侧串行设置并且与大流量测量用流路相比截面积小的小流量测量用流路的配管，在大流量测量用流路和小流量测量用流路分别设有多个流量传感器，在小流量域基于小流量测量用流路上的流速传感器的输出、在大流量域基于大流量测量用流路上的流速传感器的输出来计算流量的流量计(例如，专利文献2)。
[0004]专利文献1：日本特开2010
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151785号公报
[0005]专利文献2：日本特开平09
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068448号公报
技术实现思路
[0006]专利技术所要解决的技术问题
[0007]在上述流量计中，要求具备小型且简单的系统、以及能够测量从高流量的流体至低流量的流体的大范围内的流量。
[0008]为使系统小型化和简单化，已知一种将具备主流路和从主流路分流且再次与主流路合流的支流路的旁路构造应用于流量计的技术。
[0009]但是，在测定高流量的流体的情况下，特别是在热式的流量传感器中，存在流量与传感器输出的线性关系变差的情况，在测定低流量的流体的情况下，如果将旁路构造应用于流量计，则存在压力损失变小，难以相对于支流路分流，并且不能确保灵敏度的情况。
[0010]因此，期望将支流路进一步分流的、高流量用流路和与高流量用流路流路相比截面积大的低流量用流路并列的结构应用于流量计。其目的在于通过使高流量域和低流量域分别具有专用的流路而实现一种测量范围大的流量计。
[0011]并且，在本专利技术中，其最终目的在于提供一种在实现系统的小型化、简单化以及大范围的流体的流量的测量的基础上，通过在支流路中使用气体种类测量用流路来确定流体的种类，从而所确定流体的热传导率的物性值和流量具有良好的相关性的三芯片流量测量装置。
[0012]在这里，本专利技术中的流量计可以是在支流路中包含配置于高流量用流路的高流量测量芯片、配置于低流量用流路的低流量测量芯片以及配置于气体种类测量用流路的气体种类测量用芯片这三种测量芯片的三芯片流量测量装置。
[0013]用于解决技术问题的技术方案
[0014]为了解决上述技术问题，本专利技术的一种流量测量装置具备供流体流通的主流路和从所述主流路分流并且与所述主流路再次合流而使测量用的流体流通的支流路，其特征在于，
[0015]在所述支流路中，配置有对高流量的流体的流量进行测量的高流量测量芯片的高流量用流路和与所述高流量用流路相比流路截面积大且配置有与所述高流量测量芯片相比对低流量的流体的流量进行测量的低流量测量芯片的低流量用流路并列地形成。
[0016]根据本专利技术，通过在一个装置中形成主流路和支流路这两个流路，能够使系统小型化和简单化，并且，在支流路中，分别使高流量域和低流量域具有专用的流路，因而能够实现测量范围大的流量测量装置。
[0017]并且，在本专利技术中，流量测量装置也可以是所述支流路在中途分流，从而形成所述高流量用流路和所述低流量用流路。由此，在支流路中能够通过高流量测量芯片或低流量测量芯片来输出从主流路向支流路分流的流体的流量的测量值。
[0018]并且，在本专利技术中，流量测量装置也可以是，所述支流路具有两个独立的流路，所述高流量用流路和所述低流量用流路是相互独立而从所述主流路分流的流路。由此，能够从主流路直接调节向高流量用流路和低流量用流路的分流比，从而在支流路中容易地实现层流。
[0019]并且，在本专利技术中，流量测量装置也可以是，在所述支流路中，进一步形成有气体种类测量用流路，在该气体种类测量用流路配置有确定对在所述支流路中流动的流体的种类的气体种类测量用芯片，所述气体种类测量用流路以使所述高流量用流路和所述低流量用流路连通的方式形成。由此，通过确定在支流路中流动的流体的种类，能够得到所确定的流体的热传导率的物性值与流量之间的相关性。
[0020]并且，在本专利技术中，流量测量装置也可以是，所述气体种类测量用流路以使所述高流量用流路和所述低流量用流路在各自的流路的中途连通的方式形成。由此，在确定了流体的种类后，能够进行流体流量的测量。
[0021]并且，在本专利技术中，流量测量装置也可以是，进一步具备对所述低流量测量芯片的测量值和规定的阈值进行比较的比较部，在所述比较部中判定为所述测量值在所述阈值以上的情况下，输出所述高流量测量芯片的测量值，在所述比较部中判定为所述测量值低于所述阈值的情况下，输出所述低流量测量芯片的测量值。由此，通过以阈值为基准，从高流量测量芯片或低流量测量芯片输出流体的流量，能够得到更准确的输出值。
[0022]并且，在本专利技术中，流量测量装置也可以是，所述高流量用流路和所述低流量用流路的流路截面积的比为1：3。由此，能够实现从高流量的流体至低流量的流体的大范围的流量的测量。
[0023]专利技术的效果
[0024]在流量测量装置中，能够提供一种通过形成在供流体流通的主流路上附加了支流路的旁路构造而能够实现小型化和简单化，以及进一步使支流路分流，形成高流量用流路和低流量用流路，从而能够实现大范围的流量测量的新技术。
附图说明
[0025]图1是表示实施方式的流量测定装置的一个例子的分解立体图。
[0026]图2是表示流量测定装置的一个例子的透视图。
[0027]图3表示副流路部的俯视图。
[0028]图4是表示传感器元件的一个例子的立体图。
[0029]图5是用于对传感器元件的构造进行说明的剖视图。
[0030]图6是表示流量检测部的概略构成的俯视图。
[0031]图7是表示物性值检测部的概略构成的俯视图。
[0032]图8是表示支流路的概略构成的示意性俯视图。
[0033]图9是表示流量测量时的功能构成的框图。
[0034]图10是表示从流量值的测量至输出的流程图。
[0035]图11是表示以阈值为基准的、高流量测量芯片或低流量测量芯片中的流量的测量值与输出值的关系的曲线图。
[0036]图12是表示具有从主流路分流的高流量用支流路和低流量用支流路以及气体种类测量用支流路、高流量用支流路和低流量用支流路相互独立的支流路的概略构成的示意性俯视图。
[0037]附图标记说明
[0038]1：流量测量装置；
[0039]100：传感器元件；
[0040]101：微加热器；
[0041]102：热电堆；
[0042]1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种流量测量装置，具备供流体流通的主流路和从所述主流路分流并且与所述主流路再次合流而使测量用的流体流通的支流路，其特征在于，在所述支流路中，配置有对高流量的流体的流量进行测量的高流量测量芯片的高流量用流路和与所述高流量用流路相比流路截面积大且配置有与所述高流量测量芯片相比对低流量的流体的流量进行测量的低流量测量芯片的低流量用流路并列地形成。2.根据权利要求1所述的流量测量装置，所述支流路在中途分流，从而形成所述高流量用流路和所述低流量用流路。3.根据权利要求1所述的流量测量装置，所述支流路具有两个独立的流路，所述高流量用流路和所述低流量用流路是相互独立而从所述主流路分流的流路。4.根据权利要求2或3所述的流量测量装置，在所述支流路中，进一步形成有气体种类测量用流路，在该气体种类测...
【专利技术属性】
技术研发人员：中尾秀之，龟井诚，山本克行，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：
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